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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハ&アップルッキングカメラ組付け", "Words": [ "視野A", "視野A", "【作業手順】Ⅰ、アップルッキングカメラスタンドをD-PINに当付けて仮止めする。(本体ドッキング工程)Ⅱ、D-PINの隙間を確認し本締めする" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いアップルッキングカメラスタンドを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "隙間確認:0.01㎜以下", "D-PIN当付け確認", "アップルッキングカメラスタンド" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ&アップルッキングカメラ組付け" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "レンチ", "Size": "4㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27" ] }
[ { "WorkName": "ウエハ&アップルッキングカメラ組付け", "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "シックネスゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:0.01㎜以下", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ組付け", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、フリップカメラのブロックをピックアップユニットベースプレートのD-PINにはめ込み取付ける。(本体ドッキング工程)Ⅱ、ブロック長穴のセンターにD-PINがあることを確認し本締めする" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いフリップカメラを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "フリップカメラ取付ボルト", "ピックアップユニットベースプレート" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:フリップカメラ組付け" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "レンチ", "Size": "2㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "スパナ", "Size": "7㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28" ] }
[ { "WorkName": "フリップカメラ組付け", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハ用バーコードカメラ、LED照明組付け", "Words": [ "【作業手順】 (オプションですので仕様を確認して下さい)Ⅰ、ウエハ用バーコードカメラブラケットをヘッドY軸プレートに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、バーコードカメラ、カメラ用LED照明の取付角度を確認する" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハ用バーコードカメラ、LED照明を組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ウエハ用バーコードカメラ(Max50㎜)", "バーコードカメラ用LED照明", "ウエハバーコードカメラブラケット" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ用バーコードカメラ(Max50㎜)組付け", "検査表①:バーコードカメラ用LED照明組付け" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハ用バーコードカメラ、LED照明組付け", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "陽炎防止ブローユニット組付け", "Words": [ "視野A", "視野A", "【作業手順】Ⅰ、陽炎防止ブローユニットをヘッドY軸フレームに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、ボンディングステージカメラの位置を確認し視野の中心を狙い位置調整する" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い陽炎防止ブローユニットを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "陽炎防止ブローユニット" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:陽炎防止ブローユニット組付け" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "5㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "陽炎防止ブローユニット組付け", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハ用イオナイザー組付け", "Words": [ "【作業手順】 (オプションですので仕様を確認して下さい)Ⅰ、ウエハ用イオナイザーをヘッドY軸プレートに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、イオナイザーの吹き出し角度(ピックアップ位置)を確認する" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハ用イオナイザーを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ウエハ用イオナイザー" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ用イオナイザー組付け" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "2.5㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハ用イオナイザー組付け", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "機内照明組付け", "Words": [ "視野A", "視野A", "【作業手順】 (オプションですので仕様を確認して下さい)Ⅰ、機内照明をエア配管ブラケットに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、機内照明ケーブル向きを確認する" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い機内照明を組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "機内照明", "ケーブル" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:機内照明組付け" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "機内照明組付け", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "電源投入", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 電源ケーブルをメインSWに接続し220Vコンセントに接続する", "2. 正圧、負圧のエアーを供給する", "3. マシンのメインSWを【ON】する" ], "WorkPoints": [ "電源、正圧供給", "負圧供給", "電源『ON』", "正圧供給" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:電源投入" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "電源投入", "QualityItem": "接続確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り接続出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "MMC初期化", "Words": [ "【MMC初期化インストール手順】 1) 初期化インストール環境2) 初期化インストール手順 ・初期化用SDをSDカードリーダーに差込み、CPU基板のUSB1へ接続し、電源をONします。 ※下記5つの処理を自動的に順番に実行します。 初期化処理には、3分必要です。 電源投入後、3分程度経過の後、設備のシグナルタワー(赤、黄、緑、ブザー)をONして、 処理終了を通知します。3分たってもパトライトが点灯しない場合、初期化処理に失敗しています。 MMC単独では、表示装置がありませんので、正常に終了したかどうか判断する手段が、上記 シグナルタワーですので、 設備配線が指示通り行われていないと、正常終了が判断できません。 初期化実行前に、光リング配線でエラーが発生してい ないか確認してください。 【補足】初期化インストールでは以下の処理を行います。 ① IPアドレスの設定 IPアドレスは、入荷時、初期値に設定されていますので、FAパソコンとそのままでは接続できません。 よって、FAPCとの接続用IP(192.168.0.51)に設定します。 ② 初期設定ファイルのコピー MMCは、コンパクトフラッシュROMを搭載しています。その中に、MMCのシステム、及び、 設定ファイルが必要です。立上用SDカードから、設定ファイルとMMCシステムを コンパクトフラッシュROMへコピーします。 ③ BBMの初期化 NCIO基板には、バッテリーバックアップRAM(以下BBM)があります。このBBMは、常時データを保持する メモリーですので、立上時にすべて初期化します。 ④ NCIOファームウエアの更新 NCIO基板には、IO用CPU、NC用CPU、Head通信用CPUの3個のCPUが搭載されています。 これらは、それぞれに、動作プログラムがあり、入荷時は、基板検査用プログラムが、書込まれています。 よって、設備に使用するには、設備用の動作プログラムをインストールします。3) 初期化処理を何度か行っても正常に終了しない場合・・・何かの異常が発生しています。 終了しない場合は、まず、 シグナルタワーの配線、光リングが正しいか確認しPFSC製造もしくは設計へ連絡してください。4) 初期化が終了したら、SDカードリーダーを取り外し、電源を再立上してください。5) 初期化の確認(通常不用) ① IPアドレスの確認 FAパソコン側の設定を行い、MMCコントローラーと接続し、起動し、正常に起動できれば IPアドレスは正常に設定されています。 ②、③の確認は必要ありません。 ④ 設備が正常に起動したら、設備画面でファームウエアのバージョン表示でファームウエアバージョンを 確認できます。 IO : V1.03.03 NC : V1.04.40 Head通信 : V0.01.10", "CPU", "NCIO#1", "NCIO#2", "光リング", "シグナルタワー", "ILK基板", "MMCコントローラー", "SDカードリーダー", "初期化用SDカード" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いMMCの初期化インストールを行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:MMC初期化" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "MMC初期化", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "MMC初期化SDUSB変換治具", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "BIOS設定", "Words": [ "【BIOS設定手順】 1) マシンのFAパソコンにキーボードを接続する2) FAパソコンの電源を入れ、初期画面上で左下に【F2・・・】と表示した時にキーボードの【F2】を押す。3) 下記写真を参考に設定を行う。 ・キーボードの【矢印キー】で項目移動 ・キーボードの【ENTERキー】で項目選択", "English (US)に設定", "Power Onに設定", "ENTER", "ENTER", "Non screenに設定", "立ち上がるのを待つ" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いBIOSの設定を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:BIOS設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "BIOS設定", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "システム更新1", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 更新するソフトウエアの入ったSDカードを設備に挿入する", "2. Toolsから、システム更新を選択し、標準更新の画面を選択する", "3. 