公報種別 stringclasses 3
values | 公報番号 stringlengths 10 12 | 出願番号 stringlengths 10 10 | 出願日 stringclasses 146
values | 国際出願番号 stringlengths 12 12 ⌀ | 国際出願日 stringclasses 100
values | 公報発行日 stringclasses 177
values | 公開／公表番号 stringlengths 10 10 ⌀ | 公開／公表日 stringclasses 142
values | 国際公開番号 stringlengths 12 12 ⌀ | 国際公開日 stringclasses 68
values | 特許／実案登録番号 stringlengths 7 7 ⌀ | 登録日 stringclasses 354
values | 公告番号 null | 公告日 null | 審判番号 stringlengths 10 10 ⌀ | 発明（考案）名称 stringlengths 1 499 | 出願人識別番号 stringlengths 9 149 | 出願人 stringlengths 3 214 | 代理人識別番号 stringlengths 9 9 ⌀ | 代理人 stringlengths 4 44 ⌀ | 発明（考案）者 stringlengths 2 347 | 優先権 stringlengths 17 735 ⌀ | 国際特許分類 stringclasses 1
value | ＩＰＣ stringlengths 27 2.46k | ＦＩ stringlengths 18 1.71k | 請求項の数 stringclasses 108
values | 分割前情報 stringlengths 19 19 ⌀ | 変更前情報 stringclasses 7
values | 指定国 stringclasses 2
values | 審査請求の有無 stringclasses 2
values | 全頁数 stringclasses 315
values | テーマコード stringlengths 5 77 ⌀ | Ｆターム stringlengths 10 2.29k ⌀ | 要約 stringlengths 25 709 | 請求の範囲 stringlengths 6 23.3k | 独立請求項 stringlengths 6 20k | 技術分野 stringlengths 6 153k ⌀ | 背景技術 stringlengths 6 327k ⌀ | 発明の解決しようとする課題 stringlengths 15 75.7k ⌀ | 課題を解決するための手段 stringlengths 20 813k ⌀ | 発明の効果 stringlengths 7 374k ⌀ | 実施例 stringlengths 14 3.05M ⌀ |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
A | 2012139476 | 2011010259 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012139476 | 20120726 | null | null | null | null | null | null | null | ニンニクの芯取り器具 | 511018217 | 高橋 俊和 | null | null | 高橋 俊和 | null | 8 | A47J 25/00 (20060101), A23N 15/00 (20060101),//A23L 1/212 (20060101) | A47J 25/00 ,A23N 15/00 Z ,A23L 1/212 C | 3 | null | null | null | 0 | 3 | 4B016,4B061 | 4B016 LE03 ,4B016 LG09 ,4B016 LP13 ,4B016 LT10,4B061 AA02 ,4B061 BA03 ,4B061 CB03 | 【課題】ニンニクの芯は火にかけると焦げやすく美味しくなく、調理時には取り除くが、細く柔らかくニンニク内部で曲がっていて取り出しにくく、堅く細い棒で押し出すと芯からずれて押し出せなく、ニンニクの輸切り後は薄いためニンニクが割れやすく、全ての枚数分を取り除く作業が煩わしかった。本発明は、ニンニクの芯を取るためのニンニクの芯取り器具を提供する。【解決手段】にぎり部の先端に、複数の凸部付さの可撓性アームを設ける。【選択図】図１ | 【請求項１】にぎり部の先端に、複数の凸部付きのアームを設けたニンニクの芯取り器具。【請求項２】にぎり部は平たん部を持った円柱状であることを特徴とする請求項１記載のニンニクの芯取り器具。【請求項３】アームは可撓性素材からなり、にぎり部の外周縁上に設けたことを特徴とする請求項１または請求項２記載のニンニクの芯取り器具。 | 【請求項１】にぎり部の先端に、複数の凸部付きのアームを設けたニンニクの芯取り器具。 | 【技術分野】【０００１】本発明は、ニンニクの芯を取る器具に関するものである。 | 【背景技術】【０００２】従来、ニンニクの芯を取るには、主に芯穴からツマヨウジなどの棒で押し出すか、輪切り後に指で芯を押し出して取り出していた。 | 【発明が解決しようとする課題】【０００３】ニンニクの芯は火にかけると焦げやすく美味しくなく、調理時には取り除くが、細く柔らかくニンニク内部で曲がっていて取り出しにくく、堅く細い棒で押し出すと芯からずれて取り出せなく、ニンニクを輪切り後は薄いためニンニクが割れやすく、全ての枚数分を取り除く作業が煩わしかった。本発明は、以上の問題点を解決するためになされたものである。 | 【課題を解決するための手段】【０００４】にぎり部の先端に、複数の凸部付きのアームを設ける。以上の構成よりなるニンニクの芯取り器具。 | 【発明の効果】【０００５】従来、無かったニンニクの芯取りを、本発明により安全に簡単に取り出すことができる。 | 【発明を実施するための形態】【０００７】以下、本発明の実施の形態を説明する。にぎり部（１）の先端にアーム（２）を設け、アーム部に先端から長さの半分以上有する凸部（３）を設ける。にぎり部の形状は円柱状、又は図１に示す通り円柱状で側面の一部に平坦部（４）を持つ事が好ましい。アーム部は可撓性素材、又はステンレス素材を用い、にぎり部の軸中心を外した位置、外周縁上に設ける。また、にぎり部の側面の一部に平坦部分を持たせた場合は、アームは平坦部分近傍に設ける。アーム先端凸部は挿入しやすいように先端部の凸部のみ小さくし（図４参照）、一定の間隔を設けた物と螺旋状の物とがあり、アーム先端からアーム長さの半分以上有している。本発明は以上のような構造である... |
A | 2012140217 | 2011000007 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012140217 | 20120726 | null | null | null | null | null | null | null | ゴミ箱 | 709007113 | 小谷 実 | null | null | 小谷 実 | null | 8 | B65F 1/06 (20060101) | B65F 1/06 | 3 | null | null | null | 0 | 8 | 3E023 | 3E023 GA01 ,3E023 GB02 ,3E023 GC05 ,3E023 GD01 | 【課題】ゴミが溜まり、ゴミ箱からゴミ袋を外す時、ゴミ箱からゴミ袋を容易に取り出せ、かつゴミ袋の容量がいっぱいになるまでゴミを溜めておくことができる機能を有するゴミ箱を提供する。【解決手段】上部に開放口が開放された箱状本体と、その上部に設けられた筒状枠の開放口と投入口が設けられたカラーからなる。カラーはカラー開放口が、本体開放口に対し向き合う方向で、本体に設けられた支持部とカラーに設けられた受け部により立設される。カラーが立設された状態で、本体開放口からカラーの投入口までの幅をＬ、本体の底から本体開放口までの長さをＭとした場合、Ｍ／６≦Ｌ≦２×Ｍとする。【選択図】図４ | 【請求項１】支持部と上部に開放口が設けられた箱状の本体と、その上に立設された開放口と投入口と受け部が設けられた筒状枠のカラーからなり、カラーはカラー開放口が、本体開放口に対し向き合う方向で、本体の支持部の上にカラーの受け部が乗り、支持部がカラーを支えることにより、カラーは本体の上に立設され、カラーが立設された状態で、本体開放口からカラーの投入口までの高さをＬ、本体の底から本体の開放口までの高さをＭとした場合Ｌは、Ｍ／６≦Ｌ≦２×Ｍとなっており、かつ、本体の開放口の面積をＳ、本体の開放口から投入口までに形成されるカラーの容積をＶとした場合Ｖは、Ｖ≧（Ｍ×Ｓ）／６となることを特徴とするゴミ箱【請求項２】上部に開放口が設けられた箱状本体と... | 【請求項１】支持部と上部に開放口が設けられた箱状の本体と、その上に立設された開放口と投入口と受け部が設けられた筒状枠のカラーからなり、カラーはカラー開放口が、本体開放口に対し向き合う方向で、本体の支持部の上にカラーの受け部が乗り、支持部がカラーを支えることにより、カラーは本体の上に立設され、カラーが立設された状態で、本体開放口からカラーの投入口までの高さをＬ、本体の底から本体の開放口までの高さをＭとした場合Ｌは、Ｍ／６≦Ｌ≦２×Ｍとなっており、かつ、本体の開放口の面積をＳ、本体の開放口から投入口までに形成されるカラーの容積をＶとした場合Ｖは、Ｖ≧（Ｍ×Ｓ）／６となることを特徴とするゴミ箱【請求項２】上部に開放口が設けられた箱状本体と... | 【技術分野】【０００１】本発明は、家庭用ゴミ箱に関するものである。 | 【背景技術】【０００２】ゴミ箱は通常、ゴミ箱の内側の形状に沿った形でビニール製のゴミ袋を入れ、そのゴミ袋の口をゴミ箱の淵にかけ、固定し使用していた。ゴミはそのゴミ箱の中のゴミ袋に入れ、ゴミ箱に対し容量いっぱいになった時点で、ゴミ袋をゴミ箱から外し処分していた。しかし、ゴミ箱の中の形状はゴミ袋の形を拘束してしまい、ゴミ箱に入れていない自由状態のゴミ袋の形状と一致していないため、ゴミがゴミ箱に対しいっぱいになっても、ゴミ袋を外すとゴミ袋に対してはいっぱいになっていなかった。その結果ゴミ袋が容量いっぱいになるまでゴミ袋をゴミ箱から外した状態で、ゴミ袋にゴミを入れて使用していた。この時ゴミ箱は、何も機能していないという欠点があった。【０００... | 【発明が解決しようとする課題】【０００６】解決しようとする問題点は、ゴミ袋の容量いっぱいの分量まで、ゴミ箱にゴミ袋をセットしている時点でゴミを溜めておくことができ、かつ、ゴミ袋を容易にゴミ箱から取り出せまた、ゴミが溜まっている際にゴミの入っているゴミ袋が外観上見えることが無い。