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[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]PRISM BOXへPIN圧入[/WorkName] [Parts]1,BOX,,1 2,PIN,MMS4-8,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,アルカンサス,,,1 28,圧入台,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に㉖を掛ける ピンの上下を間違えない事 『ピン打ち込み面』『基板取付け面』『底面』を軽く砥石掛けする事 ピン出代3mm 2. ②を㉗で圧入する [/Words]
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500
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]ターゲット接着[/WorkName] [Parts]1,POST,,2 2,TARGET,,2 [/Parts]
[Words]硬化時間24時間 接着剤がはみ出さないよう注意する事 ②は割れやすいので注意する ▲1. ①へ③を塗布し②を接着する [/Words]
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501
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]PRISM KITカバーへSHEET貼付[/WorkName] [Parts]1,COVER,,1 2,SHEET,,1 3,SHEET,,1 4,SHEET,,1 5,COVER,,1 6,SHEET,,1 7,CUSHION,,1 8,CABLE-SUPPORT,FT4,1 9,COVER,,1 10,SHEET,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,アルコール・ウエス,,,1 28,両面テープ,,NITTOTAPE NO.5630,1 [/Tool]
[Words]1. ②③④⑥⑩に㉖を貼付ける COVER貼付面は十分に脱脂する 2. ①に1の完成品の②③④を貼付る 3. ⑤に1の完成品の⑥と⑦を貼付⑧を取付る 4. ⑨に1の完成品の⑩を貼付ける COVER貼付面は十分に脱脂する COVER貼付面は十分に脱脂する 取付方向 なめらかな面の中央に両面テープを貼付ける 各貼付面の10㎜内側から貼付ること [/Words]
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502
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]S2/S5センサー組立[/WorkName] [Parts]1,SENSOR BOARD-B,PMS0AQ-AA,2 2,PLATE,,2 3,CUSHION,,2 4,十字穴付きなべ小ねじ,十字穴付きなべ小ねじ M2.5×6-4.8 A2J (3価),6 5,SPACER,CB-2602E,6 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.1,,1 27,トルクドライバー,No.1,50cN・m,1 28,アルカンサス,,,1 [/Tool]
[Words]㉖は表裏にかける 1. ②に㉖をかける。 ■2. ①のシリアルNoを検査表に記入する。 ★3. ①のセンサー部保護シートを剥がす センサー部に汚れ・異物が無い事を確認する。(エアーガン・アルコール等で拭き取る事) 保護シート 4. ②に③を貼付け ★5. 4.の完成品へ①を④⑤で取付ける シリアルNo. 基板を矢印方向に当て付けながら取付ける [/Words]
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503
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]P614COVERへGASKET取付[/WorkName] [Parts]1,COVER,,1 2,GASKET,STGZ3-5,1 3,GASKET,STGZ3-5,3 [/Parts]
[Words]1. ①へ②③を取付ける [/Words]
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504
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]遮光板組立[/WorkName] [Parts]2,平座金,平座金 小形丸 2 10H A2J (3価),4 3,PLATE,,6 4,SPACER,CU-2004,4 5,ステンレススペーサー(中空・パイプ),CU-2003,4 6,BLOCK,,4 7,PLATE,,2 8,十字穴付きなべ小ねじ,十字穴付きなべ小ねじ M2×6-4.8 A2J (3価),4 9,BRACKET,,2 10,平座金,平座金 みがき丸 2 10H A2S (3価),4 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.0,,1 27,トルクドライバー,1.5㎜,40cN・m,1 28,トルクドライバー,No.0,15cN・m,1 29,レンチ,1.5㎜,,1 30,スパナ,4㎜,,1 31,ボックスドライバー,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①へ②③④⑤の順で取付 2. 1の完成品へ⑥⑦を⑧で取付 3. 2の完成品へ⑨を取付 4. 3の完成品を⑩⑪で締付け プレートの向きを下図の方向にする スペーサーの取付間違いに注意④:t=4.0mm⑤:t=3.0mm ノングレア面(ザラザラ面)を下側にして取付 遮光面までマーカーを付けないこと [/Words]
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505
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]FRAME組立[/WorkName] [Parts]1,FRAME,,1 2,グロメット,MG-4,4 3,CUSHION,,1 [/Parts]
[Words]N117(GROMMET)はType1のみに取付る Type2・3用 Type1用 グロメットは内側から見てきっちり挟み込まれている事を確認する事 1. ①に③を貼付ける。 ①の内側に傷・汚れが無い事を確認する(LED照明の反射光を当てる為) 2. 1の完成品に②を取付ける [/Words]
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506
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]制御BOXカバー取付[/WorkName] [Parts]2,COVER,,1 3,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,トルクドライバー,No.2,150cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を③で取付 [/Words]
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507
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]制御BOX背面カバーSHEET貼付[/WorkName] [Parts]1,COVER,,1 2,SHEET,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,300㎜,,1 27,両面テープ,,NITTOTAPE NO.5630,1 [/Tool]
[Words]1. ②の取付面へ㉖を貼付 2. ①へ1の完成品を貼付 150㎜ 100㎜ [/Words]
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508
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]制御BOX背面カバー取付[/WorkName] [Parts]3,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M4×8-4.8 A2J (3価),2 4,十字穴付きトラス小ねじ,十字穴付きトラス小ねじ M3×6-4.8 A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.1,,1 27,+ドライバー,No.2,,1 28,トルクドライバー,No.1,60cN・m,1 29,トルクドライバー,No.2,150cN・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を③④で取付 ハーネスの挟み込みに注意すること [/Words]
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509
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]LED制御ボードへケーブル接続・引回し[/WorkName] [Parts]2,ケーブル,20624 ASFBNCD-P=0.5-K1-60-250 3/5BL;UL,1 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,インシュロック,100㎜,白,4 [/Tool]
[Words]1. 中継ケーブルを接続し㉖で結束する ★2. 1.の完成品に②を接続する 2DI/Fボード接続 LEDボードに接続 CN2 CN3 CN4 [/Words]
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510
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]中継CABLE挿入[/WorkName] [Parts]2,CABLE,CN2-CN2P,1 3,CABLE,CN3-CN3P,1 4,CABLE,CN4-CN4P,1 [/Parts]
[Words]CN3 CN2 CN4 ブラケット裏面からケーブルを挿入する 1. ①へ②③④のコネクターを挿入する [/Words]
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511
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]LED制御基板取付[/WorkName] [Parts]2,LED CONTROL BOARD,PMS0AL-AA,1 3,CABLE-SUPPORT,FT4,1 4,スペーサ,CB-305E,4 16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M3×10-10.9 A2J (3価),4 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,2.5㎜,50cN・m,1 27,レンチ,2.5㎜,,1 [/Tool]
[Words]取付向き 3. ③を取付ける 矢印の方へ押当て取付ける ■1. ②のシリアルNo.を検査表に記入する ★2. ①に1の完成品を④⑯を取付ける [/Words]
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512
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]2DI/F基板へ電源ケーブル接続[/WorkName] [Parts]2,CABLE,CN1P-CN1,1 [/Parts]
[Words]CN1 CN1P CN1 ★1. ①に②を接続する [/Words]
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513
