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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る", "3. 『フリップ受渡し位置反転θ』に【+90.000°】を、『ダイピックアップ反転θ』に【-90.000°】を入力する", "2. 『ベーシックマシン』⇒『フリップ動作設定』に入る" ], "WorkPoints": [ "通常は数...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従い入力する", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ基準位置確認", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ基準位置の確認を行う" ], "WorkPoints": [ "固定値" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ基準位置確認" ], "WorkTypes": [], "Words": [ ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:120㎜Y:225㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. ウエハ交換位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ウエハーユニット」-「AWC」-「交換位置XY」:0mm" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:0㎜Y:0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "オフセット値入力確認", "WorkItems": [ "1.基板高さオフセット値入力確認", "2. ノズルオフセット値入力確認", "3. ボンディングオフセット値入力確認" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:オフセット値入力確認" ], ...
{ "QualityItem": "オフセット値", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "オフセット値:0.000の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "全軸原点復帰", "WorkItems": [ "1. 『Tools』⇒『パワー制御』に入り『全軸原点復帰』を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:全軸原点復帰" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-0...
{ "QualityItem": "原点確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "原点復帰ができること", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "スピコン調整", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』を選択する", "2. 動作させる軸を選択し『動作回数設定』、『ピッチ時間』を入力して『開始』を押す", "3. 2往復目以降にON、OFF動作時間を確認し規格外ならスピコンを調整する" ], "WorkPoints": [ "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事", "動作回数:3~無限ピッチ時間:1....
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "水準器", "Size": "0.02㎜/目盛", "ToolOther": "", "WorkName": "架台レベル出し最終調整", "WorkItems": [ "1. ボンディングステージを右奥に移動させ基板XYテーブルのレール上面でレベル出しを行う" ], "WorkPoints": [ "0.04㎜/m以下(通常使用の水準器2目盛り分【0.02/目盛】)", "レール上面に水準器をセットしレベル出しを行う" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5...
{ "QualityItem": "水準確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.04㎜以下(2目盛り以内)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2748", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [ "1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する" ], "WorkPoints": [ "平面調整時に変化する可能性があるのでここでの検査書への数値記入は行いません。", "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", "高さ各箇所:±15μ以下" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [ "1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する", "1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する" ], "WorkPoints": [ "平面調整時に変化する可能性があるのでここでの検査書への数値記入は行いません。", "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "3.5㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平面調整", "WorkItems": [ "1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する" ], "WorkPoints": [ "平面調整時に変化する可能性があるのでここでの検査書への数値記入は行いません。", "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", "高さ各箇所:±15μ以下" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "B/S平行度調整", "WorkItems": [ "1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する", "1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する" ], "WorkPoints": [ "平面調整時に変化する可能性があるのでここでの検査書への数値記入は行いません。", "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する",...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/60㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面に㉗を置いてブロックゲージ上面でダイヤルゲージを ”0” にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2748", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面に㉗を置いてブロックゲージ上面でダイヤルゲージを ”0” にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "3.5㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面に㉗を置いてブロックゲージ上面でダイヤルゲージを ”0” にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する", "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定間隔:20㎜", "ノズル取付け位置決めPIN...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ツール取付け面平面度規格】:5μm/20㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定間隔:20㎜", "ノズル取付け位置決めPIN" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Work...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整②", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "②Y方向調整手順Ⅰ、固定ボルトを緩める。Ⅱ、調整ボルトが押し調整のみに有効の為、【調整用押しボルト側】が低い場合は 調整ボルトを緩めて【調整用...
{ "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\"0\"にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\"0\"にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント", "軽く緩めて回転させて調整※緩め過ぎるとアラームが...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\"0\"にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\"0\"にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント", "軽く緩めて回転させて調整※緩め過ぎる...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\"0\"にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\"0\"にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント", "軽く緩めて回転させて調整※緩め過ぎるとアラームが出る場合があります", "...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整④", "WorkItems": [ "2. プラス側オーバーランセンサ位置を調整する", "1. 下記手順にてメカストッパーブラケット位置を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッド平面・平行調...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッド平行調整" ], "WorkTypes"...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [ "◆作業者安全作業" ], "Words": [ ...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する", "◆2. 再調整時はシリコンゴムを塗布する" ], "WorkPoints": [ "再調整の場合はキャリブレーション認識用ガラスを取外してください", "ダイヤルゲージを側面にセットする", "吸着穴に入らないように注意", "奥(段差)まできちんと押し込み、は...