という機能を有するゴミ箱を提供することにある。 | 【課題を解決するための手段】【０００７】支持部と上部に開放口が設けられた箱状の本体と、その上に立設された開放口と投入口と受け部が設けられた筒状枠のカラーからなる。カラーはカラー開放口が、本体開放口に対し向き合う方向で、本体の支持部の上に、カラーの受け部が乗り、支持部がカラーを支える事により、カラーは本体の上に立設される。カラーが立設された状態で、本体開放口からカラーの投入口までの高さをＬ、本体の底から本体開放口までの高さをＭとした場合Ｌは、Ｍ／６≦Ｌ≦２×Ｍとなっており、かつ、本体の開放口の面積をＳ、本体の開放口から投入口までに形成されるカラーの容積をＶとした場合Ｖは、Ｖ≧（Ｍ×Ｓ）／６となることを特徴とする。【０００８】または、上... | 【発明の効果】【００１０】本発明のゴミ箱はカラーの高さ分、ゴミ箱本体以上のゴミを入れておく事ができるため、ゴミ袋容量いっぱいの分量まで、ゴミ箱にゴミを入れておくことができる。という利点がある。また、カラーの高さを高くすることにより、本体の高さを低くすることができるため、ゴミ袋とゴミ箱との接触面積が少なくなり、また、本体の高さが低いことから、ゴミ袋の手で掴める幅も十分確保されるため、ゴミがいっぱいになった時、容易にゴミ袋を外すことが可能となった。また、カラーの開放口は本体の内側面よりもさらに内側にあるため、生ゴミなど水分を含んだゴミをカラーまで溜まったゴミの上に入れても、その水分がカラーの壁面を辿り落ち、カラーと本体の隙間から外へ洩れ... | 【発明を実施するための形態】【００１２】本発明は上部に開放口（１）が開放された箱状のゴミ箱本体（２）と、本体（２）に乗せられたカラー（３）から構成される。カラー（３）は下向きのカラー開放口（４）、投入口（５）が設けられ、上向きの本体開放口（１）とカラー開放口（４）と向き合わせる。カラー開放口（４）の淵に断面が略U字状の溝（６）を設け、溝（６）の底部を受け部（１４）とする。本体開放口（１）の淵（９）を支持部（１３）とし、溝（６）に嵌め、支持部（１３）と受け部（１４）により、カラーを支える。溝（６）一周の形状と本体開放口の淵（９）を同形状にしておき、淵一周に亘って嵌められるようにしておく。カラー開放口（４）における内側端部（１８）は本体... |
A | 2012141940 | 2011010257 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012141940 | 20120726 | null | null | null | null | null | null | null | 論理式変換プログラム、ＳＡＴ解法プログラム、及びＳＡＴ難易度評価プログラム | 598108076 | 小林 弘二 | null | null | 小林 弘二 | null | 8 | G06F 17/10 (20060101) | G06F 17/10 Z | 9 | null | null | null | 0 | 12 | 5B056 | 5B056 BB65 ,5B056 BB95 | 【課題】充足可能性問題は、その対象となる式の構造により難易度が変わるが、ＳＡＴの式を正規化して効率的に構造を抽出する汎用性の高いＳＡＴ解法が存在しなかった。また、ＣＮＦをＨｏｒｎＣＮＦに効率的に変換するプログラムが存在しなかった。【解決手段】ＣＮＦをその構造に従って解析する。ＣＮＦの共通の変数を持つ項同士の関係を正規化し、順序対やＨｏｒｎＣＮＦ、有向グラフに変換することとした。また、その順序対やＨｏｒｎＣＮＦ、有向グラフに変換したＣＮＦを使用することで効率的にＳＡＴを解くこととした。また、ＣＮＦの計算困難性の重要な点である相補部を持つ項同士の関係からＣＮＦＳＡＴの計算困難性を見積もることとした。【選択図】図１ | 【請求項１】コンピュータを、入力としてＣＮＦを受け取り、出力として下記の集合の集合を出力するプログラム。ＣＮＦの項を第一成分とし、空集合を第二成分として持つ順序対。順序対の第一成分として出現する項のうちお互いに共通部を持つ項同士について、それぞれの２つの項の組について、片方の項を第一成分として持ち、もう片方の項及びその項の差分部の肯否を入れ替えた項全ての集合を第二成分として持つ順序対。そして共通部を持つ項全ての項についても同様に作成した順序対。順序対の第一成分として出現する項のうちお互いに相補部を持つ項同士について、その項の浸出項を第一成分として持ち、対象の項及び対象の項の差分部の肯否を入れ替えた項（ただしお互い相補部（共通部）の肯... | 【請求項１】コンピュータを、入力としてＣＮＦを受け取り、出力として下記の集合の集合を出力するプログラム。ＣＮＦの項を第一成分とし、空集合を第二成分として持つ順序対。順序対の第一成分として出現する項のうちお互いに共通部を持つ項同士について、それぞれの２つの項の組について、片方の項を第一成分として持ち、もう片方の項及びその項の差分部の肯否を入れ替えた項全ての集合を第二成分として持つ順序対。そして共通部を持つ項全ての項についても同様に作成した順序対。