標準バージョンアップの画面が開きます" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "システム更新1", "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "システム更新SD", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "システム更新2", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 更新元のドライブ選択で、SDカードからを選択する", "2. SDカードのドライブを選択", "3. ドライブ内を表示して、SD_Lmageフォルダを選択します" ], "WorkPoints": [ "通常、SDカードドライブはFドライブですが、設定によっては異なります", "指示通り選択すると、これから更新するHMI..MMC.SMVそれぞれのバージョンは表示されます" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "システム更新2", "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "システム更新3", "Words": [ "以上、更新完了です" ], "WorkItems": [ "3. 更新が正常に終了しましたと表示されると更新完了です。 シャットダウンを押して、設備を再起動してください。", "2. 【実行】 ボタンを押すと、確認のダイアログが表示されます。 【はい】 と押す、更新が開始されます", "1. 更新と同時に、現在稼動しているソフトウエアを設備HDD内のバックアップ箇所は3つあり 自動的にもっとも古いバージョンに現在のソフトウエアを選択・上書きします" ], "WorkPoints": [ "再起動後についてを参照してください", "ここで、システム更新ソフト自体の更新が行われることがあります。この場合は、更新作業を最初からやり直してください。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:システム更新" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "システム更新3", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ドキュメント更新1", "Words": [], "WorkItems": [ "1. ドキュメント更新用のSDカード作成", "2. 更新するドキュメントの入ったSDカードを設備に挿入します", "3. Toolsから、システム更新を選択し、カスタム更新の画面を選択します", "4. DOCのタブを押して、ドキュメント更新画面を開きます" ], "WorkPoints": [ "ドキュメントの入ったSD-ROMの中身を、そのままSDカード内にコピーします。このとき、フォルダ校正を変えると、指示通りドキュメント更新されないので注意してください。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ドキュメント更新1", "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ドキュメント更新SD", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ドキュメント更新2", "Words": [ "以上、更新 完了です" ], "WorkItems": [ "1. SDカードのドライブを選択します。", "2. 【実行】 ボタンを押すと、確認のダイアログが表示されます。 【はい】 を押すと更新が開始されます。", "3. 正常に更新されたら、【戻る】 ボタンを押してください。" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ドキュメント更新2", "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ファームウエアのアップデート手順", "Words": [], "WorkItems": [ "1. ADMINの権限でログインする", "2. 【Tools】⇒【システム更新】⇒【カスタム更新】を選択", "3. MMC初期SD挿入", "4. 【SD⇔MMC】⇒【ファームウエア更新】を選択", "5. [更新元フォルダ選択]でSDドライブの【F:\\】を選択", "6. [ファームウエア種類]で6番~10番までにチェックを入れ【実行】を押す" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ファームウエアのアップデート" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ファームウエアのアップデート手順", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ファームウェア更新SD", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "マシン初期設定", "Words": [ "【メーカー設定】", "(参考)搭載指示書", "【アドミニ設定】", "(参考)搭載指示書" ], "WorkItems": [ "1. 搭載指示書に従い【メーカー設定】、【アドミニ設定】を行う" ], "WorkPoints": [ "【設定】⇒【モード設定】⇒【メーカー設定】を選択する", "【設定】⇒【モード設定】⇒【アドミニ設定】を選択する ※アドミニ権限でログイン時に画面表示されます" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:マシン初期設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "マシン初期設定", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "データSD", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "マシン初期設定②", "Words": [], "WorkItems": [ "1. I/O工程にてI/Oチェック表を基にパラメーターの書込みが実施してある事" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:サーボドライバーパラメータ書込み" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "マシン初期設定②", "QualityItem": "操作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ドライバパラSD", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "外部モニタ設定①", "Words": [ "※【注意:設定前にメーカー設定「外部モニタ設定」は「無」のままで設定を開始する事】", "①", "②", "③", "④", "⑤", "⑥", "【作業手順】①画面右上の【Tools】ボタンを押し、メニューの中から【エクスプローラ】を押して、エクスプローラを表示する。