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]3Dビルドアップキットを取付[/WorkName] [Parts]2,システム オン モジュール,PD-AM123D2S,1 3,FLASH-DRIVE,MFDHSS-008GV(A00ADI-CP,1 4,BRACKET,,1 5,SOFTWARE-LICENSE,Windows Embedded Standard 7(WS7E SKU),1 6,十字穴付きなべ小ねじ,十字穴付きなべ小ねじ M3×6-4.8 A2J (3価),2 7,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M2.5×5-10.9 A2J (3価),5 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,トルクドライバー,2㎜,50cN・m,1 28,トルクドライバー,No.2,50cN・m,1 29,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ④に⑤を貼付ける ブラケットからはみ出ないこと ★3. ①へ②を⑦で取付 ★4. ③を挿入し1.の完成品を⑥で取付 ■2. ②のシリアルNo.を検査表に記入する シリアルNo. TYPE3仕様時のみ実施 [/Words]
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514
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]制御BOXへ3DI/F基板・FAN取付[/WorkName] [Parts]16,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M3×5-10.9 A2J (3価),4 20,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M3×5-10.9 A2J (3価),2 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,2.5㎜,50cN・m,1 27,トルクドライバー,2.5㎜,80cN・m,1 28,レンチ,2.5㎜,,1 [/Tool]
[Words]矢印の方向に押当て取付ける TYPE2仕様時は3DI/F基板取付のみ取付 ★1. ①に③を⑯で取付ける 2. 1.の完成品に②を⑳㉑で取付ける [/Words]
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515
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]3D I/Fボード組立②(ヒートシンク取付)[/WorkName] [Parts]3,SHEET,,1 4,ザガネクミコミナベコネジ,ばね座金+小型丸座金組込み十字穴付きなべ小ねじ M3×10-4.8 A2J (3価),2 5,SPACER,CF-303E,2 [/Parts][Tool]26,+ドライバー,No.2,,1 27,トルクドライバー,No.2,60cN・m,1 [/Tool]
[Words]★1. ③を①のIC部分に貼付ける。 ★2. ④を挿入し⑤を入れた後に②を取付ける。 左右非対称なので取付方向を間違いに気をつける事(CPUの真上の位置) 3. CN6コネクタ部のメクラを外す。 コネクタのメクラは廃棄 バーリング加工面が表側の事 TYPE2仕様時はSD-A00237-020へ [/Words]
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516
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]制御BOXへラベル貼付[/WorkName] [Parts]2,LABEL,,1 6,LABEL,,1 11,LABEL,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 [/Tool]
[Words]3mm 12mm 作業終了後TYPE1仕様はSD-A002374-021を実施 作業終了後TYPE1仕様はSD-A002374-021を実施 1. ①に②(タイプ3))を貼り付ける。(⑥⇒タイプ1/⑪⇒タイプ2) [/Words]
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517
[UnitName]NPM-DX:マルチ認識カメラVer02組立(001-094)[/UnitName] [WorkName]3D I/Fボード組立①[/WorkName] [Parts]1,PANASONIC I/F BOARD-3D,PMS0AR-AA,1 2,黄銅スペーサー(六角),ASB-2508E,5 3,六角穴付きボルト,六角穴付きボルト M2.5×5-10.9 A2J (3価),5 4,カードフィクサー,UEGR-08Y,2 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,2㎜,50cN・m,1 27,レンチ,2㎜,,1 28,スパナ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]■1. ①のシリアルNoを検査表に記入する。 スペーサの取付方向に注意すること(溝が外側) 3. ④を取付る。 ★2. ①に②③を取付る シリアルNo. 基板案内になる為、この字側が外向きに左右対称で取付ける [/Words]
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518
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer01-02 共通組立(501-)[/UnitName] [WorkName]接着動作[/WorkName] [/Parts]
[Words]2. 動作終了後接着テーブルから取外す ガラス上に接着剤の付着が無いこと 接着を複数回実施する場合はSD-A002374-503から繰返し実施する ▲1. 接着ロボットの『START』を押し動作を開始する [/Words]
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519
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer01-02 共通組立(501-)[/UnitName] [WorkName]接着ロボット起動[/WorkName] [Tool]26,SHOTMASTER,,,1 [/Tool]
[Words]1. PCとロボットを起動する 電源 ON 電源 ON 2. 接着ロボットの『RESET』を押す 原点復帰させる 3. "マルチ認識カメラ接着.mc5"起動 アイコンをダブルクリック [/Words]
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520
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer01-02 共通組立(501-)[/UnitName] [WorkName]接着固定治具へセット[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,2㎜,,1 27,TCガラス固定治具,,,1 28,プリズム固定治具,,,1 29,反射ガラス固定治具,,,1 [/Tool]
[Words]接着までの前準備はSD-A002374-001~005を参照 反射ガラス固定治具 プリズム固定治具 TCガラス固定治具 2. ②に㉗をセットする 3. ④に㉘をセットする シリアルシール側を手前に配置 プレートを矢印方向(シリアルシール側)へ当てるける シール側にガラスの切欠き部がくること固定治具はシール側をシリアルシール側にセット フィルムとレンズキャップは取外す 1. ①のフィルムを剥がし㉖をレンズに取付けTCガラスをセットする プリズムが浮き無く固定されていることを確認 反射ガラス切欠き部が固定治具部になるようにセットする 4. ③のセット状況を確認する ガラス面にキズが無いこと [/Words]
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521
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer01-02 共通組立(501-)[/UnitName] [WorkName]接着テーブルへセット[/WorkName] [/Parts][Tool]26,接着テーブル,,,1 [/Tool]
[Words]接着テーブル 1. ①を㉖へセットする 当て付け面 当け面・突起部に均等に当て付けること 突起部 浮き傾きが無く治具で固定されていること 取付方向/写真参照 当て付け面 取付方向/写真参照 当け面・PINに均等に当て付けること 浮き傾きが無く治具で固定されていること 浮き傾きが無く治具で固定されていること フィルム・レンズキャップの取外し確認 [/Words]
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522
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成②(BIOS設定とUSB内部確認)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. 電源をONする オレンジSWを押し白SWを押す、白SW上のLEDが点灯する 2. モニターの右下のLEDがオレンジから緑になったらキーボードのF2キーを押し続ける オレンジSWは最初のみON 白SWを都度ON/OFFする F2キーを押し続ける 電源ON時はオレンジ点灯 4. 「↓」キーで「USB HDD:・・・・(F)」にする 5. 「+」キーで一番上にする 「+」キーで優先順位を変更 3. キーボードの「→」キーでセルを「Boot」にする [/Words]
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523
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成①[/WorkName] [Parts]1,FLASH-DRIVE,MFDHSS-008GV(A00ADI-CP,1 [/Parts][Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]■1. ①のシリアルNo.を検査書に記入する 2. ㉖のUBSポートにマスターUSBを接続する 左側にピン数が少ない方を挿入 ここに接続 マスターUSB ここに挿入 シリアルNo.裏側にして挿入 『カチッ』と音がするまではめ込む 取り出したビニールにシリアルシールを貼る ★3. 3D制御基板部の裏側にSSDを挿入する [/Words]
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524
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成③(BIOS設定とUSB内部確認)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. 「→」キーにて「Exit」する 2. 「F10」を押す 3. 「Enter」を押す。 Yesが選択されていることを確認する 自動的にDOS画面が立ち上がる この画面が表示されるまで操作しない 立ち上がりまで40秒程度かかる 4. 「C」を入力 5. 「SHIFT」を押しながら「;」を押し「:」を表示する 6. 「Enter」を押す 7. 「D」を入力する 8. 「I」を入力する 9. 「R」を入力する 10. 「Enter」を押す 11. 画面上で『4 File』『6 Dir』であることを確認する [/Words]
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525
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成⑤(OS設定②)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. 「E」を入力 2. 「SHIFT」を押しながら「;」を押し「:」を表示 下記の様になる事を確認する 3. 「\」を入力 4. 「S」を入力 5. 「S」を入力 6. 「D」を入力 7. 「\」を入力 8. 「C」を入力 9. 「Tab」を2回押す 「Tab」は必ず2回押す 10. 「Enter」を押す。 SSDにCopyされる 約2分30秒ほどで終了する 11. 「100%」が表示されたらマスターUSBを抜く 『100%』表示されるまでUSBは抜かない 12. 「E」を入力 13. 「X」を入力 14. 「I」を入力 15. 「T」を入力 16. 「Enter」を押す [/Words]