{ "QualityItem": "塗布量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示箇所に塗布ゴマ粒:1", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の『編集』に入り、ピックアップ反転θ軸の原点オフセットが \"0\" であることを確認する", "2. 下記手順に従い、上向き時(+90°)で平面になるように調整する" ], "WorkPoints": [ "てこ式ダイヤルゲージをボンテ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の『編集』に入り、ピックアップ反転θ軸の原点オフセットが \"0\" であることを確認する", "2. 下記手順に従い、上向き時(+90°)で平面になるように調整する" ], "WorkPoints": [ "てこ式ダイヤルゲーシ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "ピックアップヘッド平面調整治具", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、上向き時のストッパーを調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "変芯ストッパー", "ストッパーPIN", "変芯ストッパーを調整し隙間を20μ~40μにする", "治具:FM-4811", "平面度:10μ/10㎜以下" ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μ/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.02㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、上向き時のストッパーを調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "変芯ストッパー", "ストッパーPIN", "変芯ストッパーを調整し隙間を20μ~40μにする", "治具:FM-4811", "平面度:10μ/10㎜以下" ], ...
{ "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:20μが通り40μが止る", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、下向き時の平面度を測定する" ], "WorkPoints": [ "上向きの調整とセットで引き続き行うこと。単独では調整しないで下さい", "てこ式ダイヤルゲージをウエハXYテーブルにセットして測定する", "調整機構が無い為、参考値ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:6...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4811", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、下向き時の平面度を測定する" ], "WorkPoints": [ "上向きの調整とセットで引き続き行うこと。単独では調整しないで下さい", "てこ式ダイヤルゲージをウエハXYテーブルにセットして測定する", "調整機構が無い為、参考値ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリングを数箇所測定し一番高いポイントでダイヤルゲージを 0' に合わせる", "エジェクタヘッド上面を測...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "エジェクターヘッド高さ治具", "Size": "2㎜", "ToolOther": "FM-4809", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリングを数箇所測定し一番高いポイントでダイヤルゲージを 0' に合わせる", "エジェクタヘット...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリングを数箇所測定し一番高いポイントでダイヤルゲージを 0' に合わせる", "エジェクタヘッド上面を測...
{ "QualityItem": "高さ", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ:+10μ~+40μm", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハθ軸の調整する" ], "WorkPoints": [ "メモした値入力(平行度が規格内の時の座標)", "測定ポイント" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "シートブロー確認", "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『ユニット操作』⇒『ウエハ』⇒『負荷詳細』を選択する", "2. 『シートブローON』を押しヒータパワーを75%に調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ダイヤル", "デジタル表示を75%±0.5%に調整する", "注意:長時間ONさせると温度しすぎて故障します。", "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事" ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "75%±0.5%", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセットリフタの平面・平行を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定ポイント", "調整ボルト", "ウエハマガジンX方向規制面" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "Inspectio...
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:50μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "水準器", "Size": "2/100", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセットリフタの平面・平行を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定ポイント", "調整ボルト", "ウエハマガジンX方向規制面" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTyp...
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.08㎜以下(4目盛り以下)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ①", "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する", "2. 『ウエハリフタ基準位置Z測定用治具厚み』に【15.000㎜】を入力する", "3. 『ウエハリフタ基準位置Z』を選択し『ティーチ』に入り初期設定位置に移動させる", "4. エキスパンドにウエハリングを...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする", "2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する" ], "WorkPoints": [ "移動レート選択", "高さティーチ", "リフタを上下に調整し隙間がな...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする", "2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する" ], "WorkPoints": [ "移動レート選択", "高さティーチ", "リフタを上下に調整し隙間がなくなる位置をティーチ",...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセット位置調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセット位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "Y方向の調整を行う", "奥側、手前側のガイドをフリーにする", "ウエハリングカがエキスパンド側とスムーズに乗り移りができる" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "Inspecti...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ交換位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "レート選択", "初期値へ移動", "ティーチに入る", "300㎜スケール", "手前側の位置を合わせる", "ティーチ反映", "ティーチ確認", "ティーチ確定", "退避させる" ], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エハフレームトランスファー基準位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "レート選択", "初期値へ移動", "300㎜スケール", "マガジンX方向規制面とトランスファー爪の根元をティーチする", "トランスファー爪の根元", "マガシ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "マガジンX方向規制面(300㎜スケール)", "爪先端とマガジンX方向規制面が一致した値から2.4㎜押し込む(面取り分も考慮)" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "1.2㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整③", "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "ウエハリング(6インチ)を奥まで挿入 ※爪に当たるのに注意", "爪の引っ掛かりとウエハリングの隙間:1.2㎜" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハリング検出センサ位置調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハリング検出センサ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "No,1を選択し移動させる", "ウエハリングを1段目、最上段、中間にセットする", "リング検出センサ", "上下調整(※6インチ、8インチ、特殊によって取付け位置が左右に変わります)", "フレーム有...