順序対の第一成分として出現する項のうちお互いに相補部を持つ項同士について、その項の浸出項を第一成分として持ち、対象の項及び対象の項の差分部の肯否を入れ替えた項（ただしお互い相補部（共通部）の肯... | 【技術分野】【０００１】本発明は、コンピュータにて論理式を変換するプログラム、及び充足可能性問題を扱うプログラム、及び充足可能性問題の難易度を評価するプログラムに関する | 【背景技術】【０００２】従来、コンピュータでは様々な問題が扱われており、また論理式や充足可能性問題、恒真式問題など論理に関する問題も様々なものが扱われている。【０００３】特にＳＡＴ（充足可能性問題）は、ＮＰ完全問題として非決定性チューリングマシンと等価であることが判明しており、またその応用範囲も広い。そのため、コンピュータで自動的に解決する様々なＳＡＴ解法（ＳＡＴソルバ）が研究・実用化されている。【０００４】ＳＡＴは条件により様々な種類が存在する。特にＣＮＦ（乗法標準形）で構成されたＣＮＦＳＡＴと、３ＣＮＦ（項のリテラルが３つまでに限定されたＣＮＦ）で構成された３ＳＡＴが重要である。ＳＡＴはＣＮＦＳＡＴや３ＳＡＴに変換可能であり（例... | 【発明が解決しようとする課題】【００１２】上記の通り、ＳＡＴの構造を活用して効率的に問題を判定する汎用性の高いＳＡＴ解法が存在しなかった。論理式の充足可能性を効率的に求めることのできるＨｏｒｎＣＮＦの形式に変換するプログラムが存在しなかった。ＳＡＴの難易度を効率的に評価するプログラムが存在しなかった。 | 【課題を解決するための手段】【００１３】上記問題を解決するため、本発明では、コンピュータを、入力としてＣＮＦを受け取り、出力として下記の集合の集合を出力するプログラムとした。ＣＮＦの項を第一成分とし、空集合を第二成分として持つ順序対。順序対の第一成分として出現する項それぞれの、その項のお互いに共通の変数が存在しかつ共通の変数の肯否が全て一致する（本特許ではこの部分を共通部と呼ぶ。また共通部にあるリテラルからなる項を共通項と呼ぶ）項同士について、それぞれの２つの項の組について、片方の項を第一成分として持ち、もう片方の項及びその項の共通部に含まれない部分（本特許では差分部と呼ぶ。また差分部にあるリテラルからなる項を差分項と呼ぶ）の肯否を... | 【発明の効果】【００３１】本発明により、ＣＮＦの持つ構造を活用して、コンピュータで取り扱いやすいデータ形式、特にＨｏｒｎＣＮＦや半順序を持つ有向グラフの形に変形することが可能となった。またその結果を用いて効率的にＳＡＴをコンピュータで処理することが可能となった。さらに、ＳＡＴの難易度を効率的に評価することが可能となった。 | 【発明を実施するための形態】【００３３】以下に本発明の実施形態の一つについて、図面に基づき説明する。図１は本発明のプログラムの構成図である。【００３４】本プログラムは以下の構成となる。論理式を受け取りＣＮＦに変換する入力部１１１。入力部１１１から受け取ったＣＮＦを元に、各項の関係を表すデータに変換する変換部１１２。変換したデータを出力する出力部１１３。また、変換部が作成したデータを元に充足可否を判定するＳＡＴ判定部１２１、及びＳＡＴ判定部１２１の結果を出力する判定結果出力部１２２が存在することもある。また、変換部が作成したデータを元にＳＡＴの難易度を評価するＳＡＴ評価部１３１、及びＳＡＴ評価部１３１の結果を出力する評価結果出力部１３... |
A | 2012142460 | 2011000002 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012142460 | 20120726 | null | null | 5220136 | 20130315 | null | null | null | 照明光学系、露光装置およびデバイス製造方法 | 000001007 | キヤノン株式会社 | 100076428 | 大塚 康徳 | 辻 俊彦 | null | 8 | H01L 21/027 (20060101), G03F 7/20 (20060101), G02B 19/00 (20060101), G02B 17/00 (20060101) | H01L 21/30 518 ,G03F 7/20 521 ,H01L 21/30 531A ,G02B 19/00 ,G02B 17/00 Z | 10 | null | null | null | 1 | 12 | 2H052,2H087,5F046,5F146 | 2H052 BA03 ,2H052 BA09 ,2H052 BA12,2H087 KA21 ,2H087 NA02 ,2H087 NA04 ,2H087 TA02,5F046 CB03 ,5F046 CB13 ,5F046 CB23 ,5F046 GB01,5F146 CB03 ,5F146 CB13 ,5F146 CB43 ,5F146 GB11 | 【課題】照明光学系において、光源からの光の角度分布の不均一性を解消しつつ、均一な光強度分布を高い効率で形成するために有利な技術を提供する。【解決手段】光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系は、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分... | 【請求項１】光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分割部に提供される光の断面形状とは異なる断面形状を有する光が入射するように、前記複数の光束を生成する、ことを特徴とする照明光学系。