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526
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成④(OS設定①)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]上記になる事を確認する 「Tab」は必ず2回押す 1. 「C」を入力 2. 「SHIFT」を押しながら「;」を押し「:」を表示 3. 「\」を入力 4. 「S」を入力 5. 「S」を入力 6. 「D」を入力 7. 「\」を入力 8. 「M」を入力 9. 「Tab」を2回押す 10. Enterを押す。 バッチファイルにてインストール準備にはいる この画面が表示されるまで操作しない 約10秒ほどで一旦右記表示で停止する インストール準備画面 自動的ににDOS画面が立ち上がる この画面が表示されるまで操作しない 11. 「Press any key to continue・・・ 」が表示されたら「Enter」を押す 13. 「SHIFT」を押しながら「;」を押し「:」を表示 12. 「E」を入力 14. Enterを押す 15. 「D」を入力 16. 「I」を入力 17. 「R」を入力 18. 「Enter」を押す K003手順④~⑩と同様の内容が表示 [/Words]
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527
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成⑪(終了)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]白SWをOFFしてからオレンジSWをOFFする 1. 画面左下の「Start」をマウスの左でクリックする 2. 「Shut down」を押す モニターのLEDが緑からオレンジに変わる ビニール袋に戻しマスキングテープで封をすること シリアルNo.USBを抜く FANの羽の回転が停止したらオレンジSWをOFFする 3. 白SWをOFFしFANの羽の回転が停止したらオレンジSWをOFFする ★4. SSDを抜く 5. シリアルNo用のUSBを抜く [/Words]
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528
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成⑦(製造シリアルNo.の登録①)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]ここに接続 1. ㉖のUSBポートにシリアルNo用のUSBを挿入する 2. 画面内のファイルをマウスの左でクリックする 3. 「_SerialNumber」をマウスの左でダブルクリックする 4. 画面内のファイルをマウスの右でリックする シリアルNo.USB 5. 「Copy」をマウスの左でクリックする USBを挿入すると下の画面が表示される [/Words]
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529
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成⑥(OS設定③)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. 「Ask me later」をマウスの左でクリックする 前項の続きから約130秒程待つと下画面が表示される 2. 赤枠内でマウスの左をクリックする Windowsが立ち上がるまで30秒ほど待つ 3. 画面左下の「Start」をマウスの左でリックする 4. 「Computer」をマウスの左でクリックする 5. 「Data(D)」をマウスの左でダブルクリックする 6. 「SCRIPT」をマウスの左でダブルクリックする 7. 「EWFStatus」をマウスにて左でダブルクリックする 「ENABLED」である事を確認する 「EWFStatus」以外のファイルは絶対にクリックない事 上記画面が表示されたら書き込み完了 8. 「ENABLED」である事を確認する 9. 「Enter」を押す [/Words]
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530
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成⑧(製造シリアルNo.の登録②)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. 「Data[D:]」をマウスの左でクリックする 2. 「Panasonic」をマウスの左でダブルクリックする 3. 「SerialNumber」をマウスの左でダブルクリックする 4. 画面内をマウスの右でクリックする 5. 「Paste」をマウスの左でクリックする [/Words]
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531
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成⑩(製造シリアルNo.の登録④)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. 画面左下の「MVP」にカーソルを移動させ「i-Cite」のVer.を表示させる 画面上のファイルが最新Ver.になっているか確認する(最新Ver.は検査書で確認) 2. 画面上位アイコンの「Pib Test」をマウスの左でダブルクリックしVer.を表示させる 画面上のファイルが最新Ver.になっているか確認する(最新Ver.は検査書で確認) 3. ファイル右上の「×」をマウスの左でクリックし画面を閉じる アイコンをダブルクリック [/Words]
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532
[UnitName]NPM-DX:接着ロボット マルチ認識カメラVer02 SSD作成(001-011)[/UnitName] [WorkName]SSD作成⑨(製造シリアルNo.の登録③)[/WorkName] [Tool]26,3Dビルドアップ治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. 貼付けた「SerialNumber」のテキストファイルをマウスの左でダブルクリックする 2. 「UNI01*-APU-****-****」に年月と連番シリアルを打込む 4. 「Save」をマウスの左でクリックする 8. テキストファイル右上の「×」をマウスの左でクリックし画面を閉じる 年月 連番シリアル 5. テキストファイル右上の「×」をマウスの左でクリックし画面を閉じる 7. 3Dビルドアップキットのシリアルが書き込まれていることを確認する 6. Saveした「SerialNumber」のテキストファイルをマウスの左でダブルクリックする 3. テキストファイル内左上の「File」をマウスの左でクリックする [/Words]
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533
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]昇降ベース組立_1[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,ヘイコウピン,平行ピン 6×25 m6A SUS303 生地,1 3,レール,,1 4,レール,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×10-A2-70,6 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,レンチ,3㎜,,1 28,プラスチックハンマー,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を圧入 ・ピン出代:13.5mm 2. ①に③・④を⑯にて取付 位置調整は後工程にて実施 [/Words]
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534
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]クランプ組立[/WorkName] [Parts]1,ブロック,,2 2,トグルクランプ,NHH150-2S,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×10-A2-70,8 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,8 18,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 4 SUS,8 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,スパナ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰⑱にて取付 クランプのボルトの向きを、完成品(下写真)の向きに付け替える クランプボルトは仮固定(後工程にて調整) 右用、左用、各一個組立 [/Words]
information_extraction
535
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]マグネットキャッチ組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,MAGNET,C-100-B-2,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×8-A2-70,2 17,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,2 18,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰⑱にて取付 ・①P027端面基準に、②を取付 ・①P027の表裏注意 (曲げ方向) ・左扉時 対応 [/Words]
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536
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]昇降ベース組立_2[/WorkName] [Parts]1,ストッパー,,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M6×35-A2-70,4 17,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×20-A2-70,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,4㎜,,1 27,レンチ,5㎜,,1 28,調整治具,,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩に①を⑯にて取付 位置調整は後工程にて実施 2. ⑨を⑰にて取付 P002端面とP004段差部分の隙間のない様に取付 P004横端面はP002と段差のない様に取付 [/Words]
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537
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]ヒンジ組立[/WorkName] [Parts]1,ヒンジ(AA),,2 2,鍔付きブシュ,K5F0808-15,4 3,ヒンジ,,2 4,ピン,,2 6,プレート,,2 17,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,8 [/Parts][Tool]26,レンチ,4㎜,,1 27,バイス,,,1 28,グリス,,LCG100,1 29,スナップリングプライヤー,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を圧入(2箇所) 奥まで確実に圧入する事 ◆2. ①③を④⑤にて組立 ・ピンに薄く均一にグリスを塗布 (LG2) ・ピン挿入方向注意 ・Cガタトメワは確実に溝に装着する事 ・Cガタトメワの取付方向はエッジのある方を外側にする 3. ⑥を⑯⑰にて取付 取付方向注意(下写真、赤矢印部分に注意) 各端面の段差が最小になる様に取付 [/Words]
