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{ "ToolName": "スケール", "Size": "150㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "マガジンリフタ_ULD組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いマガジンリフタを組付ける" ], "WorkPoints": [ "段差確認:段差無い事" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:マガジンリフタ_ULD組付け" ], "WorkTyp...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "9㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "マガジンリフタ_ULD組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いマガジンリフタを組付ける" ], "WorkPoints": [ "段差確認:段差無い事" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:マガジンリフ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "ブロックゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "基板プッシャー組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板プッシャーを組付け確認する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:基板プッシャー組付け" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "基板搬入側基板飛び出し検出センサ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板搬入側基板飛び出し検出センサーの組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "基板搬入側基板飛び出し検出センサ組付け位置", "基板搬入側基板飛出し検出センサーアンプ", "P=投光側D=受光側", "アッタチメントが止まるところまで挿入しロックする" ], "Tolks": [], "Ins...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド(VCM)組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングヘッドを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "底面のPINを外すと測定が容易になります", "規格:5μm/20㎜以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", ...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:5μ/20㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド用カメラアライメントユニット組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングヘッド用カメラアライメントユニットを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "カメラアライメントユニット組付け位置" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド用チップ廃棄BOX組付け", "WorkItems": [ "1.下記手順に従い ボンディングヘッド用チップ廃棄BOXを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ボンディングヘッド用チップ廃棄BOX組付け位置" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップユニット組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いピックアップユニットを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "隙間確認:0.01㎜以下", "ピックアップ用D-PIN" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表...
{ "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:0.01㎜以下", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングステージカメラの組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ボンディングステージカメラ", "100mm仕様" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:B/Sカ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "B/Sカメラ用1灯LEDスポット照明組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いB/Sカメラ用1灯LEDスポット照明を組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "B/Sカメラ用1灯LEDスポット照明", "ヘッドZθ軸との干渉無い事を確認する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems":...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ&アップルッキングカメラ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いアップルッキングカメラスタンドを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "隙間確認:0.01㎜以下", "D-PIN当付け確認", "アップルッキングカメラスタンド" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004",...
{ "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:0.01㎜以下", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "フリップカメラ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いフリップカメラを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "フリップカメラ取付ボルト", "ピックアップユニットベースプレート" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:フリップカメラ組付け...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ用バーコードカメラ、LED照明組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハ用バーコードカメラ、LED照明を組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ウエハ用バーコードカメラ(Max50㎜)", "バーコードカメラ用LED照明", "ウエハバーコードカメラブラケット" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-54...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "陽炎防止ブローユニット組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い陽炎防止ブローユニットを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "陽炎防止ブローユニット" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:陽炎防止ブローユニット組付け" ], "WorkType...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ用イオナイザー組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハ用イオナイザーを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ウエハ用イオナイザー" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ用イオナイザー組付け" ], "WorkTypes": ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "機内照明組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い機内照明を組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "機内照明", "ケーブル" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:機内照明組付け" ], "WorkTypes": [], "Words"...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "電源投入", "WorkItems": [ "1. 電源ケーブルをメインSWに接続し220Vコンセントに接続する", "2. 正圧、負圧のエアーを供給する", "3. マシンのメインSWを【ON】する" ], "WorkPoints": [ "電源、正圧供給", "負圧供給", "電源『ON』", "正圧供給" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDW...
{ "QualityItem": "接続確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り接続出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "MMC初期化SDUSB変換治具", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "MMC初期化", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いMMCの初期化インストールを行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:MMC初期化" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "【MMC...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "BIOS設定", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いBIOSの設定を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:BIOS設定" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "【BIOS設定手順】 1) マシンのFAパソ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "システム更新SD", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "システム更新1", "WorkItems": [ "1. 更新するソフトウエアの入ったSDカードを設備に挿入する", "2. Toolsから、システム更新を選択し、標準更新の画面を選択する", "3. 標準バージョンアップの画面が開きます" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "W...
