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feat: PHM 2016 CMP 톡합 + 3개 μ•ŒλžŒ 싀데이터 λ™μž‘
f606871
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# PHM 2016 CMP Dataset
CMP(Chemical Mechanical Planarization, ν™”ν•™ 기계적 μ—°λ§ˆ) 곡정 μ‹€μΈ‘ λ°μ΄ν„°μ…‹μž…λ‹ˆλ‹€.
A3 μ•ŒλžŒ(CMP Step 이상)의 Tier 1 이상 νƒμ§€μ—μ„œ μ‚¬μš©ν•©λ‹ˆλ‹€.
## κ°œμš”
- 좜처: PHM Society Data Challenge 2016
- 1,981 wafer Γ— 2 stage(A/B), 25개 μ„Όμ„œ μ‹€μΈ‘κ°’ + 평균 재료 제거율(MRR) 라벨
- μ„Όμ„œ 이름이 λͺ¨λ‘ κ³΅κ°œλ˜μ–΄ μžˆμ–΄ 도메인 해석이 κ°€λŠ₯ν•©λ‹ˆλ‹€ (SECOM의 읡λͺ…μ„±κ³Ό λŒ€μ‘°)
## μ£Όμš” μ„Όμ„œ
- μ••λ ₯: `PRESSURIZED_CHAMBER_PRESSURE`, `RETAINER_RING_PRESSURE`, `MAIN_OUTER_AIR_BAG_PRESSURE` λ“±
- νšŒμ „: `WAFER_ROTATION`, `STAGE_ROTATION`, `HEAD_ROTATION`
- 슬러리 μœ λŸ‰: `SLURRY_FLOW_LINE_A/B/C`
- μ‚¬μš©λŸ‰: `USAGE_OF_BACKING_FILM`, `USAGE_OF_DRESSER`, `USAGE_OF_POLISHING_TABLE` λ“±
## μ€€λΉ„ 방법
원본 ZIP을 `data/phm2016/raw/`에 ν’€μ–΄λ‘μ„Έμš”. μ••μΆ• ν•΄μ œ ν›„ λ‹€μŒ ꡬ쑰가 λ˜μ–΄μ•Ό ν•©λ‹ˆλ‹€.
```
data/phm2016/raw/
β”œβ”€β”€ CMP-training-removalrate.csv # ν•™μŠ΅μš© μ •λ‹΅ 라벨
β”œβ”€β”€ CMP-test-removalrate.csv
└── CMP-data/
β”œβ”€β”€ training/CMP-training-NNN.csv # trajectory μ‹œκ³„μ—΄ (185개)
└── test/CMP-test-NNN.csv
```
raw λ°μ΄ν„°λŠ” μ•½ 160MB둜 git에 ν¬ν•¨λ˜μ§€ μ•ŠμŠ΅λ‹ˆλ‹€(`.gitignore`).
## λ‘œλ” μ‚¬μš©
```python
from data.phm2016.loader import load_phm_cmp
features, labels = load_phm_cmp()
# features: (N, 19) β€” wafer-stage λ‹¨μœ„ μ„Όμ„œ 평균
# labels: (N,) β€” AVG_REMOVAL_RATE
# index: MultiIndex (WAFER_ID, STAGE)
```
trajectory 전체λ₯Ό (WAFER_ID, STAGE)λ³„λ‘œ 평균 μ§‘κ³„ν•˜μ—¬ wafer-stage λ‹¨μœ„ feature
vectorλ₯Ό λ§Œλ“­λ‹ˆλ‹€. 첫 호좜 μ‹œ μ•½ 10~30μ΄ˆκ°€ μ†Œμš”λ˜λ©° μ΄ν›„λŠ” `lru_cache`둜 μ¦‰μ‹œ
μ‘λ‹΅ν•©λ‹ˆλ‹€.
## μ•ŒλžŒ λ§€ν•‘
A3(CMP Step 이상) μ•ŒλžŒμ΄ 이 λ°μ΄ν„°μ˜ νŠΉμ • wafer에 λ§€ν•‘λ©λ‹ˆλ‹€ (`agents/detection.py`의
`ALARM_WAFER`). MRR이 ν‰κ· μ—μ„œ 크게 λ²—μ–΄λ‚œ waferλ₯Ό μ„ νƒν•˜μ—¬ 이상 μ‹œλ‚˜λ¦¬μ˜€λ‘œ
μ‚¬μš©ν•©λ‹ˆλ‹€.