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538
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]フィルター組立[/WorkName] [Parts]1,焼結金属エレメント,ESKA-Z2803-100,1 2,フランジ,,1 [/Parts][Tool]26,スパナ,17㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ②に①を取付 傷、打痕を確認 ※各Oリング取付面は特に注意 ※微細な傷は厳重に確認 [/Words]
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539
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]昇降ベース組立_3[/WorkName] [Parts]1,フランジ,,1 2,ホルダー,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M6×20-A2-70,6 17,バネザガネ,ばね座金 2号 6 SUS,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩の裏側より①を⑯⑰にて取付 P008を取付けてからP002に取付けると、P002の穴(内径部分)に傷を付ける恐れがあるので注意 P007の向き注意(下写真参照) 2. ②を⑯にて取付 P008は仮固定(シャフトが挿入出来る状態にしておく) [/Words]
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540
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]ドア組立_2[/WorkName] [Parts]16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×10-A2-70,4 17,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M8×20-A2-70,4 18,バネザガネ,ばね座金 2号 8 SUS,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,4㎜,,1 27,レンチ,6㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩に⑨を⑯で取付 ・P012の端面に合わせて取付 2. ⑩に⑧を⑰⑱にて取付 ・P012との隙間がない様に取付 [/Words]
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541
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]ドア組立_1[/WorkName] [Parts]1,ドア,,1 2,プレート,,1 3,カバー,,1 4,Oリング,AS568B-264(FA),1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×25-A2-70,6 [/Parts][Tool]26,レンチ,4㎜,,1 27,グリス,,バリエルタ,1 28,エタノール,,,1 29,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①の傷、打痕を確認 ・各Oリング取付面は特に注意 微細な傷は厳重に確認 (表裏) 2. ①のOリング溝のクリーンアップ実施(下写真赤枠部分) 3. ②③のクリーンアップ実施 表裏保護フィルム除去後、傷、打痕を確認 各Oリング取付面は特に注意 微細な傷は厳重に確認 取付面、内側段差部分を実施 4. ④のクリーンアップ実施 ◆5. ④にバリエルタグリスを均一に塗布し異物混入に注意して①のOリング溝に入れる 6. ①に②を挿入し、③を設置し、⑯にて固定 ・③の取付は傾かないように注意 [/Words]
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542
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]ランチ組立[/WorkName] [Parts]1,レバー,A7-10-351-20,1 2,スペーサー(ハンドル側),,1 3,スペーサ,,1 4,ブラケット,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×10-A2-70,4 17,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×35-A2-70,2 18,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×40-A2-70,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①(オーバーセンタードローランチ)のハンドル部分を②に⑯にて取付 ・ブロックと平行に取付 ・方向注意 2. ③に①(オーバーセンタードローランチ)のロック部分を⑰にて取付 ロックとブロックが傾かない様に調整する事 3. ③に④を⑱にて取付 ブロック同士が傾かない様に調整する事 [/Words]
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543
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]ドアSW組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,電磁ロック付きドアスイッチ,AZM170-02zrka,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×35-A2-70,2 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,2 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,3㎜,80cN・m,1 27,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]2. ①に②を⑯⑰にて取付 ・P025とN009を平行に取付 ■1. ②の型式確認及び、シリアルNo,を転記する [/Words]
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544
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]センサー組立[/WorkName] [Parts]1,ブラケット,,2 2,SENSOR,,2 3,FILTER,PF-EXL2-1,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×12-A2-70,4 17,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,4 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,2.5㎜,40cN・m,1 27,レンチ,2.5㎜,,1 [/Tool]
[Words]2. 1.に①を⑯⑰にて取付 1. ②に③を取付 [/Words]
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545
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]ドアヒンジ組立[/WorkName] [Parts]1,ブラケット,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M8×20-A2-70,6 17,バネザガネ,ばね座金 2号 8 SUS,6 19,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M6×16-A2-70,3 20,バネザガネ,ばね座金 2号 6 SUS,3 21,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 6 SUS,3 [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 27,レンチ,6㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑧に①を⑯⑰⑱にて取付 後工程にて位置調整を実施する為、仮固定 2. ⑧に⑨を⑯⑰⑱にて取付 後工程にて位置調整を実施する為、仮固定 3. ⑧に⑩を⑲⑳㉑にて取付 後工程にて位置調整を実施する為、仮固定 [/Words]
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546
[UnitName]APX300:ロードロックチャンバー部 (001-014)[/UnitName] [WorkName]ドグキー組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,カバー,,1 3,アクチュエータ,AZM170-B6,1 4,ヘクサロビュラ穴付きSUSボタンボルト(ピンつき),SRBS-M4×16,3 16,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,3 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,T20,130cN・m,1 27,トルクスレンチ,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②③を④⑯にて取付 キー裏側の凸型のアダプターを中央に入れ替える ※仕様説明書参照 ・各部品の平行を合わせ取付 [/Words]
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547
[UnitName]APX300:カセット部組立 (001-003)[/UnitName] [WorkName]カセット下部ガイドレール組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,プレート,,2 3,ストッパー,,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×12-A2-70,4 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,4 18,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×12-A2-70,4 19,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑱⑲で取り付ける ①の表裏に注意。下図参照 2. 1の完成品に③を⑯⑰で取り付ける [/Words]
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548
[UnitName]APX300:カセット部組立 (001-003)[/UnitName] [WorkName]上プレート組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,HANDLE,UJF-12×88-AL,2 3,ピン,,2 4,ストッパー,,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×12-A2-70,4 17,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,4 18,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×12-A2-70,8 19,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,8 20,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×35-A2-70,2 21,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,2 22,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 5 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰で取り付ける 2. ⑤に③を挿入する 3. 2.に④を挿入する 5. ⑳㉑㉒を準備し次工程へ払い出す *上下プレートとガイドに段差がないことを確認 4. 3.に①を⑱⑲で取付ける [/Words]