{ "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "システム更新2", "WorkItems": [ "1. 更新元のドライブ選択で、SDカードからを選択する", "2. SDカードのドライブを選択", "3. ドライブ内を表示して、SD_Lmageフォルダを選択します" ], "WorkPoints": [ "通常、SDカードドライブはFドライブですが、設定によっては異なります", "指示通り選択すると、これから更新するHMI..MMC.SMV...
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "システム更新3", "WorkItems": [ "3. 更新が正常に終了しましたと表示されると更新完了です。 シャットダウンを押して、設備を再起動してください。", "2. 【実行】 ボタンを押すと、確認のダイアログが表示されます。 【はい】 と押す、更新が開始されます", "1. 更新と同時に、現在稼動しているソフトウエアを設備HDD内のバックアップ箇所は3つあり 自動的にもっとも古いバージョンに現在のソフトウエアを選択・上書...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ドキュメント更新SD", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ドキュメント更新1", "WorkItems": [ "1. ドキュメント更新用のSDカード作成", "2. 更新するドキュメントの入ったSDカードを設備に挿入します", "3. Toolsから、システム更新を選択し、カスタム更新の画面を選択します", "4. DOCのタブを押して、ドキュメント更新画面を開きます" ], "WorkPoints": [ "ドキュメントの入ったSD-ROM...
{ "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ドキュメント更新2", "WorkItems": [ "1. SDカードのドライブを選択します。", "2. 【実行】 ボタンを押すと、確認のダイアログが表示されます。 【はい】 を押すと更新が開始されます。", "3. 正常に更新されたら、【戻る】 ボタンを押してください。" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "Inspection...
{ "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ファームウェア更新SD", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファームウエアのアップデート手順", "WorkItems": [ "1. ADMINの権限でログインする", "2. 【Tools】⇒【システム更新】⇒【カスタム更新】を選択", "3. MMC初期SD挿入", "4. 【SD⇔MMC】⇒【ファームウエア更新】を選択", "5. [更新元フォルダ選択]でSDドライブの【F:\\】を選択", "6. [ファームウエア種類]で6番~10番までにチ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "データSD", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "マシン初期設定", "WorkItems": [ "1. 搭載指示書に従い【メーカー設定】、【アドミニ設定】を行う" ], "WorkPoints": [ "【設定】⇒【モード設定】⇒【メーカー設定】を選択する", "【設定】⇒【モード設定】⇒【アドミニ設定】を選択する ※アドミニ権限でログイン時に画面表示されます" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ドライバパラSD", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "マシン初期設定②", "WorkItems": [ "1. I/O工程にてI/Oチェック表を基にパラメーターの書込みが実施してある事" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:サーボドライバーパラメータ書込み" ], "WorkTypes": []...
{ "QualityItem": "操作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "外部モニタ設定①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いWindowsモニタ設定を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:外部モニタ設定" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "※【注意:設定前にメーカー設定「...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "外部モニタ設定②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いWriteFilterの設定を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:外部モニタ設定" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "キーボードが無い場合に使...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査①", "WorkItems": [ "■1. 電源投入時確認を実施する" ], "WorkPoints": [ "トリップ後ブレーカースイッチが斜めの位置になるので電源OFFの位置へ手でひねる", "図に示した4か所についてファンの風が設備外側に吹き出していることを確認する", "メインブレーカースイッチをONして装置が立ち上がることを確認する" ], "Tolks": [], "Inspectio...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査②", "WorkItems": [ "■2. ヒーターユニット DC電源調整", "■1. パワーユニット DC電源調整", "■3. VCMドライバー用 DC電源調整" ], "WorkPoints": [ "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する", "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する", "各DC電源の出力端子にテ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査③", "WorkItems": [ "5. 可動部配線処理確認(干渉、当り、引張り等無い事)", "2. システム立ち上げ確認", "1. M/C本体システムインストール", "3. ACサーボドライバパラメータインストール", "4. ヘッドY軸 原点調整" ], "WorkPoints": [ "ソフト搭載指示書と本体のバージョンを確認する", "ソフト搭載指示書と本体のバ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査④", "WorkItems": [ "1. 