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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査②", "WorkItems": [ "T101", "T103", "T102", "T104", "T105", "■2. ヒーターユニット DC電源調整", "■1. パワーユニット DC電源調整", "■3. VCMドライバー用 DC電源調整" ], "WorkPoints": [ "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する",...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessName": "安全工程" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査③", "WorkItems": [ "作業標準書「SD-A008724」 が完了していること", "5. 可動部配線処理確認(干渉、当り、引張り等無い事)", "2. システム立ち上げ確認", "1. M/C本体システムインストール", "3. ACサーボドライバパラメータインストール", "4. ヘッドY軸 原点調整" ], "WorkPoints": [ "ヘッドY軸", ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査④", "WorkItems": [ "1. 全軸原点復帰動作及び移動量確認" ], "WorkPoints": [ "⑤で選択される", "上記同様軸を選択した状態で原点復帰を押す", "軸を移動させるときは干渉物がないかを十分に確認する", "ドロップダウンメニューから移動量を選択する", "矢印で操作", "◆移動量軸の移動レートを選択して軸を動作して設定値と実際の移動量に差がないか...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑤", "WorkItems": [ "1. 検査表に沿って各LED照明の光量が問題なく変更できるかを確認する" ], "WorkPoints": [ "カメラを選択", "光量を調整", "設備画面でLEDの光量を調整して実際に照明の光量が変化することを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑥", "WorkItems": [ "2. 温度上昇確認", "1. 熱電対の動作に問題がないか確認する" ], "WorkPoints": [ "◆常温時温度 : 外気温度とほぼ一致していること", "◆熱電対オープン時 : 800度以上パワーオフの状態で各熱電対コネクタを抜いたときの温度表示を記録する", "各ヒーターを50℃に設定して温度が上昇することを確認する", "③現在選択中の品種デー...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑦", "WorkItems": [ "1. 制御製品検査表に基づき安全テストを実施する" ], "WorkPoints": [ "①Toolsを押す", "②パワー制御を押す", "③カバー開(本体)を押す", "④対象の出力を探す", "◆前面カバーオープンで基板押さえ上下VL(R3500,R3501,R3503,R3504)プリステージ上下VL(R3534,R3535)が動作しないこと。...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "真空センサ設定", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い真空センサ設定を行う", "2. 上記のその他のモードを参考にキーをロックする" ], "WorkPoints": [ "オプションもありますので仕様を確認して下さい。", "工場出荷時から【表示色】を変更", "設定センサ", "変更", "変更" ], "Tolks": [], "InspectionNo"...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いファイバーセンサ設定を行う" ], "WorkPoints": [ "工場出荷時から【出力動作設定(Light ON、Dark ON)】と【閾値】を変更", "①キーロックを解除する", "④【○】を4回押し『RUNモード』へ戻る", "②【○】を2秒長押し⇒『SETモード』へ入る", "③【○】を1回押し⇒『出力動作設定モー...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定②", "WorkItems": [ "1. 下記の設定表に従いファイバーセンサの閾値設定を行う", "2. 設定表の光量以上であることを確認し、光量の足りない場合は調整する" ], "WorkPoints": [ "⑤△▽キーでしきい値を設定する", "⑥キーロックを行う", "※アンプの種類が違う為、次ページの手順に従ってください", "各センサとアンプの場所は次ページを参...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定③", "WorkItems": [ "1. ファイバーセンサーの位置説明" ], "WorkPoints": [ "右側センサが上段のアンプ" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "視野A", "視野A", "視野B", "視野A", "※各セ...