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549
[UnitName]APX300:カセット部組立 (001-003)[/UnitName] [WorkName]ガイド組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,2 2,プレート,,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×12-A2-70,8 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,8 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,定盤,,,1 [/Tool]
[Words]1. ③に①を⑯⑰で取り付ける 2. 1の完成品に②を⑯⑰で取り付ける *.①・②は③の端面に合わせて取り付ける 赤丸部分は上プレート端面に合わせる事 [/Words]
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550
[UnitName]APX300:トランスファーチャンバー (001-015)[/UnitName] [WorkName]チャック組立_2[/WorkName] [Parts]1,ガイド,,1 2,低頭六角穴付きボルト;M3×8,低頭六角穴付きボルト M3×8-A2-50,2 3,ハンシャミラー,R-7,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×8-A2-70,2 17,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,2.5㎜,30cN・m,1 27,レンチ,2.5㎜,,1 28,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩に①を②で取付 2. 1.に③を⑯⑰で取付 [/Words]
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551
[UnitName]APX300:トランスファーチャンバー (001-015)[/UnitName] [WorkName]チャック組立_1[/WorkName] [Parts]1,リストブロック,,1 2,ヘイコウピン,平行ピン 4×8 m6A SUS304 生地,2 3,ロボットチャック,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×8-A2-70,4 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,レンチ,3㎜,,1 28,真鍮ハンマー,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を圧入 ・ピン出代 : 5mm 2. ①に③を⑯で取付け [/Words]
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552
[UnitName]APX300:トランスファーチャンバー (001-015)[/UnitName] [WorkName]ガイドローラー組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,2 2,ベアリング,DF-26-SBS2,2 [/Parts][Tool]26,プラスドライバー,No.2,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を取付ける ・2個製作 [/Words]
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553
[UnitName]APX300:本体部(負圧計)ユニット (001)[/UnitName] [WorkName]負圧計キット組立[/WorkName] [Parts]1,BRACKET,,1 2,マノスターゲージ,WO81PRT300D,1 3,アツリョクセンサ,MS30LV500D-K,1 6,CABLE,PCN63-B713,1 16,ロッカクナット,六角ナット 1種 上 M4-6H-A2-70,6 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,6 18,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 4 SUS,6 19,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×8-A2-70,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,スパナ,7㎜,,1 [/Tool]
[Words]■1. ③の型式確認、検査記入 2. ①に③を⑯⑰⑱⑲で取り付ける 3. ダイヤルを50にセットする 負圧設定値 「ダイヤル 50」 4. 1の完成品に②を付属ボルト+⑯⑰⑱で固定する 付属の平座金はボルト側 5. 4の完成品に⑥を取付ける ・ゲージ設定 緑 30 赤 220 [/Words]
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554
[UnitName]APX300:プロセスチャンバー部 (001-007)[/UnitName] [WorkName]確認窓組立_2[/WorkName] [Parts]16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×8-A2-70,3 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩の上に⑨を静かに設置 2. 1.の各部品がズレない様に反転させて、⑯にて締結 [/Words]
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555
[UnitName]APX300:プロセスチャンバー部 (001-007)[/UnitName] [WorkName]マッチャブラケット組立 ①[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,プレート,,2 3,プレート,,1 4,プレート,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×12-A2-70,14 17,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M8×40-A2-70,2 18,バネザガネ,ばね座金 2号 8 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,6㎜,,1 [/Tool]
[Words]3. 2の完成品に④を⑰⑱にて取付 1. ①③に②を⑯にて仮取付 2. 各端面を合わせて組立 [/Words]
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556
[UnitName]APX300:プロセスチャンバー部 (001-007)[/UnitName] [WorkName]マッチャブラケット組立 ②[/WorkName] [Parts]1,ガスケット,E01S43E,1 2,プレート,,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×12-A2-70,4 17,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 4 SUS,4 18,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ③に①を貼付ける 2. 1.に②を⑯⑰⑱で仮取付け [/Words]
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557
[UnitName]APX300:プロセスチャンバー部 (001-007)[/UnitName] [WorkName]確認窓組立_ 1[/WorkName] [Parts]1,マドオサエ,,2 2,マドオサエ,,2 3,ガスケット,E01S43E,2 4,UVカットフィルター,,2 5,FILTER,,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150mm,,1 27,ウエス,,,1 28,エタノール,,,1 29,ニッパ,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①のクリーンアップ実施 2. ③(フィンガー)を①の外周部分に張付 3. ②のクリーンアップ実施 4. ②に④を挿入 5. ②に⑤を設置 [/Words]
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558
[UnitName]APX300:プロセスチャンバー部 (001-007)[/UnitName] [WorkName]カバー組立[/WorkName] [Parts]1,カバー,,1 2,ガスケット,E01S43E,2 3,プレート,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×20-A2-70,2 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②(ガスケット)を内周全域に貼付け 2. 1完成品に③を⑯⑰にて取付 ②N004の端面が重ならない様に貼付ける 底部分と平行になる様に取付 [/Words]
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559
[UnitName]APX300:プロセスチャンバー部 (001-007)[/UnitName] [WorkName]プレート組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,ガスケット,E01S42E,1 3,プレート,,1 4,ガスケット,E01S45E,2 5,トッテ,A-1080-1,1 16,サラコネジ,十字穴付き皿小ねじ M6×16-A2-70,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,ウエス,,,1 28,エタノール,,,1 29,プラスドライバー,No,2,,1 30,ニッパ,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①・③のガスケット取付部分の汚れを確認 2. 1完成品①に②(ガスケット)を貼付け 4. ③に④(ガスケット)を貼付 3. ③の接合面と②取付面のクリーンアップ実施 5. 4.に⑤を⑯で取付ける [/Words]
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560
[UnitName]APX300:プロセスチャンバー部 (001-007)[/UnitName] [WorkName]プレート組立 2[/WorkName] [Parts]1,カバー,,1 2,ガスケット,E01S42E,1 3,ガスケット,E01S43E,1 [/Parts][Tool]26,スケール,300㎜,,1 27,ウエス,,,1 28,エタノール,,,1 29,ニッパ,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①のガスケット取付部分の汚れを確認 2. ①に②を貼付け 3. ①のガスケット取付部分の汚れを確認 4. ①に③を貼付け [/Words]
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561