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームセット確認センサ調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハフレームセット確認センサの調整を行う" ], "WorkPoints": [ "エキスパンドを開く", "交換位置移動", "負荷詳細に入る", "ウエハリングを奥まで挿入", "ウエハフレームセット確認センサ", "【リング無し正常状態】上段:D_ON(右側)ランプ消灯下段:L_ON(左側)ラ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "正常な事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ飛び出し検出センサ調整", "WorkItems": [ "3. ウエハ飛び出し検出センサが指示通り動作することを確認する", "2. ウエハ飛び出し検出センサのしきい値を設定する", "1. 全段にウエハを詰めた状態でウエハマガジンをマガジンリフタへセットする" ], "WorkPoints": [ "ウエハ飛び出し検出センサが全投光した状態のアンプの値+1000をしきい値に設定する例) 全投光状態で「9999」の...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ウエハカセット6inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "全段で搬送動作に問...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ウエハカセット8inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "全段で搬送動作に問...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ウエハフレーム6inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "全段で搬送動作に問...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ウエハフレーム8inch", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "全段で搬送動作に問...
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "荷重校正用ツール", "Size": "", "ToolOther": "FM-3131", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整①", "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『自動生産』⇒『プロセスモニター』⇒『USツール管理』に入り治具ツールを装着する", "2. 『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』の『ボンディングノズル基準ブロックZ測定』を実行する" ], "WorkPoints": [ "【治具】が選択されていなければ『USツール選択』に入る", ...
{ "QualityItem": "高さ", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【基準ブロック高さ規格】:8㎜±0.1㎜以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整②", "WorkItems": [ "2. 『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の【基準ブロックステージオフセットX】の位置にステージを移動させる(モーターテストにて)", "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る", "3. カバーを開けてサーボOFFの状態にし治具ツールの中心が基準ブロックの上に来るようにヘッドY軸...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ギャップ調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-3177", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整③", "WorkItems": [ "1. 規格外の場合は下記を参考に調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "当付けままでスライドさせて隙間確保", "隙間確保", "-8.1㎜以下の場合", "-7.9㎜以上の場合" ], "Tolks": [], "InspectionNo":...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "FM-3177", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①", "WorkItems": [ "1.JIG ノズル取付", "2. エジェクター接地位置確認" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具のツバにダイヤルゲージをセットしエジェクタに接地する高さに移動させる", "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①", "WorkItems": [ "1.JIG ノズル取付", "2. エジェクター接地位置確認" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具のツバにダイヤルゲージをセットしエジェクタに接地する高さに移動させる", "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整②", "WorkItems": [ "1.タッチ検出オフセット自動計測" ], "WorkPoints": [ "ドグ", "ドグが変形している可能性があります。オフセットが規格値の範囲外の場合は少し下向きに調整して下さい。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItem...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1001", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いタッチ検出センサ(上側)の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『USツール選択』を押す", "『JIG』の編集に入る", "治具:FM-3131", "『A 全長』が31㎜であることを確認する", "【JIG】以外が取付いている場合は『取外し』、...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いタッチ検出センサ(上側)の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『USツール選択』を押す", "『JIG』の編集に入る", "治具:FM-3131", "『A 全長』が31㎜であることを確認する", "【JIG】以外が取付いている場合は『取外し』、...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し荷重測定治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-3131", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いタッチ検出センサ(上側)の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『USツール選択』を押す", "『JIG』の編集に入る", "治具:FM-3131", "『A 全長』が31㎜であることを確認する", "【JIG】以外が取付いている場合は『取...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整②", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-3131", "治具:FM-2750", "先に0.3㎜押し込みセンサ位置を調整し0.3㎜戻すと簡単です" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "Work...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整③", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "ボルトを緩めて上下に調整。オフセットが規格値の範囲外の場合は上向きに調整して下さい。" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘット...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "P/U高さ測定治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①", "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッド高さ測定治具取付", "2. ピックアップヘッド高さ測定治具取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具:FM-3131" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "Inspecti...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "高さ測定用治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-3131", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①", "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッド高さ測定治具取付", "2. ピックアップヘッド高さ測定治具取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具:FM-3131" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "Inspection...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ②", "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ" ], "WorkT...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "'入力範囲:-8.00±1.0㎜以内", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具(先端φ1.5)", "Size": "", "ToolOther": "FM-2750", "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ①", "WorkItems": [ "1. ピックアップヘッド高さ測定用治具取付", "2. エジェクタヘッド取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ②", "WorkItems": [ "1.ピックアップヘッドエジェクターヘッド面高さティーチ実施" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ" ], ...