全軸原点復帰動作及び移動量確認" ], "WorkPoints": [ "軸を移動させるときは干渉物がないかを十分に確認する", "◆移動量軸の移動レートを選択して軸を動作して設定値と実際の移動量に差がないかを確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」", "◆原点復帰単軸で原点復帰動作に問題がないか確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」"...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑤", "WorkItems": [ "1. 検査表に沿って各LED照明の光量が問題なく変更できるかを確認する" ], "WorkPoints": [ "設備画面でLEDの光量を調整して実際に照明の光量が変化することを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-001", "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表" ], ...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑥", "WorkItems": [ "2. 温度上昇確認", "1. 熱電対の動作に問題がないか確認する" ], "WorkPoints": [ "◆常温時温度 : 外気温度とほぼ一致していること", "◆熱電対オープン時 : 800度以上パワーオフの状態で各熱電対コネクタを抜いたときの温度表示を記録する", "各ヒーターを50℃に設定して温度が上昇することを確認する" ], "Tolks": [...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑦", "WorkItems": [ "1. 制御製品検査表に基づき安全テストを実施する" ], "WorkPoints": [ "◆前面カバーオープンで基板押さえ上下VL(R3500,R3501,R3503,R3504)プリステージ上下VL(R3534,R3535)が動作しないこと。・パワーオン状態から前面カバーを開けて、I/O画面でそれぞれの信号を出力して動作しないことを確認", "◆背面メンテナンスカバーオープン...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "真空センサ設定", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い真空センサ設定を行う", "2. 上記のその他のモードを参考にキーをロックする" ], "WorkPoints": [ "オプションもありますので仕様を確認して下さい。", "工場出荷時から【表示色】を変更", "設定センサ", "変更", "変更" ], "Tolks": [], "InspectionNo"...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いファイバーセンサ設定を行う" ], "WorkPoints": [ "工場出荷時から【出力動作設定(Light ON、Dark ON)】と【閾値】を変更", "①キーロックを解除する", "④【○】を4回押し『RUNモード』へ戻る", "②【○】を2秒長押し⇒『SETモード』へ入る", "③【○】を1回押し⇒『出力動作設定モー...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定②", "WorkItems": [ "1. 下記の設定表に従いファイバーセンサの閾値設定を行う", "2. 設定表の光量以上であることを確認し、光量の足りない場合は調整する" ], "WorkPoints": [ "⑤△▽キーでしきい値を設定する", "⑥キーロックを行う", "※アンプの種類が違う為、次ページの手順に従ってください", "各センサとアンプの場所は次ページを参...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定③", "WorkItems": [ "1. ファイバーセンサーの位置説明" ], "WorkPoints": [ "右側センサが上段のアンプ" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "視野A", "視野A", "視野B", ...
{ "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ファイバーセンサ設定④", "WorkItems": [ "1. 操作説明" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "⑨ウエハ飛び出し検出センサ設定表" ] }
{ "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "レギュレータ調整①", "WorkItems": [ "1. 下記を参考にレギュレータの調整を行う" ], "WorkPoints": [ "本体右側面のレギュレータで調整", "『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』のウエハフレームチャックを動作させて確認" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "レギュレータ調整②", "WorkItems": [ "1. オプションがある場合は下記のユニットも調整すること" ], "WorkPoints": [ "搭載指示書に基づき、作業前にメーカー設定を行うこと" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:レギュレータ調整" ], "WorkTyp...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "配線・配管確認表確認", "WorkItems": [ "1. 配線・配管確認表に基づき確認を行う" ], "WorkPoints": [ "各軸・シリンダの動作時において、配線・配管の干渉・こすれ・つっぱり・引掛かり及び、メカ的な干渉がないかを実動作を行い目視にて確認を行う◆確認方法 モーター :カップリングを手で回して軸を動かす シリンダー:エアーダウンした状態で手で動かす" ], "Tolks": [], "Insp...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "I/Oチェック", "WorkItems": [ "2. 入出力リスト_MD04-C07に基づき各I/Oの動作に問題がないかを確認する", "1. I/Oテスト画面を開く" ], "WorkPoints": [ "下記手順でI/Oテスト画面を開く", "仕様によって確認する項目が変わるため、仕様書と現物と入出力リストを比較すること" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-540...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認①", "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考にボンディングステージ、プリステージの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認②", "WorkItems": [ "2. 下記手順を参考にボンディングヘッドの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ヒータ昇温確...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認③", "WorkItems": [ "3. 