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定④", "WorkItems": [ "1. 操作説明" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "⑨ウエハ飛び出し検出センサ設定表" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "レギュレータ調整①", "WorkItems": [ "1. 下記を参考にレギュレータの調整を行う" ], "WorkPoints": [ "本体右側面のレギュレータで調整", "『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』のウエハフレームチャックを動作させて確認" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words"...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "レギュレータ調整②", "WorkItems": [ "1. オプションがある場合は下記のユニットも調整すること" ], "WorkPoints": [ "搭載指示書に基づき、作業前にメーカー設定を行うこと" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "検査表①:レギュレータ調整", "エアパージ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "配線・配管確認表確認", "WorkItems": [ "1. 配線・配管確認表に基づき確認を行う" ], "WorkPoints": [ "ボンディングステージX/Y軸", "基板搬入/搬出軸", "アンローダーリフター軸", "ボンディングヘッドY軸", "ピックアップヘッドX/反転θ軸", "ボンディングヘッドZ/θ軸", "エジェクター上下", ...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "I/Oチェック", "WorkItems": [ "2. 入出力リスト_MD04-C07に基づき各I/Oの動作に問題がないかを確認する", "1. I/Oテスト画面を開く" ], "WorkPoints": [ "入力側", "出力側", "「表示切替」ボタンで日本語表記に変更できる", "入力側", "出力側", "下記手順でI/Oテスト画面を開く", "仕様によって確認する項目...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認①", "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考にボンディングステージ、プリステージの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認②", "WorkItems": [ "2. 下記手順を参考にボンディングヘッドの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認③", "WorkItems": [ "3. 下記手順を参考にエジェクダの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、『プログ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認④", "WorkItems": [ "4. 下記手順を参考に昇温確認を行う", "5. 正常な昇温が確認されたら上記と同じようにヒータ名を選択し『Heater Control』を押しヒータをOFFさせる" ], "WorkPoints": [ "※パワーがONになっている場合は設定終了時に自動でヒータが昇温開始しします。", "エラーが起きた場合はヒータ、温度ヒューズの配線やコネクタを確認し不具合が見当たらない場...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータステージ温度分布確認①", "WorkItems": [ "1. P/S、B/Sのヒータを300℃に昇温させ2時間以上設定温度で放置する", "2. 下記を参考にP/SとB/Sの温度分布を測定する" ], "WorkPoints": [ "昇温方法はステーション検査書の前項目【ステージ慣らし昇温】を参考にして下さい", "B/Sは①③⑦⑨測定時にジャッキ部分は避けること" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "キャリブレーションデータ確認", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine_data』の『編集』に入る", "2. 『キャリブレーション』⇒『認識設定』の編集を可能な状態にし全項目を【しない】に設定する", "4. 『確定』で保存する", "3. 『キャリブレーション』⇒『位置ずれ量』の編集を可能な状態にし全項目の設定値を【0.000】にする" ], "WorkPoints...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "数値:0設定:OFF", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッドY軸位置設定", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions_ Data』の『編集』に入り『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の編集可能にする", "2. 下記を参考にカメラ位置に合った数値を入力する", "3. 編集をロックし『確定』で保存する" ], "WorkPoints": [ "編集ロック", "カメラ位置100㎜...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従い入力する", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ステージ退避位置入力", "WorkItems": [ "1. ステージ退避位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングステージ」-「USツールメンテナンス時ステージ退避位置XY」:100mm" ], "Tolks": [],...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:100㎜Y:100㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "USツール基準長さ入力", "WorkItems": [ "1. USツール基準長さが指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングヘッド」-「USツール基準長さ」:実際に使用している治具の寸法を入力する" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "使用するFM-3131の長さを入力", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る", "3. 『フリップ受渡し位置反転θ』に【\u002B90.000°】を、『ダイピックアップ反転θ』に【-90.000°】を入力する", "2. 『ベーシックマシン』⇒『フリップ動作設定』に入る", "『フリップ受渡し位置反転θ』に【\u002B...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従い入力する", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ基準位置確認", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ基準位置の確認を行う" ], "WorkPoints": [ "固定値" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "【確認手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ウエハ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:120㎜Y:225㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. ウエハ交換位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ウエハーユニット」-「AWC」-「交換位置XY」:0mm" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "In...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:0㎜Y:0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "オフセット値入力確認", "WorkItems": [ "1.基板高さオフセット値入力確認", "2. ノズルオフセット値入力確認", "3. ボンディングオフセット値入力確認" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "Ⅰ、 『プログラム』⇒『品種データ』で品...