{ "QualityItem": "ヘッド面高さ", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:-5.00±0.5㎜以内", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ピックアップZ軸待機位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップZ軸待機位置をティーチする" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータの『編集』に入る", "『モータテスト』でピックアップヘッドZ軸を-90°へ移動", "ピックアップZ軸を降ろしてティーチ", "コピー機能を使用するかメモをする", ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "B/S芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4813", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ヒータがOFFの時に調整します", "初期値へ移動させる", "ティーチに入る", "ポジションデータの編集に入る", "同軸照明の光量を上げて治具が確認できるようにする", "...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整②", "WorkItems": [ "1. 調整方法の説明" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Y方向傾き:緩めて中央のピン基準でθを振る", "X方向傾き:割り部を緩めてθを振る", "例)Y方向を調整した場合の見え方" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整③", "WorkItems": [ "1. 調整方法の説明" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Z方向固定ボルト", "ピント目視確認", "画面の十字線", "治具の基準線", "CCD固定ボルトを緩めてθを傾ける(3箇所中2箇所)" ], "Tolks": [], "InspectionNo"...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ヘッド・光学系芯出し治具", "Size": "3㎜", "ToolOther": "FM-3125", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "平面の場所に移動", "中央付近に文字を避けてシールを貼る", "Y軸を移動させる", "※カメラ位置によってヘッドY軸の動かす位置が変わります。メンテナンス⇒マシンデータ⇒ポジションデータのベーシックマ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-3125", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "7㎜", "ToolOther": "FM-4813", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "平面の場所に移動", "中央付近に文字を避けてシールを貼る", "Y軸を移動させる", "※カメラ位置によってヘッドY軸の動かす位置が変わります。メンテナンス⇒マシンデータ⇒ポジションデータの...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "打痕が中心に来るように調整", "ボンディングカメラを選択", "照度を選択し光量をあげる", "等倍表示で拡大させる", "固定ボルト", "ジャッキボルト(押し調整のみ)" ], "Tolks": [], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整③", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "固定ボルト", "固定ボルト", "ジャッキ(押し調整のみ)", "固定ボルト", "十字カーソルを打痕の中心に移動させる", "ずれ量を確認" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.5㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "BS搬送レール平行度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングステージ搬送レール平行度調整(固定側)を実施する", "2. 下記手順に従いボンディングステージ搬送レール平行度調整(可動側)を実施する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionIte...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4813", "WorkName": "BS搬送レール平行度調整", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングステージ搬送レール平行度調整(固定側)を実施する", "2. 下記手順に従いボンディングステージ搬送レール平行度調整(可動側)を実施する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionIte...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "7㎜", "ToolOther": "FM-4813", "WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ボンディングステージ基準位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "初期値へ移動させる", "ティーチに入る", "ポジションデータの編集に入る", "治具:FW-4813", "同軸照明の光量を上げて治具が確認できるよ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ボンディングステージ基準位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "Y方向:レール端面をカメラ中心に移動させる", "Y軸のみ移動させレール端面(Y方向搬送基準)をティーチ", "スケールやブロックを当付けると確認が容易", "確認でティーチを反映させる", "確定で保存する",...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "7㎜", "ToolOther": "FM-4813", "WorkName": "ボンディングステージカメラ斜方照明位置調整(OP)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ボンディングカメラ斜方照明の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "斜方照明を点灯させ光軸を確認", "オプションですので搭載指示書を確認して下さい。", "同軸照明をつけ軸動作でカメラの中心に治具の中心を移動させる", "ボル...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "7㎜", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いアップルッキングカメラの光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ボンディングヘッドY軸を+94.5㎜に移動", "光学テストでアップルッキングカメラを選択", "同軸照明を【30】にする", "目視確認可能なら光軸調整...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いアップルッキングカメラの光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "例)Y方向を調整した場合の見え方", "X方向調整ボルト", "【X方向傾き】緩めて中央のピン基準でθを振る", "【Y方向傾き】割り部を緩めてθを振る", "設備後方から見た写真", "一番明...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整③", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いアップルッキングカメラの光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Z方向固定ボルト", "ピント目視確認", "画面の十字線", "治具の基準線", "CCD固定ボルトを緩めてθを傾ける(3箇所中2箇所)", "ヘッドY軸を移...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "1.6㎜", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "光学テストでアップルッキングカメラを選択", "打痕治具でも可", "ボンディングヘッドY軸を+94.5㎜に移動", "同軸照明の光量を上げる", "X方向固定ボルト", "Y...