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]モーター取付[/WorkName] [Parts]1,MOTOR,,1 2,カップリング,MC250808C2,1 3,HANDLE,HAK-40×R8(納入図有),1 4,(要申請),六角穴付きボルト M2.6×5-A2-70,2 5,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 2.6 SUS,2 6,ばね座金,ばね座金 2号 2.6 SUS,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×20-A2-70,4 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,4 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,3㎜,250cN・m,1 27,スケール,150㎜,,1 28,レンチ,2.5㎜,,1 29,レンチ,2㎜,,1 30,レンチ,3㎜,,1 31,シックネスゲージ,0.5㎜,,1 32,シックネスゲージ,1.0㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を付属のボルトにて締結 2. ①に③(アルミローレットハンドル)を付属のボルトにて締結 3. ⑨に2.完成品を⑯⑰にて取付 4. ⑨に⑩を④⑤⑥にて締結 配線上側 [/Words]
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562
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]モーター駆動部組立[/WorkName] [Parts]1,プレート,,1 2,ヘイコウピン,平行ピン 4×15 m6A SUS304 生地,2 3,LMガイドアクチュエータ,SKR3306AF-0045-H0FE-000X(A)(82712169K000),1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×10-A2-70,4 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,レンチ,4㎜,,1 28,トルクレンチ,4㎜,5.0N・m,1 29,シックネスゲージ,0.01㎜,,1 30,真鍮ハンマー,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②(ヘイコウピン)を圧入 2.1完成品に ③を⑯で取付 ・ピンとの隙間なきこと (0.01mm以内) [/Words]
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563
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]センサー組立[/WorkName] [Parts]1,ブラケット,,1 2,SENSOR,EE-SX674,1 3,センサ,EE-SX674A,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×6-A2-70,4 17,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,マウント,,FT4,2 [/Tool]
[Words]1. ①に②・③を⑯⑰・⑯にて取付 2. 写真の位置にタイマウント(FT4)取付 [/Words]
information_extraction
564
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]モーター駆動部組立 2[/WorkName] [Parts]1,ブロック,,2 2,ヘイコウピン,平行ピン 4×10 m6A SUS304 生地,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,ハンマー,,銅,1 [/Tool]
[Words]1.①に②(ヘイコウピン)を圧入 ※穴段付き部分まで圧入 ※目安出代 4mm [/Words]
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565
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]モーター駆動部組立[/WorkName] [Parts]1,ブラケット,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×25-A2-70,4 17,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×10-A2-70,2 19,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,4 20,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑧に⑨を⑯にて取付 2. ⑧の裏側に⑩を⑱⑲にて取付 3. 2完成品に①を⑰⑳にて取付 [/Words]
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566
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]駆動アーム組立[/WorkName] [Parts]1,ブロック,,1 2,ドグ,,1 3,プレート,,1 4,ヘイコウピン,平行ピン 4×12 m6A SUS304 生地,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×6-A2-70,2 17,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,レンチ,2.5㎜,,1 28,ハンマー,,樹脂,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰にて取付 2. ③に④(ヘイコウピン)を圧入 [/Words]
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567
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]フィンガー取付[/WorkName] [Parts]1,ガスケット,E01S43E,2 [/Parts][Tool]26,ニッパー,,,1 27,スケール,300㎜,,1 28,エタノール,,,1 29,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩の①取付部分のクリーンアップ実施 2. ①を写真の様に貼付 [/Words]
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568
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]昇降ユニット組立_2[/WorkName] [Parts]17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,8 18,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×20-A2-70,8 19,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,8 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑨に⑩を⑯⑰にて取付 2. 1完成品に⑱⑲にて取付 [/Words]
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569
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]昇降ユニット組立_1[/WorkName] [Parts]1,ベローズ下部ハウジング,,2 2,ブッシュ,,2 3,Oリング,V24(FA),2 4,ベローズハウジング(ムク),,2 [/Parts][Tool]26,グリス,,バリエルタ,1 27,エタノール,,,1 28,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]◆1. ①に②を挿入 ※各部品、挿入部分のクリーンアップ実施後、摺動部分にグリス塗布 ◆2. ①取付部分のクリーンアップ実施後、③(Oリング)もクリーンアップ実施し取付 バリエルタグリスを均一に塗布し異物混入に注意すること 3. ⑩の保護シートを取外す 4. ④に⑩を挿入する [/Words]
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570
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]ブッシュ取付[/WorkName] [Parts]1,ベローズ(E900-0),,2 2,ブッシュ,,2 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×6-A2-70,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,グリス,,バリエルタ,1 28,エタノール,,,1 29,ハンマー,,樹脂,1 30,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]◆1. ①に②を圧入 2. 1.完成品に⑯にて①を固定 シャフトの見える部位にグリスUP [/Words]
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571
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]ブラケット取付[/WorkName] [Parts]1,ブラケット,,1 2,ブラケット,,1 3,ブラケット,,1 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×8-A2-70,2 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,2 18,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×10-A2-70,4 19,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,4㎜,,1 28,マウント,,FT4,3 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰にて取付 2. 1完成品にマウントを取付 3. ⑩に2完成品を⑱⑲にて取付 4. 3完成品に③を⑱⑲にて取付 [/Words]
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572
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]昇降ユニット組立_4[/WorkName] [Parts]1,プレート,,2 17,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩に⑧・⑨を⑯⑰にて取付 2. 1完成品に①を⑯にて取付 [/Words]
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573
[UnitName]APX300:P/Cウェハ昇降駆動部(001-013)[/UnitName] [WorkName]昇降ユニット組立_3[/WorkName] [Parts]1,ピン,,4 2,ローラーフォロア,NART5MUUR,4 3,軸用C形止め輪,STW-5(SUS),4 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×35-A2-70,4 17,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,4 [/Parts][Tool]26,レンチ,4mm,,1 27,スパナ,7mm,,1 28,グリス,,LCG100,1 29,スナップリングプライヤー,,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑨に⑩を⑯⑰にて取付 2. 1.完成品に①を取付 3. 2完成品に②を挿入後、③(ジクヨウCガタトメワ)にて固定 ◆4. ローラーフォロア表面に薄くグリス塗布 ・加工面と平行ピンは同一方向のこと [/Words]