{ "QualityItem": "オフセット値", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "オフセット値:0.000の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "全軸原点復帰", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』で各軸を選択し下記順序に添って原点復帰を行う", "2. 『Tools』⇒『パワー制御』に入り『全軸原点復帰』を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "検査表①:全軸...
{ "QualityItem": "原点確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "原点復帰ができること", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "スピコン調整", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』を選択する", "2. 動作させる軸を選択し『動作回数設定』、『ピッチ時間』を入力して『開始』を押す", "3. 2往復目以降にON、OFF動作時間を確認し規格外ならスピコンを調整する" ], "WorkPoints": [ "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事", "動作回数:3~無限ピッチ時間:1....
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "水準器", "Size": "0.02㎜/目盛", "ToolOther": "", "WorkName": "架台レベル出し最終調整", "WorkItems": [ "1. ボンディングステージを右奥に移動させ基板XYテーブルのレール上面でレベル出しを行う" ], "WorkPoints": [ "0.04㎜/m以下(通常使用の水準器2目盛り分【0.02/目盛】)", "レール上面に水準器をセットしレベル出しを行う" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", ...
{ "QualityItem": "水準確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.04㎜以下(2目盛り以内)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2748", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [ "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。" ], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "15㎜のブロックゲージを調整機構の横にセットしその上を測定する", "測定ポイント", "平面調整治具:FM-2748", "規格外の場合は作業項目1~2を再調整し平行度と平面度の両立を...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [ "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。", "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。" ], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "15㎜のブロックゲージを調整機構の横にセットしその上を測定する", "測定ポイント", "平面調整治具:F...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [ "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。" ], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "15㎜のブロックゲージを調整機構の横にセットしその上を測定する", "測定ポイント", "平面調整治具:FM-2748", "規格外の場合は作業項目1~2を再調整し平行度と平面度の両立を...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平行度調整", "WorkItems": [ "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。", "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。" ], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "15㎜のブロックゲージを調整機構の横にセットしその上を測定する", "測定ポイント", "平面調整治具:...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/60㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け\u0026平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面でダイヤルゲージを \u00220\u0022 にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2748", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け\u0026平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面でダイヤルゲージを \u00220\u0022 にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15.5㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け\u0026平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面でダイヤルゲージを \u00220\u0022 にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "WorkItems": [ "【ツール取付け面 平面度規格】:5μm/20mm以下", "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する", "【ツール取付け面 平面度規格】:5μm/20mm以下", "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ツール取付け面平面度規格】:5μm/20㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "WorkItems": [ "【ツール取付け面 平面度規格】:5μm/20mm以下", "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定間隔:20㎜", "ノズル取付け位置決めPIN" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "",...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整②", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "②Y方向調整手順Ⅰ、固定ボルトを緩める。Ⅱ、調整ボルトが押し調整のみに有効の為、【調整用押しボルト側】が低い場合は 調整ボルトを緩めて【調整用押しボルト側】を高くして固定ボルトを...
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "【ヘッド 平行度規格】:10μm/10mm以下", "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\u00220\u0022にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\u00220\u0022にする", "原点オフセットを入力する...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "【ヘッド 平行度規格】:10μm/10mm以下", "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\u00220\u0022にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\u00220\u0022にする", "原点オフセッ...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "【ヘッド 平行度規格】:10μm/10mm以下", "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\u00220\u0022にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\u00220\u0022にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント",...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整④", "WorkItems": [ "2. プラス側オーバーランセンサ位置を調整する", "1. 下記手順にてメカストッパーブラケット位置を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、設備カバーを開き、モータ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10mm以下", "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "検査...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "作業者安全工程" }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10mm以下", "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ ...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "作業者安全工程" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10mm以下", "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する", "◆2. 再調整時はシリコンゴムを塗布する" ], "WorkPoints": [ "再調整の場合はキャリブレーション認識用ガラスを取外してください", "ダイヤルゲージを側面にセットする", "吸...