②【Control Panel 】の【Display】を起動する。③【Settings】タブを押す。④【2】のモニターを【1】のモニターの左側に移動させる。⑤確認のダイアログが表示されたら【Yes】を押す。⑥【2】のモニタが【1】のモニタの左側に表示され【Extend my Window desktop onto this monitor.】にチェックが付いたら【OK】を押す。※続けてWriteFilterの設定を実施する。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いWindowsモニタ設定を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:外部モニタ設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "外部モニタ設定①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "外部モニタ設定②", "Words": [ "①", "キーボードが無い場合に使用", "②", "③", "④", "⑧", "【作業手順】①【Tools】メニューから、【エクスプローラー】を起動する。※キーボードが無い場合は【ソフトキー起動】を押して【スクリーンキーボード】を開いておく。②ログオン画面にて、 【終了】ボタンを押して、HMIソフトを終了させる。③エクスプローラーを使用し、以下のフォルダへ移動します。【D:→SIP300→HMI_SYS→Bin】④【WriteFilter_Commit.bat】をダブルクリックして実行します。→終了後、【⏎】キーを押して【WriteFilter_Commit.bat】画面を閉じる。⑤画面最下部をタッチして、タスクバーを表示させる。⑥スタートボタンより、Windows をシャットダウンし、ブレーカーをOFFして、再起動を行う。⑧再起動後、メーカー設定【外部モニター設定】を【有】に設定し、再起動を行う。※再起動後に搭載指示書を参照し、認識モニタ設定を実施する。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いWriteFilterの設定を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:外部モニタ設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "外部モニタ設定②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "製品検査①", "Words": [ "1-(1) メインスイッチによる電源ON確認", "メインブレーカースイッチ", "1-(2) トリップボタンを押してトリップ確認", "1-(3) トリップ後のリセットが機能すること", "電源OFFの位置へ戻れば確認完了", "2 冷却ファン回転方向確認(外部に吐き出し)", "トリップボタン" ], "WorkItems": [ "■1. 電源投入時確認を実施する" ], "WorkPoints": [ "トリップ後ブレーカースイッチが斜めの位置になるので電源OFFの位置へ手でひねる", "図に示した4か所についてファンの風が設備外側に吹き出していることを確認する", "メインブレーカースイッチをONして装置が立ち上がることを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004", "WDWS-5400-001" ], "WorkTypes": [ "■安全作業" ], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "製品検査①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "製品検査②", "Words": [ "T101", "T103", "T102", "T104", "T105" ], "WorkItems": [ "■2. ヒーターユニット DC電源調整", "■1. パワーユニット DC電源調整", "■3. VCMドライバー用 DC電源調整" ], "WorkPoints": [ "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する", "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する", "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004", "WDWS-5400-001" ], "WorkTypes": [ "■安全作業" ], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "テスター", "Size": "-", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "精密ドライバー", "Size": "-", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27", "使用治工具No.26,27", "使用治工具No.26,27" ] }
[ { "WorkName": "製品検査②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "製品検査③", "Words": [ "作業標準書「SD-A008724」 が完了していること", "ヘッドY軸", "ピックアップ", "基板XYテーブル", "ウエハXYテーブル", "ウエハーリフター", "基板搬送ユニット", "ウエハートランスファー", "ダイエジェクター" ], "WorkItems": [ "5. 可動部配線処理確認(干渉、当り、引張り等無い事)", "2. システム立ち上げ確認", "1. M/C本体システムインストール", "3. ACサーボドライバパラメータインストール", "4. ヘッドY軸 原点調整" ], "WorkPoints": [ "ソフト搭載指示書と本体のバージョンを確認する", "ソフト搭載指示書と本体のバージョンを確認する", "ード搭載指示書と本体にインストールされているパラメータを確認する", "検査書の項目に沿って対象の軸のカップリングを指で回しXYフルストロークで干渉や配線の引張りがないことを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004", "WDWS-5400-001" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "製品検査③", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "製品検査④", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "⑤", "⑥", "⑤で選択される", "上記同様軸を選択した状態で原点復帰を押す", "ドロップダウンメニューから移動量を選択する", "矢印で操作" ], "WorkItems": [ "1. 