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574
[UnitName]APX300:インナーチャンバー部組立 (001-005)[/UnitName] [WorkName]インナーチャンバー部組立①[/WorkName] [Parts]1,インナーチャンバー,,1 2,ブロック,,1 3,ロッカクアナツキトメネジ,六角穴付き止めねじ 平先 M2.5×4-A2,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,1.27㎜,,1 27,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ②に③を取付ける 2. ①に1完成品を⑯で取付 [/Words]
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575
[UnitName]APX300:インナーチャンバー部組立 (001-005)[/UnitName] [WorkName]インナーチャンバー部組立②[/WorkName] [Parts]1,バンドヒータ(センサー無し),,1 [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 [/Tool]
[Words]2. ①に取付いている、端子保護キャップを取外す。 左回しで取外す(工具不要) 3. 2完成品の締付けネジを取り外し、カバーとヒータ単体に分離する。 配線の付いていない面を前とする ■1. ①の品番、型式確認を行う [/Words]
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576
[UnitName]APX300:インナーチャンバー部組立 (001-005)[/UnitName] [WorkName]インナーチャンバー部組立⑤[/WorkName] [Parts]2,ブロック,,2 6,CABLE,F002R-F002,1 11,断熱材,JW160-03-1,1 16,ロッカクナット,六角ナット 1種 上 M3-6H-A2-70,1 17,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,1 23,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 4 SUS,1 24,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×10-A2-70,1 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,スパナ,5.5㎜,,1 [/Tool]
[Words]帯の長い方が左側に来るように取付 取付後は、ボタンが強くしまる側(左側)で固定 1. ①に⑥を②⑯⑰で固定する。 2. 1完成品に⑪を㉓㉔で取付ける。 [/Words]
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577
[UnitName]APX300:インナーチャンバー部組立 (001-005)[/UnitName] [WorkName]インナーチャンバー部組立③[/WorkName] [/Parts][Tool]26,レンチ,5㎜,,1 27,トルクレンチ,5㎜,5.2N・m,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を取付ける。 2. 1完成品に③をヒータ部分の上に仮付け(はめ込む)する。 3. 取外し済のP004付属BOLTを締込み、固定する。 [/Words]
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578
[UnitName]APX300:インナーチャンバー部組立 (001-005)[/UnitName] [WorkName]インナーチャンバー部組立④[/WorkName] [Parts]1,インナーチャンバー,,1 2,SENSOR(熱電対配線図_インナーチャンハ),,1 6,CABLE,E103P-E103,1 [/Parts][Tool]26,トルクドライバー,5.5mmBOX,44cN・m,1 27,トルクドライバー,8mmBOX,190cN・m,1 28,レンチ,1.27㎜,,1 29,スパナ,5.5㎜,,1 30,スパナ,8㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に、②を挿入し、セットビス2本を締め込んで固定する。 ■2. 1完成品に⑥を取り付ける。 画像変更 [/Words]
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579
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ②[/WorkName] [Parts]6,コイル内,,1 7,コイル外,,1 8,BOLT,,1 20,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 3 SUS,2 21,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×6-A2-70,2 22,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦を⑳㉑㉒にて取付ける。→仮止め 2. コイルを⑧で固定する。→仮止め 3. 仮止めしていたボルトを締付ける。 [/Words]
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580
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ①[/WorkName] [Parts]1,M-BOX,AMVG-3000-KJ,1 2,プレート,,1 6,ブラケット,,1 7,プレート,,1 8,コイル固定ポスト(220 1T+2/4T),,4 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×10-A2-70,6 17,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,6 20,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M5×12-A2-70,3 21,バネザガネ,ばね座金 2号 5 SUS,3 23,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×25-A2-70,8 24,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,8 25,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 4 SUS,8 [/Parts][Tool]26,レンチ,3㎜,,1 27,レンチ,4㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に②を⑯⑰にて取付ける。 2. 1完成品に⑥を⑦⑳㉑にて取付ける。 3. 2完成品に⑧を㉓㉔㉕にて取付ける。 [/Words]
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581
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ④[/WorkName] [Parts]6,コイル内,,1 7,コイル外,,1 8,BOLT,,1 20,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 3 SUS,2 21,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×6-A2-70,2 22,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦を⑳㉑㉒にて取付ける。→仮止め 2. コイルを⑧で固定する。→仮止め 3. 仮止めしていたボルトを締付ける。 [/Words]
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582
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ③[/WorkName] [Parts]6,コイル内,,1 7,コイル外,,1 8,BOLT,,1 20,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 3 SUS,2 21,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×6-A2-70,2 22,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦を⑳㉑㉒にて取付ける。→仮止め 2. コイルを⑧で固定する。→仮止め 3. 仮止めしていたボルトを締付ける。 [/Words]
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583
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ⑥[/WorkName] [Parts]6,ホルダー(220 1T+2/4T),,4 21,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×10-A2-70,4 22,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,8 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 [/Tool]
[Words]■1. ①に⑥を⑳㉑㉒で取付ける。 [/Words]
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584
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ⑤[/WorkName] [Parts]6,コイル内,,1 7,コイル外,,1 8,BOLT,,2 20,ミガキマルヒラザガネ,平座金 みがき丸 3 SUS,2 21,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×6-A2-70,2 22,バネザガネ,ばね座金 2号 3 SUS,2 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,レンチ,2㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ①に⑥⑦を⑳㉑㉒にて取付ける。→仮止め 2. コイルを⑧で固定する。→仮止め 3. 仮止めしていたボルトを全て締付ける。 [/Words]
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585
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ⑧[/WorkName] [Parts]6,プレート(ヒータ押え:1T+2/4T),,1 7,極低頭六角穴付ボルト,SEH0512,4 20,バネザガネ,ばね座金 2号 4 SUS,12 21,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M4×10-A2-70,12 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,レンチ,3㎜,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑥に①を⑦で取付ける。→4ヶ仮止め 2. ②に1完成品を⑳㉑にて取付ける。 3. No,1仮止めボルトを締付ける。 [/Words]
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586