下記手順を参考にエジェクダの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ヒータ昇温確認" ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータ昇温確認④", "WorkItems": [ "4. 下記手順を参考に昇温確認を行う", "5. 正常な昇温が確認されたら上記と同じようにヒータ名を選択し『Heater Control』を押しヒータをOFFさせる" ], "WorkPoints": [ "※パワーがONになっている場合は設定終了時に自動でヒータが昇温開始しします。", "エラーが起きた場合はヒータ、温度ヒューズの配線やコネクタを確認し不具合が見当たらない場...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ヒータステージ温度分布確認①", "WorkItems": [ "1. P/S、B/Sのヒータを300℃に昇温させ2時間以上設定温度で放置する", "2. 下記を参考にP/SとB/Sの温度分布を測定する" ], "WorkPoints": [ "昇温方法はステーション検査書の前項目【ステージ慣らし昇温】を参考にして下さい", "B/Sは①③⑦⑨測定時にジャッキ部分は避けること" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "キャリブレーションデータ確認", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine_data』の『編集』に入る", "2. 『キャリブレーション』⇒『認識設定』の編集を可能な状態にし全項目を【しない】に設定する", "4. 『確定』で保存する", "3. 『キャリブレーション』⇒『位置ずれ量』の編集を可能な状態にし全項目の設定値を【0.000】にする" ], "WorkPoints...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "数値:0設定:OFF", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッドY軸位置設定", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions_ Data』の『編集』に入り『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の編集可能にする", "2. 下記を参考にカメラ位置に合った数値を入力する", "3. 編集をロックし『確定』で保存する" ], "WorkPoints": [ "編集ロック", "カメラ位置100㎜...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従い入力する", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ステージ退避位置入力", "WorkItems": [ "1. ステージ退避位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングステージ」-「USツールメンテナンス時ステージ退避位置XY」:100mm" ], "Tolks": [],...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:100㎜Y:100㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "USツール基準長さ入力", "WorkItems": [ "1. USツール基準長さが指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングヘッド」-「USツール基準長さ」:実際に使用している治具の寸法を入力する" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "使用するFM-3131の長さを入力", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る", "3. 『フリップ受渡し位置反転θ』に【+90.000°】を、『ダイピックアップ反転θ』に【-90.000°】を入力する", "2. 『ベーシックマシン』⇒『フリップ動作設定』に入る" ], "WorkPoints": [ "通常は数...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従い入力する", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ基準位置確認", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ基準位置の確認を行う" ], "WorkPoints": [ "固定値" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ基準位置確認" ], "WorkTypes": [], "Words": [ ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:120㎜Y:225㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. ウエハ交換位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ウエハーユニット」-「AWC」-「交換位置XY」:0mm" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:0㎜Y:0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "オフセット値入力確認", "WorkItems": [ "1.基板高さオフセット値入力確認", "2. ノズルオフセット値入力確認", "3. ボンディングオフセット値入力確認" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:オフセット値入力確認" ], ...
{ "QualityItem": "オフセット値", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "オフセット値:0.000の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "全軸原点復帰", "WorkItems": [ "1. 『Tools』⇒『パワー制御』に入り『全軸原点復帰』を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:全軸原点復帰" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-0...
{ "QualityItem": "原点確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "原点復帰ができること", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "スピコン調整", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』を選択する", "2. 動作させる軸を選択し『動作回数設定』、『ピッチ時間』を入力して『開始』を押す", "3. 2往復目以降にON、OFF動作時間を確認し規格外ならスピコンを調整する" ], "WorkPoints": [ "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事", "動作回数:3~無限ピッチ時間:1....