全軸原点復帰動作及び移動量確認" ], "WorkPoints": [ "軸を移動させるときは干渉物がないかを十分に確認する", "◆移動量軸の移動レートを選択して軸を動作して設定値と実際の移動量に差がないかを確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」", "◆原点復帰単軸で原点復帰動作に問題がないか確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」", "◆軸方向モーターテスト画面で単軸でモータを動作させて、操作方向と移動方向が正しいことを確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」- 各軸を選択", "制御製品検査表の確認項目に沿って各軸の確認を実施する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004", "WDWS-5400-001" ], "WorkTypes": [ "◆作業者安全作業" ], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "製品検査④", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "製品検査⑤", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "⑤", "カメラを選択", "⑤", "⑥", "光量を調整" ], "WorkItems": [ "1. 検査表に沿って各LED照明の光量が問題なく変更できるかを確認する" ], "WorkPoints": [ "設備画面でLEDの光量を調整して実際に照明の光量が変化することを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004", "WDWS-5400-001" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "製品検査⑤", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "製品検査⑥", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "①", "②", "③現在選択中の品種データを選択", "④", "②", "③プリステージ、ボンディングステージの温度を50℃に設定する", "④", "①" ], "WorkItems": [ "2. 温度上昇確認", "1. 熱電対の動作に問題がないか確認する" ], "WorkPoints": [ "◆常温時温度 : 外気温度とほぼ一致していること", "◆熱電対オープン時 : 800度以上パワーオフの状態で各熱電対コネクタを抜いたときの温度表示を記録する", "各ヒーターを50℃に設定して温度が上昇することを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004", "WDWS-5400-001" ], "WorkTypes": [ "◆作業者安全作業" ], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "製品検査⑥", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "製品検査⑦", "Words": [ "①Toolsを押す", "②パワー制御を押す", "③カバー開(本体)を押す", "①", "②", "③", "④対象の出力を探す", "⑤" ], "WorkItems": [ "1. 制御製品検査表に基づき安全テストを実施する" ], "WorkPoints": [ "◆前面カバーオープンで基板押さえ上下VL(R3500,R3501,R3503,R3504)プリステージ上下VL(R3534,R3535)が動作しないこと。・パワーオン状態から前面カバーを開けて、I/O画面でそれぞれの信号を出力して動作しないことを確認", "◆背面メンテナンスカバーオープンで本体ユニットサーボドライバーパワーOFF(セグメントLED\"--\"表示)・パワーオンの状態で背面カバーを開けて、サーボモータードライバーの表示を確認する", "◆前面カバーオープンで本体ユニットサーボドライバーパワーOFF(セグメントLED\"--\"表示)・パワーオン状態で前面カバーを開けて、サーボモータードライバーの表示を確認する", "◆本体ユニット非常停止スイッチONで全サーボドライバーパワーOFF(セグメントLED\"--\"表示)・パワーオン状態で非常停止ボタンを押し、サーボモータードライバーの表示を確認する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004", "WDWS-5400-001" ], "WorkTypes": [ "◆作業者安全作業" ], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "製品検査⑦", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "真空センサ設定", "Words": [ "※その他のモード(参考)" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い真空センサ設定を行う", "2. 上記のその他のモードを参考にキーをロックする" ], "WorkPoints": [ "オプションもありますので仕様を確認して下さい。", "工場出荷時から【表示色】を変更", "設定センサ", "変更", "変更" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:真空センサ設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "真空センサ設定", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ファイバーセンサ設定①", "Words": [ "※作業手順②を行っても動作出力設定(ティーチングモード)にならない場合はディスプレイが \"ON\" に なっている可能性があります。