【請... | 【請求項１】光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分割部に提供される光の断面形状とは異なる断面形状を有する光が入射するように、前記複数の光束を生成する、ことを特徴とする照明光学系。 | 【技術分野】【０００１】本発明は、照明光学系、露光装置およびデバイス製造方法に関する。 | 【背景技術】【０００２】露光装置の解像力を向上させるために、輪帯照明、四重極照明といった変形照明法あるいはＲＥＴ（ＲｅｓｏｌｕｔｉｏｎＥｎｈａｎｃｅｍｅｎｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）が用いられる。特にＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａＶｉｏｌｅｔ）照明光学系においては、ミラーの枚数の増加によって基板に到達する光の強度が低下するので、変形照明のためのミラーユニットを設けずに開口絞りによる切り出しが行なわれている。そのために、開口絞りにより遮光される光束が多くなり、結果的に効率が低い照明となっている。例えば、特許文献１の図１８には、光源からのＥＵＶ光束をミラー１５により平行光束として均一化を施さずにハエの目ミラー２０ａ、２０ｂに入射させる実施... | 【発明が解決しようとする課題】【０００４】本発明は、上記の課題認識を契機としてなされたものであり、照明光学系において、光源からの光の角度分布の不均一性を解消しつつ、均一な光強度分布を高い効率で形成するために有利な技術を提供することを目的とする。 | 【課題を解決するための手段】【０００５】本発明の１つの側面は、光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系に係り、前記照明光学系は、前記光源からの光を分割して複数の光束を生成する分割部と、前記分割部によって生成された前記複数の光束の光強度分布のそれぞれを均一化する第１反射型インテグレータと、前記第１反射型インテグレータからの光を集光する集光部と、前記集光部からの光を受けて前記被照明面を照明する第２反射型インテグレータと、前記第２反射型インテグレータと前記被照明面との間に配置される開口絞りとを備え、前記分割部は、前記開口絞りが配置される面に対して、前記光源から前記分割部に提供される光の断面形状とは異なる断面形状を有する光が入射する... | 【発明の効果】【０００６】本発明によれば、照明光学系において、光源からの光の角度分布の不均一性を解消しつつ、均一な光強度分布を高い効率で形成するために有利な技術が提供される。 | 【発明を実施するための形態】【０００８】図１を参照しながら本発明の実施形態の露光装置ＥＸおよび照明光学系ＩＬを説明する。本発明の実施形態の露光装置ＥＸは、光源ＬＳと、照明光学系ＩＬと、投影光学系ＰＯと、原版駆動機構２６と、基板駆動機構２９とを備えている。光源ＬＳは真空容器８に収容されている。照明光学系ＩＬ、投影光学系ＰＯ、原版駆動機構２６および基板駆動機構２９は、露光装置ＥＸの本体を構成し、真空容器３０に収容されている。露光装置ＥＸは、例えば、露光光としてＥＵＶ光を使用するＥＵＶ露光装置として構成されうるが、他の光（例えば、レーザー光）を使用する露光装置として構成されてもよい。ただし、以下では、具体例を提供するために、露光装置ＥＸが... |
A | 2012142461 | 2011000003 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012142461 | 20120726 | null | null | 5241862 | 20130412 | null | null | null | 露光装置及びデバイスの製造方法 | 000001007 | キヤノン株式会社 | 100076428 | 大塚 康徳 | 酒井 啓太,林 達也,長谷川 敬恭 | null | 8 | H01L 21/027 (20060101) | H01L 21/30 515D | 8 | null | null | null | 1 | 14 | 5F046,5F146 | 5F046 BA03 ,5F046 CB01 ,5F046 CB24 ,5F046 CB25,5F146 BA03 ,5F146 CB01 ,5F146 CB44 ,5F146 CB45 | 【課題】回収口での液体の回収に有利な技術を提供する。【解決手段】投影光学系を有し、前記投影光学系及び液体を介して基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系と前記基板との間に供給された前記液体を回収する複数の回収口と、前記複数の回収口に接続されたチャンバと、前記複数の回収口及び前記チャンバを介して前記液体を吸引するポンプと、を有し、前記複数の回収口は、多角形の各辺の頂点間及び各頂点に離散的に配列され、前記複数の回収口のうち前記各頂点に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差は、前記複数の回収口のうち前記各辺の頂点間に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差より小さい、ことを特徴とする露光装置を提供する。