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "水準器", "Size": "0.02㎜/目盛", "ToolOther": "", "WorkName": "架台レベル出し最終調整", "WorkItems": [ "1. ボンディングステージを右奥に移動させ基板XYテーブルのレール上面でレベル出しを行う" ], "WorkPoints": [ "0.04㎜/m以下(通常使用の水準器2目盛り分【0.02/目盛】)", "レール上面に水準器をセットしレベル出しを行う" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5...
{ "QualityItem": "水準確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.04㎜以下(2目盛り以内)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2748", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", "平面調整治具:FM-2748", "平行度:20μm/60㎜以下", "平面度:10μm以下", "高さ各箇所:±15μ以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDW...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [ "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。" ], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", "平面調整治具:FM-2748", "平行度:20μm/60㎜以下", "平面度:10μm以下", "高さ各箇所:±15μ以...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "3.5㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", "平面調整治具:FM-2748", "平行度:20μm/60㎜以下", "平面度:10μm以下", "高さ各箇所:±15μ以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WD...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平行度調整", "WorkItems": [ "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。" ], "WorkPoints": [ "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", "平面調整治具:FM-2748", "平行度:20μm/60㎜以下", "平面度:10μm以下", "高さ各箇所:±15μ...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/60㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面でダイヤルゲージを \"0\" にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", "B/D...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2748", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面でダイヤルゲージを \"0\" にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", "B/Dの位置が Y...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15.5㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面でダイヤルゲージを \"0\" にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", "B/Dの位置が...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する", "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定間隔:20㎜", "ノズル取付け位置決めPIN...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ツール取付け面平面度規格】:5μm/20㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定間隔:20㎜", "ノズル取付け位置決めPIN" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Work...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整②", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "②Y方向調整手順Ⅰ、固定ボルトを緩める。Ⅱ、調整ボルトが押し調整のみに有効の為、【調整用押しボルト側】が低い場合は 調整ボルトを緩めて【調整用...
{ "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\"0\"にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\"0\"にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント", "軽く緩めて回転させて調整※緩め過ぎるとアラームが...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\"0\"にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\"0\"にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント", "軽く緩めて回転させて調整※緩め過ぎる...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\"0\"にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\"0\"にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント", "軽く緩めて回転させて調整※緩め過ぎるとアラームが出る場合があります", "...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整④", "WorkItems": [ "2. プラス側オーバーランセンサ位置を調整する", "1. 下記手順にてメカストッパーブラケット位置を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッド平面・平行調...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッド平行調整" ], "WorkTypes"...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ピックアップヘ...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する", "◆2. 再調整時はシリコンゴムを塗布する" ], "WorkPoints": [ "再調整の場合はキャリブレーション認識用ガラスを取外してください", "ダイヤルゲージを側面にセットする", "吸着穴に入らないように注意", "奥(段差)まできちんと押し込み、は...
{ "QualityItem": "塗布量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示箇所に塗布ゴマ粒:1", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の『編集』に入り、ピックアップ反転θ軸の原点オフセットが \"0\" であることを確認する", "2. 下記手順に従い、上向き時(+90°)で平面になるように調整する" ], "WorkPoints": [ "てこ式ダイヤルゲージをボンテ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の『編集』に入り、ピックアップ反転θ軸の原点オフセットが \"0\" であることを確認する", "2. 下記手順に従い、上向き時(+90°)で平面になるように調整する" ], "WorkPoints": [ "てこ式ダイヤルゲーシ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "ピックアップヘッド平面調整治具", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、上向き時のストッパーを調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "変芯ストッパー", "ストッパーPIN", "変芯ストッパーを調整し隙間を20μ~40μにする", "治具:FM-4811", "平面度:10μ/10㎜以下" ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μ/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.02㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、上向き時のストッパーを調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "変芯ストッパー", "ストッパーPIN", "変芯ストッパーを調整し隙間を20μ~40μにする", "治具:FM-4811", "平面度:10μ/10㎜以下" ], ...