{ "QualityItem": "塗布量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示箇所に塗布ゴマ粒:1", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "作業者安全工程" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の『編集』に入り、ピックアップ反転θ軸の原点オフセットが \u00220\u0022 であることを確認する", "2. 下記手順に従い、上向き時(\u002B90°)で平面になるように調整する" ], "WorkPoints": [ "てこ式ダ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の『編集』に入り、ピックアップ反転θ軸の原点オフセットが \u00220\u0022 であることを確認する", "2. 下記手順に従い、上向き時(\u002B90°)で平面になるように調整する" ], "WorkPoints": [ ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "ピックアップヘッド平面調整治具", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、上向き時のストッパーを調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "変芯ストッパー", "ストッパーPIN", "変芯ストッパーを調整し隙間を20μ~40μにする", "治具:FM-4811", "平面度:10μ/10㎜以下" ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μ/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.02㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、上向き時のストッパーを調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "変芯ストッパー", "ストッパーPIN", "変芯ストッパーを調整し隙間を20μ~40μにする", "治具:FM-4811", "平面度:10μ/10㎜以下" ], ...
{ "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:20μが通り40μが止る", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、下向き時の平面度を測定する" ], "WorkPoints": [ "上向きの調整とセットで引き続き行うこと。単独では調整しないで下さい", "てこ式ダイヤルゲージをウエハXYテーブルにセットして測定する", "調整機構が無い為、参考値ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:6...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、下向き時の平面度を測定する" ], "WorkPoints": [ "上向きの調整とセットで引き続き行うこと。単独では調整しないで下さい", "てこ式ダイヤルゲージをウエハXYテーブルにセットして測定する", "調整機構が無い為、参考値ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "【平面度規格】:20μm以下", "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する", "【高さ規格】:\u002B10μ~ \u002B40μm以内" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリン...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "エジェクターヘッド高さ治具", "Size": "2㎜", "ToolOther": "FM-4809", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "【平面度規格】:20μm以下", "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する", "【高さ規格】:\u002B10μ~ \u002B40μm以内" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "【平面度規格】:20μm以下", "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する", "【高さ規格】:\u002B10μ~ \u002B40μm以内" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリン...
{ "QualityItem": "高さ", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ:\u002B10μ~\u002B40μm", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整", "WorkItems": [ "【平行度規格】:20μm/150㎜以下", "1. 下記手順に従い、ウエハθ軸の調整する" ], "WorkPoints": [ "メモした値入力(平行度が規格内の時の座標)", "測定ポイント" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionI...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "シートブロー確認", "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『ユニット操作』⇒『ウエハ』⇒『負荷詳細』を選択する", "2. 『シートブローON』を押しヒータパワーを75%に調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ダイヤル", "デジタル表示を75%±0.5%に調整する", "注意:長時間ONさせると温度しすぎて故障します。", "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事" ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "75%±0.5%", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "WorkItems": [ "【平行度規格】:50μm/150㎜以下【平面度規格】:4目盛り以下(0.02㎜/1m水準器使用時)", "1. 下記手順に従い、ウエハカセットリフタの平面・平行を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定ポイント", "調整ボルト", "ウエハマガジンX方向規制面" ], "Tol...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:50μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "水準器", "Size": "2/100", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "WorkItems": [ "【平行度規格】:50μm/150㎜以下【平面度規格】:4目盛り以下(0.02㎜/1m水準器使用時)", "1. 下記手順に従い、ウエハカセットリフタの平面・平行を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定ポイント", "調整ボルト", "ウエハマガジンX方向規制面" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.08㎜以下(4目盛り以下)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する", "2. 『ウエハリフタ基準位置Z測定用治具厚み』に【15.000㎜】を入力する", "3. 『ウエハリフタ基準位置Z』を選択し『ティーチ』に入り初期設定位置に移動させる", "4. エキスパンドにウエハリングを...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする", "2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する" ], "WorkPoints": [ "移動レート選択", "高さティーチ", "リフタを上下に調整し隙間がな...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする", "2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する" ], "WorkPoints": [ "移動レート選択", "高さティーチ", "リフタを上下に調整し隙間がなくなる位置をティーチ",...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセット位置調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセット位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "Y方向の調整を行う", "奥側、手前側のガイドをフリーにする", "ウエハリングカがエキスパンド側とスムーズに乗り移りができる" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [],...