【選択図】図２ | 【請求項１】投影光学系を有し、前記投影光学系及び液体を介して基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系と前記基板との間に供給された前記液体を回収する複数の回収口と、前記複数の回収口に接続されたチャンバと、前記複数の回収口及び前記チャンバを介して前記液体を吸引するポンプと、を有し、前記複数の回収口は、多角形の各辺の頂点間及び各頂点に離散的に配列され、前記複数の回収口のうち前記各頂点に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差は、前記複数の回収口のうち前記各辺の頂点間に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差より小さい、ことを特徴とする露光装置。【請求項２】前記チャンバと前記ポンプとを接続する回収管を有し、前記チャンバは、前記多角形の... | 【請求項１】投影光学系を有し、前記投影光学系及び液体を介して基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系と前記基板との間に供給された前記液体を回収する複数の回収口と、前記複数の回収口に接続されたチャンバと、前記複数の回収口及び前記チャンバを介して前記液体を吸引するポンプと、を有し、前記複数の回収口は、多角形の各辺の頂点間及び各頂点に離散的に配列され、前記複数の回収口のうち前記各頂点に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差は、前記複数の回収口のうち前記各辺の頂点間に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差より小さい、ことを特徴とする露光装置。 | 【技術分野】【０００１】本発明は、露光装置及びデバイスの製造方法に関する。 | 【背景技術】【０００２】半導体デバイスなどの製造工程において、投影光学系の最終レンズ（最終面）とウエハ（基板）との間を液体で満たした状態でウエハを露光する露光装置（液浸露光装置）が使用されている。液浸露光装置は、液体を局所的に保持するために、液体を供給及び回収するための液浸ノズルを投影光学系の周囲に有している。【０００３】液浸ノズルは、ウエハを保持するステージを高速で移動させた場合でも、ウエハ上に液体が残留しないように設計される。例えば、液浸ノズルの下面（ウエハに対向する面）において、多角形の頂点に位置する回収口と、各頂点を結ぶ辺の上に位置する回収口とを含む複数の回収口を配置することで、ウエハ上の液体の残留を抑制する技術が提案されて... | 【発明が解決しようとする課題】【０００５】しかしながら、特許文献１に開示された技術では、多角形の頂点の近傍ではメニスカスに作用する力を緩和できないため、かかる回収口で液体を完全に回収することができず、ウエハ上に液体が漏れ出てしまうことがある。【０００６】本発明は、このような従来技術の課題に鑑みてなされたものであり、回収口での液体の回収に有利な技術を提供することを例示的目的とする。 | 【課題を解決するための手段】【０００７】上記目的を達成するために、本発明の一側面としての露光装置は、投影光学系を有し、前記投影光学系及び液体を介して基板を露光する露光装置であって、前記投影光学系と前記基板との間に供給された前記液体を回収する複数の回収口と、前記複数の回収口に接続されたチャンバと、前記複数の回収口及び前記チャンバを介して前記液体を吸引するポンプと、を有し、前記複数の回収口は、多角形の各辺の頂点間及び各頂点に離散的に配列され、前記複数の回収口のうち前記各頂点に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差は、前記複数の回収口のうち前記各辺の頂点間に位置する回収口と前記ポンプとの間の圧力差より小さい、ことを特徴とする。【０００８... | 【発明の効果】【０００９】本発明によれば、例えば、回収口での液体の回収に有利な技術を提供することができる。 | 【発明を実施するための形態】【００１１】以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、各図において、同一の部材については同一の参照番号を付し、重複する説明は省略する。【００１２】図１は、本発明の一側面としての露光装置１の構成を示す概略図である。露光装置１は、投影光学系とウエハなどの基板との間に供給された液体を介して、ステップ・アンド・スキャン方式（走査露光）で基板を露光する液浸型の露光装置（液浸露光装置）である。但し、露光装置１は、ステップ・アンド・リピート方式やその他の露光方式も適用することができる。【００１３】露光装置１は、照明装置１０と、レチクル２０を載置するレチクルステージ２５と、投影光学系３０と... |