{ "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:20μが通り40μが止る", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、下向き時の平面度を測定する" ], "WorkPoints": [ "上向きの調整とセットで引き続き行うこと。単独では調整しないで下さい", "てこ式ダイヤルゲージをウエハXYテーブルにセットして測定する", "調整機構が無い為、参考値ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:6...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、下向き時の平面度を測定する" ], "WorkPoints": [ "上向きの調整とセットで引き続き行うこと。単独では調整しないで下さい", "てこ式ダイヤルゲージをウエハXYテーブルにセットして測定する", "調整機構が無い為、参考値ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリングを数箇所測定し一番高いポイントでダイヤルゲージを 0' に合わせる", "エジェクタヘッド上面を測...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "エジェクターヘッド高さ治具", "Size": "2㎜", "ToolOther": "FM-4809", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリングを数箇所測定し一番高いポイントでダイヤルゲージを 0' に合わせる", "エジェクタヘット...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリングを数箇所測定し一番高いポイントでダイヤルゲージを 0' に合わせる", "エジェクタヘッド上面を測...
{ "QualityItem": "高さ", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ:+10μ~+40μm", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハθ軸の調整する" ], "WorkPoints": [ "メモした値入力(平行度が規格内の時の座標)", "測定ポイント" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "シートブロー確認", "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『ユニット操作』⇒『ウエハ』⇒『負荷詳細』を選択する", "2. 『シートブローON』を押しヒータパワーを75%に調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ダイヤル", "デジタル表示を75%±0.5%に調整する", "注意:長時間ONさせると温度しすぎて故障します。", "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事" ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "75%±0.5%", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセットリフタの平面・平行を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定ポイント", "調整ボルト", "ウエハマガジンX方向規制面" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "Inspectio...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:50μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "水準器", "Size": "2/100", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセットリフタの平面・平行を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定ポイント", "調整ボルト", "ウエハマガジンX方向規制面" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTyp...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.08㎜以下(4目盛り以下)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する", "2. 『ウエハリフタ基準位置Z測定用治具厚み』に【15.000㎜】を入力する", "3. 『ウエハリフタ基準位置Z』を選択し『ティーチ』に入り初期設定位置に移動させる", "4. エキスパンドにウエハリングを...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする", "2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する" ], "WorkPoints": [ "移動レート選択", "高さティーチ", "リフタを上下に調整し隙間がな...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする", "2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する" ], "WorkPoints": [ "移動レート選択", "高さティーチ", "リフタを上下に調整し隙間がなくなる位置をティーチ",...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセット位置調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセット位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "Y方向の調整を行う", "奥側、手前側のガイドをフリーにする", "ウエハリングカがエキスパンド側とスムーズに乗り移りができる" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "Inspecti...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ交換位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "レート選択", "初期値へ移動", "ティーチに入る", "300㎜スケール", "手前側の位置を合わせる", "ティーチ反映", "ティーチ確認", "ティーチ確定", "退避させる" ], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エハフレームトランスファー基準位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "レート選択", "初期値へ移動", "隙間1mm", "ウエハカセット", "ティーチ確認", "ティーチ反映", "ティーチ確定" ], "Tolks":...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "退避させる", "ティーチ反映", "ティーチ確認", "ティーチ確定", "移動レートを0.6㎜に変更", "マガジンX方向規制面(300㎜スケール)", "爪先端とマガジンX方向規制面が一致した値から2.4㎜押し込む(面取...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "1.2㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整③", "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "ウエハリング(6インチ)を奥まで挿入 ※爪に当たるのに注意", "爪の引っ掛かりとウエハリングの隙間:1.2㎜" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリング検出センサ位置調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハリング検出センサ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "No,1を選択し移動させる", "ウエハリングを1段目、最上段、中間にセットする", "リング検出センサ", "上下調整(※6インチ、8インチ、特殊によって取付け位置が左右に変わります)", "フレーム有...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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