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ交換位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "レート選択", "初期値へ移動", "ティーチに入る", "300㎜スケール", "手前側の位置を合わせる", "ティーチ反映", "ティーチ確認", "ティーチ確定", "退避させる" ], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エハフレームトランスファー基準位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "レート選択", "初期値へ移動", "隙間1mm", "ウエハカセット", "ティーチ確認", "ティーチ反映", "ティーチ確定" ], "Tolks":...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "マガジンX方向規制面(300㎜スケール)", "爪先端とマガジンX方向規制面が一致した値から2.4㎜押し込む(面取り分も考慮)" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "1.2㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整③", "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "ウエハリング(6インチ)を奥まで挿入 ※爪に当たるのに注意", "爪の引っ掛かりとウエハリングの隙間:1.2㎜" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Wo...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリング検出センサ位置調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハリング検出センサ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "No,1を選択し移動させる", "ウエハリングを1段目、最上段、中間にセットする", "リング検出センサ", "上下調整(※6インチ、8インチ、特殊によって取付け位置が左右に変わります)", "フレーム有...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームセット確認センサ調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハフレームセット確認センサの調整を行う" ], "WorkPoints": [ "エキスパンドを開く", "交換位置移動", "負荷詳細に入る", "ウエハリングを奥まで挿入", "ウエハフレームセット確認センサ", "【リング無し正常状態】上段:D_ON(右側)ランプ消灯下段:L_ON(左側)ラ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "正常な事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ飛び出し検出センサ調整", "WorkItems": [ "3. ウエハ飛び出し検出センサが指示通り動作することを確認する", "2. ウエハ飛び出し検出センサのしきい値を設定する", "1. 全段にウエハを詰めた状態でウエハマガジンをマガジンリフタへセットする" ], "WorkPoints": [ "ウエハフレーム飛び出し検出B0404", "ウエハ飛び出し検出センサが全投光した状態のアンプの値\u00...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ウエハカセット6inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "ウエハフレームトラ...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ウエハカセット8inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "ウエハフレームトラ...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ウエハフレーム6inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "ウエハフレームトラ...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ウエハフレーム8inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "ウエハフレームトラ...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "荷重校正用ツール", "Size": "", "ToolOther": "FM-3131", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整①", "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『自動生産』⇒『プロセスモニター』⇒『USツール管理』に入り治具ツールを装着する", "2. 『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』の『ボンディングノズル基準ブロックZ測定』を実行する", "【基準ブロック高さ規格】:8㎜±0.1㎜以下" ], "WorkPoints": [ "...
{ "QualityItem": "高さ", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【基準ブロック高さ規格】:8㎜±0.1㎜以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整②", "WorkItems": [ "2. 『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の【基準ブロックステージオフセットX】の位置にステージを移動させる(モーターテストにて)", "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る", "3. カバーを開けてサーボOFFの状態にし治具ツールの中心が基準ブロックの上に来るようにヘッドY軸...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ギャップ調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-3177", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整③", "WorkItems": [ "1. 規格外の場合は下記を参考に調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "当付けままでスライドさせて隙間確保", "隙間確保", "-8.1㎜以下の場合", "-7.9㎜以上の場合" ], "Tolks": [], "InspectionNo":...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "FM-3177", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①", "WorkItems": [ "1.JIG ノズル取付", "2. エジェクター接地位置確認" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具のツバにダイヤルゲージをセットしエジェクタに接地する高さに移動させる", "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①", "WorkItems": [ "1.JIG ノズル取付", "2. エジェクター接地位置確認" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具のツバにダイヤルゲージをセットしエジェクタに接地する高さに移動させる", "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整②", "WorkItems": [ "1.タッチ検出オフセット自動計測" ], "WorkPoints": [ "ドグ", "ドグが変形している可能性があります。オフセットが規格値の範囲外の場合は少し下向きに調整して下さい。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "W...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1001", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いタッチ検出センサ(上側)の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『USツール選択』を押す", "『JIG』の編集に入る", "治具:FM-3131", "『A 全長』が31㎜であることを確認する", "【JIG】以外が取付いている場合は『取外し』、...