A | 2012142462 | 2011000004 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012142462 | 20120726 | null | null | 5340321 | 20130816 | null | null | null | ミラーおよびその製造方法、露光装置、ならびに、デバイス製造方法 | 000001007 | キヤノン株式会社 | 100076428 | 大塚 康徳 | 正木 文太郎,三宅 明 | null | 8 | H01L 21/027 (20060101), G03F 7/20 (20060101), G02B 5/08 (20060101) | H01L 21/30 516A ,H01L 21/30 531A ,G03F 7/20 521 ,G02B 5/08 A ,G02B 5/08 C | 11 | null | null | null | 1 | 14 | 2H042,5F046,5F146 | "2H042 DA08 ,2H042 DA12 ,2H042 DA15 ,2H042 DB02 ,2H042 DC02 ,2H042 DE07,5F046 CB02 ,5F046 CB25 ,5F04(...TRUNCATED) | "【課題】簡単な構成で優れた形状精度を持つミラーを得るために有利な技(...TRUNCATED) | "【請求項１】熱により膜厚が変化する形状修正層を基板の上に配置する第(...TRUNCATED) | "【請求項１】熱により膜厚が変化する形状修正層を基板の上に配置する第(...TRUNCATED) | "【技術分野】【０００１】本発明は、ミラーおよびその製造方法、露光装(...TRUNCATED) | "【背景技術】【０００２】ＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａＶｉｏｌｅ(...TRUNCATED) | "【発明が解決しようとする課題】【０００８】特許文献２に記載された技(...TRUNCATED) | "【課題を解決するための手段】【００１０】本発明の１つの側面は、ミラ(...TRUNCATED) | "【発明の効果】【００１１】本発明によれば、簡単な構成で優れた形状精(...TRUNCATED) | "【発明を実施するための形態】【００１３】以下、添付図面を参照しなが(...TRUNCATED) |
A | 2012142463 | 2011000005 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012142463 | 20120726 | null | null | 5406861 | 20131108 | null | null | null | 露光装置及びデバイス製造方法 | 000001007 | キヤノン株式会社 | 100076428 | 大塚 康徳 | 江本 圭司,原山 智大 | null | 8 | H01L 21/027 (20060101), G05D 3/12 (20060101) | H01L 21/30 515G ,G05D 3/12 305S | 9 | null | null | null | 1 | 13 | 5F046,5F146,5H303 | "5F046 CC01 ,5F046 CC03 ,5F046 CC13,5F146 CC01 ,5F146 CC03 ,5F146 CC13,5H303 AA06 ,5H303 BB02 ,5H303(...TRUNCATED) | "【課題】パターンの重ね合わせ精度の低下及び露光量の均一性の低下を抑(...TRUNCATED) | "【請求項１】原版と基板とを走査しながら前記基板の複数のショット領域(...TRUNCATED) | "【請求項１】原版と基板とを走査しながら前記基板の複数のショット領域(...TRUNCATED) | "【技術分野】【０００１】本発明は、露光装置及びそれを用いたデバイス(...TRUNCATED) | "【背景技術】【０００２】現在、半導体デバイスの製造装置である露光装(...TRUNCATED) | "【発明が解決しようとする課題】【０００６】従来技術における加減速中(...TRUNCATED) | "【課題を解決するための手段】【０００８】本発明は、原版と基板とを走(...TRUNCATED) | "【発明の効果】【０００９】本発明によれば、パターンの重ね合わせ精度(...TRUNCATED) | "【発明を実施するための形態】【００１１】［実施例１］図２は、原版と(...TRUNCATED) |
A | 2012142464 | 2011000006 | 20110101 | null | null | 20120726 | 2012142464 | 20120726 | null | null | 5419900 | 20131129 | null | null | null | フィルタ、露光装置及びデバイス製造方法 | 000001007 | キヤノン株式会社 | 100076428 | 大塚 康徳 | 飯塚 直哉,正木 文太郎,三宅 明 | null | 8 | H01L 21/027 (20060101), G03F 7/20 (20060101) | H01L 21/30 531A ,G03F 7/20 521 | 10 | null | null | null | 1 | 12 | 5F046,5F146 | "5F046 CB08 ,5F046 CB23 ,5F046 DA01 ,5F046 GA03 ,5F046 GA14 ,5F046 GB07,5F146 CB08 ,5F146 CB43 ,5F14(...TRUNCATED) | "【課題】反射させた光による悪影響を発生させることなく特定の波長の光(...TRUNCATED) | "【請求項１】第１波長を有する第１の光を反射し、前記第１波長より短い(...TRUNCATED) | "【請求項１】第１波長を有する第１の光を反射し、前記第１波長より短い(...TRUNCATED) | "【技術分野】【０００１】本発明は、フィルタ、露光装置及びデバイス製(...TRUNCATED) | "【背景技術】【０００２】ＥＵＶ（ExtremeUltra-Violet）光源として、プラズ(...TRUNCATED) | "【発明が解決しようとする課題】【０００８】しかし、従来のフィルタが(...TRUNCATED) | "【課題を解決するための手段】【００１０】本発明は、第１波長を有する(...TRUNCATED) | "【発明の効果】【００１１】本発明によれば、反射させた光による悪影響(...TRUNCATED) | "【発明を実施するための形態】【００１３】本発明の露光装置は、第１波(...TRUNCATED) |
A | 2012140839 | 2011010258 | 20110102 | null | null | 20120726 | 2012140839 | 20120726 | null | null | null | null | null | null | null | 縁石切下部分危険防止及び保護“蛍”標示板 | 509223564 | 白出 敦子 | null | null | 白出 敦子 | null | 8 | E01F 9/053 (20060101) | E01F 9/053 | 2 | null | null | null | 0 | 4 | 2D064 | "2D064 AA11 ,2D064 AA22 ,2D064 BA05 ,2D064 CA02 ,2D064 CA06 ,2D064 DA05 ,2D064 DA09 ,2D064 DA13 ,2D0(...TRUNCATED) | "【課題】取付が簡易でありながら危険標示と保護の機能性をもった道路縁(...TRUNCATED) | "【請求項１】ゴム製のシ－トに反射材を埋め込んだことを特徴とする道路(...TRUNCATED) | "【請求項１】ゴム製のシ－トに反射材を埋め込んだことを特徴とする道路(...TRUNCATED) | "【技術分野】【０００１】この発明は、道路縁石、特に縁石切下部分に用(...TRUNCATED) | "【背景技術】【０００２】従来の道路縁石に用いる危険防止標示の形状は(...TRUNCATED) | "【発明が解決しようとする課題】【０００３】しかしながら、以上の技術(...TRUNCATED) | "【課題を解決するための手段】【０００４】以上の課題を解決するために(...TRUNCATED) | "【発明の効果】【０００５】第一発明、または第二発明によれば、ゴム製(...TRUNCATED) | "【発明を実施するための形態】【０００７】この発明の一実施形態を、図(...TRUNCATED) |
S | WO2011083776 | 2011548994 | null | JP2011050001 | 20110104 | 20130513 | null | null | WO2011083776 | 20110714 | 5822729 | 20151016 | null | null | null | 発酵乳の製造方法及び乳製品 | 000006138 | 株式会社明治 | 100103539 | 衡田 直行 | 石川 冬馬,江並 麻里,山本 昌志 | 2010001519,20100106,JP | 8 | A23C 9/123 (20060101), A23C 9/13 (20060101) | A23C 9/123 ,A23C 9/13 | 8 | null | null | "AP(BW,GH,GM,KE,LR,LS,MW,MZ,NA,SD,SL,SZ,TZ,UG,ZM,ZW),EA(AM,AZ,BY,KG,KZ,MD,RU,TJ,TM),EP(AL,AT,BE,BG,C(...TRUNCATED) | 0 | 19 | 4B001 | 4B001 AC06 ,4B001 AC31 ,4B001 BC14 ,4B001 EC99 | "発酵工程後の加熱や添加物の使用などの煩雑な操作を必要とせず、経時的(...TRUNCATED) | "【請求項１】発酵乳の原料に乳酸桿菌及び乳酸球菌を添加し、４４～５５(...TRUNCATED) | "【請求項１】発酵乳の原料に乳酸桿菌及び乳酸球菌を添加し、４４～５５(...TRUNCATED) | "【技術分野】【０００１】本発明は、発酵乳の風味や品質を簡便かつ効率(...TRUNCATED) | "【背景技術】【０００２】発酵乳は「乳等省令」で、乳またはこれと同等(...TRUNCATED) | "【発明が解決しようとする課題】【０００７】特許文献１に記載の技術は(...TRUNCATED) | "【課題を解決するための手段】【０００９】本発明者らは、上記の課題を(...TRUNCATED) | "【発明の効果】【００１４】本発明によると、発酵乳の原料に乳酸桿菌及(...TRUNCATED) | "【発明を実施するための形態】【００１７】本発明の発酵乳の製造方法は(...TRUNCATED) |
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