[UnitName]APX300:ICPコイル部組立 (001-008)[/UnitName] [WorkName]ICPコイル部組立 ⑦[/WorkName] [Parts]1,ハウジング,,4 2,ブッシュ,K5F1510-23,4 3,ゼツエンパイプ,,4 4,シャフト,,4 5,バネ,4066,4 16,ロッカクアナツキボルト,六角穴付きボルト M3×8-A2-70,8 [/Parts][Tool]26,レンチ,2.5㎜,,1 27,エキセン,,,1 28,六角穴付きボルト,M8×75,,4 [/Tool]
[Words]1. ①に②を圧入する。→4ヶ 2. 1完成品に③を入れ⑯にて取付ける。→4ヶ 3. 2完成品に④を入れる。→4ヶ 4. 3完成品にボルト(M8×75)入れて立てる。→4ヶ 5. 4.完成品に⑤を挿入。→4ヶ [/Words]
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587
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]ロードロックチャンバー下配管部サブ組立④[/WorkName] [Parts]1,高真空L型バルブ,XLA-40-M9//,1 2,CLAMP,SNK1040,1 3,CENTER-RING,SNS7040,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩①②③の取付け面を脱脂洗浄する 2. ⑩に1。完成品①を1完成品②③で取付け 手締め 脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 クランプリング(N006)の蝶ねじの方向に注意 [/Words]
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588
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]ロードロックチャンバー下配管部サブ組立③[/WorkName] [Parts]1,FLANGE,SNC3016,1 2,ツギテ,SNK1016,1 3,リング,SNS7016,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①②③の取付け面を脱脂洗浄する事 2. ⑩に1.完成品①を1完成品②・③で取付け 手締め クランプリング②の蝶ねじの方向に注意 脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 [/Words]
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589
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]ロードロックチャンバー下配管部サブ組立②[/WorkName] [Parts]1,ピラニキャパシタンスゲージ,3PC1-001-3000,1 2,ツギテ,SNK1016,1 3,リング,SNS7016,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①②③の取付け面を脱脂洗浄する事 2. ⑩に1.完成品①を1.完成品②③で取付け 手締め ・脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 ・クランプリング(N005)の蝶ねじの方向に注意 ・真空計(N002)の取付け方向と傾きに注意 [/Words]
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590
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]トランスファーチャンバー下配管部サブ組立①[/WorkName] [Parts]1,パイプ,,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①の保護キャップをはずす(2ヶ所)。 作業しない部分の保護キャップははずさない事 保護キャップは極力作業直前にはずし、作業部だけ外す事(異物、傷等を防ぐ) 2. ベンコットンとアルコールにて、取付け面、センターリング溝の脱脂洗浄を実施 脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 [/Words]
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591
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]ロードロックチャンバー下配管部サブ組立⑥[/WorkName] [Parts]1,高真空L型バルブ,XLA-40-M9//,1 2,CLAMP,SNK1040,1 3,CENTER-RING,SNS7040,1 5,SENSOR,,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150mm,,1 27,精密ドライバー,-,,1 28,アルコール,,,1 29,スパナ,10㎜,,1 30,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩①②③の取付け面を脱脂洗浄する ・脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 2. ⑩に①を1.完成品②③で取付け ・組上げ時最後に(バルブや真空計等の)取付け方向と増締めを確認する事 クランプリング②の蝶ねじの方向に注意 3. 2完成品のL型バルブ溝に④⑤を取付ける ・リミットSWのセンサーの取付位置に注意 手締め [/Words]
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592
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]ロードロックチャンバー下配管部サブ組立⑤[/WorkName] [Parts]1,CLAMP,SNK1040,1 2,CENTER-RING,SNS7040,1 4,SENSOR,,2 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,精密ドライバー,,(-),1 28,アルコール,,,1 29,スパナ,10㎜,,1 30,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑩のバルブ下側、①②の取付け面を脱脂洗浄する事 2. ⑩のバルブ開口部に1.完成品②とバルブ付属の保護キャップを一緒に1.完成品①で取付 3. 2.完成品のバルブの溝に、③④を取付ける 脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 クランプリング①の蝶ねじの方向に注意 リミットSWのセンサーの取付位置に注意 LS603 LS602 手締め [/Words]
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593
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]ロードロックチャンバー下配管部サブ組立①[/WorkName] [Parts]1,パイプ,,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①の保護キャップをはずす(2ヶ所)。 2. 1完成品の取付け面、センターリング溝の脱脂洗浄を実施 作業しない部分の保護キャップははずさない事 保護キャップは極力作業直前にはずし、作業部だけ外す事(異物、傷等を防ぐ) 脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 [/Words]
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594
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]トランスファーチャンバー下配管部サブ組立④[/WorkName] [Parts]1,高真空L型バルブ,XLA-40-M9//,1 2,CLAMP,SNK1040,1 3,CENTER-RING,SNS7040,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①②③の取付け面を脱脂洗浄する 2. ⑩の開口部に1完成品のL型バルブ①を②③で取付け ・②の蝶ねじの方向に注意 蝶方向(組図参照) 手締め [/Words]
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595
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]トランスファーチャンバー下配管部サブ組立③[/WorkName] [Parts]1,FLANGE,SNC3016,1 2,ツギテ,SNK1016,1 3,リング,SNS7016,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①②③の取付け面を脱脂洗浄する ・脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 2. ⑩の開口部に1完成品の①を②③で取付け ・②の蝶ねじの方向に注意 蝶方向(組図参照) 手締め [/Words]
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596
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]トランスファーチャンバー下配管部サブ組立②[/WorkName] [Parts]1,ピラニキャパシタンスゲージ,3PC1-001-3000,1 2,ツギテ,SNK1016,1 3,リング,SNS7016,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①②③の取付け面を脱脂洗浄する 脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 ・①真空計の取付け方向と傾きに注意 ・②の蝶ねじの方向に注意 2. ⑩の開口部に③と①を②で取付け 手締め [/Words]
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597
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]トランスファーチャンバー下配管部サブ組立⑦[/WorkName] [Parts]1,CLAMP,SNK1040,1 2,CENTER-RING,SNS7040,1 [/Parts][Tool]26,アルコール,,,1 27,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ⑨⑩の開口部と①②の取付け面を脱脂洗浄する ・脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 2. 1完成品の⑨と⑩を①②で取付け 手締め 3. 外観確認を行い、傷等の有無を確認する ・SUS配管等の表面の指紋や汚れをアルコールで脱脂洗浄の事 蝶方向(組図参照) [/Words]
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598
[UnitName]APX300:LL・TC真空排気部 (001-013)[/UnitName] [WorkName]トランスファーチャンバー下配管部サブ組立⑥[/WorkName] [Parts]1,高真空L型バルブ,XLA-40-M9//,1 2,ダクト,SNB6040,1 3,CLAMP,SNK1040,1 4,CENTER-RING,SNS7040,1 6,SENSOR,,1 [/Parts][Tool]26,スケール,150㎜,,1 27,精密ドライバー,-,,1 28,アルコール,,,1 29,スパナ,10㎜,,1 30,ベンコットン,,,1 [/Tool]
[Words]1. ①②③④の取付け面を脱脂洗浄する 脱脂洗浄後、汚れ、ゴミ、傷打コン等の確認をする事 2. 1完成品の①開口部に②を③④で取付け ・③の蝶ねじの方向に注意 3. 2完成品のバルブの溝に、⑤⑥を取付ける ・リミットSWのセンサーの取付位置に注意 LS523 LS522 手締め 蝶方向(組図参照) [/Words]
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599