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いタッチ検出センサ(上側)の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『USツール選択』を押す", "『JIG』の編集に入る", "治具:FM-3131", "『A 全長』が31㎜であることを確認する", "【JIG】以外が取付いている場合は『取外し』、...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し荷重測定治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-3131", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いタッチ検出センサ(上側)の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『USツール選択』を押す", "『JIG』の編集に入る", "治具:FM-3131", "『A 全長』が31㎜であることを確認する", "【JIG】以外が取付いている場合は『取...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整②", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-3131", "治具:FM-2750", "先に0.3㎜押し込みセンサ位置を調整し0.3㎜戻すと簡単です" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Word...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整③", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "ボルトを緩めて上下に調整。オフセットが規格値の範囲外の場合は上向きに調整して下さい。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "【調整手順】・・・・続きⅠ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "P/U高さ測定治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①", "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッド高さ測定治具取付", "2. ピックアップヘッド高さ測定治具取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具:FM-3131" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "Inspecti...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "高さ測定用治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-3131", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①", "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッド高さ測定治具取付", "2. ピックアップヘッド高さ測定治具取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具:FM-3131" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "Inspection...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』⇒『ボンディングヘッドフリップ受...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "\u0027入力範囲:-8.00±1.0㎜以内", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具(先端φ1.5)", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ①", "WorkItems": [ "1. ピックアップヘッド高さ測定用治具取付", "2. エジェクタヘッド取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ②", "WorkItems": [ "1.ピックアップヘッドエジェクターヘッド面高さティーチ実施" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』を選択するⅡ、ピックアップヘ...
{ "QualityItem": "ヘッド面高さ", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:-5.00±0.5㎜以内", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップZ軸待機位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップZ軸待機位置をティーチする" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータの『編集』に入る", "『モータテスト』でピックアップヘッドZ軸を-90°へ移動", "ピックアップZ軸を降ろしてティーチ", "コピー機能を使用するかメモをする", ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "B/S芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4813", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ヒータがOFFの時に調整します", "初期値へ移動させる", "ティーチに入る", "ポジションデータの編集に入る", "同軸照明の光量を上げて治具が確認できるようにする", "...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整②", "WorkItems": [ "1. 調整方法の説明" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Y方向傾き:緩めて中央のピン基準でθを振る", "X方向傾き:割り部を緩めてθを振る", "例)Y方向を調整した場合の見え方" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "Inspectio...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整③", "WorkItems": [ "1. 調整方法の説明" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Z方向固定ボルト", "ピント目視確認", "画面の十字線", "治具の基準線", "CCD固定ボルトを緩めてθを傾ける(3箇所中2箇所)" ], "Tolks": [], "InspectionNo"...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ヘッド・光学系芯出し治具", "Size": "3㎜", "ToolOther": "FM-3125", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "平面の場所に移動", "中央付近に文字を避けてシールを貼る", "Y軸を移動させる", "※カメラ位置によってヘッドY軸の動かす位置が変わります。メンテナンス⇒マシンデータ⇒ポジションデータのベーシックマ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-3125", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "7㎜", "ToolOther": "FM-4813", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "平面の場所に移動", "中央付近に文字を避けてシールを貼る", "Y軸を移動させる", "※カメラ位置によってヘッドY軸の動かす位置が変わります。メンテナンス⇒マシンデータ⇒ポジションデータの...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "打痕が中心に来るように調整", "ボンディングカメラを選択", "照度を選択し光量をあげる", "等倍表示で拡大させる", "固定ボルト", "ジャッキボルト(押し調整のみ)" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整③", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "固定ボルト", "固定ボルト", "ジャッキ(押し調整のみ)", "固定ボルト", "十字カーソルを打痕の中心に移動させる", "ずれ量を確認" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessName": "-" }
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