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "B/H芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドフリップ受渡し位置を ティーチする" ], "WorkPoints": [ "打痕治具", "ティーチに入る", "治具:FM-4812" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "Inspecti...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "P/U打痕治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2742", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドフリップ受渡し位置を ティーチする" ], "WorkPoints": [ "打痕治具", "ティーチに入る", "治具:FM-4812" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], ...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "FM-2742", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "カメラの中心付近に平面部分が来るように軸移動", "自動で打痕を付ける", "Y方向だけ打痕の中心に緑十字線を移動させる", "X方向は次でメカ調整するため移動させないこと" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004",...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "X方向だけティーチが反映されていることを確認", "X方向固定ボルト", "Y方向固定ボルト", "Y方向調整ジャッキボルト(押しのみ)", "X方向調整ジャッキボルト(押しのみ)", "指示通り作業できていた場合X方向だけカメラ中心に合っている", ...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:20μm以下Y:20μm以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ボンディングヘッドY軸を入力したアップルッキングカメラ位置Yの座標に移動", "アップルッキングカメラ位置Yへ同じ値を入力する", "治具:FM-4812" ], "Tolks": [], "I...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4812", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "『ピックアップヘッドフリップ受渡し位置X』の値を『フリップカメラ位置X』と『ピックアップヘッド位置X』に直接入力する", "『アップルッキングカメラ位置Y』へ移動して㉖治具中心とカメラ中心のずれが20μm以内になっていることを確認する" ]...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:20μm以下Y:20μm以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ウエハカメラ光軸調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4809", "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハカメラの光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "治具を取付ける", "エジェクタの詳細イメージに入る", "エジェクタを上げる", "キャンセルで抜ける", "『光学テスト』でウエハカメラを選択", "エジェクタを上昇させる", ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整②", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "X方向調整ボルト", "一番明るい所で固定", "【Y方向傾き】割り部を緩めてθを振る", "【X方向傾き】緩めて中央のピン基準でθを振る", "『照度』を選択", "『照度』を【30】に設定", "目視確認できれば終了で出来なければ再調整", ...
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ダイエジェクタ(小径)用芯出し治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-3537", "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整③", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Z方向固定ボルト", "画面の十字線", "傾いている", "CCD固定ボルトを緩めてθを傾ける(3箇所中2箇所)", "治具の傾きと画面の赤十字線の傾きにズレが無いこと", "再調整...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3537", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ウエハカメラ光軸調整治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4809", "WorkName": "ウエハカメラ位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『モータテスト』でウエハXYをエジェクタが上昇できる位置へ移動", "『シリンダテスト』でエジェクタ上昇", "銀シール", "ウエハカメラを映す", "P/U打痕用治具", "治具:FM-4809" ],...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "ノズル打痕治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-2742", "WorkName": "ウエハカメラ位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『モータテスト』でウエハXYをエジェクタが上昇できる位置へ移動", "『シリンダテスト』でエジェクタ上昇", "銀シール", "ウエハカメラを映す", "P/U打痕用治具", "治具:FM-4809" ], ...
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2742", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカメラ位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "ピックアップZ軸、反転θ軸を原点に移動させて打痕を映す", "打痕", "【X方向】ジャッキ(押し調整のみ)", "【X方向】固定ボルト", "【Y方向】ジャッキ(押し調整のみ)", "【Y方向】固定ボルト", "調整後", "打痕" ], ...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカメラ位置調整③", "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "十字カーソルを打痕の中心に移動させる", "ずれ量を確認", "照度を選択し光量をあげる", "等倍表示で拡大させる", "ウエハカメラを選択" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], ...
{ "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタ基準位置調整①", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いエジェクタ基準位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "エジェクタの詳細イメージに入る", "エジェクタを上げる", "キャンセルで抜ける", "『光学テスト』でウエハカメラを選択", "エジェクタを上昇させる", "エジェクタヘッドをセットする" ], "Tolks": []...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "エジェクタ基準位置調整②", "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "『照度』を選択", "『照度』を上げて銀シールを映す", "上面に銀シールを貼る", "『軸移動』を選択", "『EJZ』を選択しニードルを徐々に上昇させて打痕を付ける", "等倍表示させる", "X方向固定ボルト", "X方向調整ジャッキボルト...
{ "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }
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