下記手順で解除してから再度設定を行ってください。", "を同時に2秒長押しする" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いファイバーセンサ設定を行う" ], "WorkPoints": [ "工場出荷時から【出力動作設定(Light ON、Dark ON)】と【閾値】を変更", "①キーロックを解除する", "④【○】を4回押し『RUNモード』へ戻る", "②【○】を2秒長押し⇒『SETモード』へ入る", "③【○】を1回押し⇒『出力動作設定モード』へ入る" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ファイバーセンサ設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ファイバーセンサ設定①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ファイバーセンサ設定②", "Words": [ "※⑨ウエハ飛び出し検出センサ用アンプ設定", "←2秒長押し", "出力動作設定", "しきい値設定", "←+-で設定値に合わせる", "- +", "←1回押し、元に戻す" ], "WorkItems": [ "1. 下記の設定表に従いファイバーセンサの閾値設定を行う", "2. 設定表の光量以上であることを確認し、光量の足りない場合は調整する" ], "WorkPoints": [ "⑤△▽キーでしきい値を設定する", "⑥キーロックを行う", "※アンプの種類が違う為、次ページの手順に従ってください", "各センサとアンプの場所は次ページを参照", "光量はできる限り最大値を狙う", "光量", "しきい値", "Lo(Light On)に設定", "4ページ目に詳細設定を記載。(工場出荷状態と同じですので変更不要)" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ファイバーセンサ設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ファイバーセンサ設定②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ファイバーセンサ設定③", "Words": [ "v", "v", "①", "②", "③", "④", "視野A", "視野A", "⑤", "⑥", "視野B", "視野A", "⑦", "⑧", "v", "⑨", "※各センサとアンプの場所" ], "WorkItems": [ "1. ファイバーセンサーの位置説明" ], "WorkPoints": [ "右側センサが上段のアンプ" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ファイバーセンサ設定③", "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ファイバーセンサ設定④", "Words": [ "⑨ウエハ飛び出し検出センサ設定表" ], "WorkItems": [ "1. 操作説明" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ファイバーセンサ設定④", "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "レギュレータ調整①", "Words": [ "メインエア圧0.45±0.05MPa", "サイドクランプ圧0.25±0.05MPa", "基板クランプ圧0.25±0.05MPa", "B/Dブロー圧0.15±0.05MPa", "P/Uブロー圧0.15±0.05MPa", "USツール冷却エア圧0.1±0.05MPa", "ウエハチャック クランプ圧0.25±0.05MPa" ], "WorkItems": [ "1. 下記を参考にレギュレータの調整を行う" ], "WorkPoints": [ "本体右側面のレギュレータで調整", "『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』のウエハフレームチャックを動作させて確認" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:レギュレータ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "レギュレータ調整①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "レギュレータ調整②", "Words": [ "エアパージ供給圧力 (ウエハ用)0.1±0.05MPa", "基板冷却エアブロー圧0.25±0.05MPa" ], "WorkItems": [ "1. オプションがある場合は下記のユニットも調整すること" ], "WorkPoints": [ "搭載指示書に基づき、作業前にメーカー設定を行うこと" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:レギュレータ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "レギュレータ調整②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "配線・配管確認表確認", "Words": [ "ボンディングステージX/Y軸", "基板搬入/搬出軸", "アンローダーリフター軸", "ボンディングヘッドY軸", "ピックアップヘッドX/反転θ軸", "ボンディングヘッドZ/θ軸", "エジェクター上下", "ウエハフレームトランスファー軸", "ウエハーカセットリフター", "ウエハーX/Y/θ軸", "ウエハーエキスパンド軸", "サイドクランプ", "ローダーリフター軸", "基板プッシャー", "マガジン切替シリンダー", "プリステージレール上昇", "レール上昇", "マガジン切替シリンダー", "エジェクターY軸", "エジェクターニードルZ軸" ], "WorkItems": [ "1. 配線・配管確認表に基づき確認を行う" ], "WorkPoints": [ "各軸・シリンダの動作時において、配線・配管の干渉・こすれ・つっぱり・引掛かり及び、メカ的な干渉がないかを実動作を行い目視にて確認を行う◆確認方法 モーター :カップリングを手で回して軸を動かす シリンダー:エアーダウンした状態で手で動かす" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [ "◆作業者安全作業" ], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "配線・配管確認表確認", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "I/Oチェック", "Words": [ "①", "②", "③", "入力側", "出力側", "「表示切替」ボタンで日本語表記に変更できる", "入力側", "出力側" ], "WorkItems": [ "2. 入出力リスト_MD04-C07に基づき各I/Oの動作に問題がないかを確認する", "1. I/Oテスト画面を開く" ], "WorkPoints": [ "下記手順でI/Oテスト画面を開く", "仕様によって確認する項目が変わるため、仕様書と現物と入出力リストを比較すること" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "I/Oチェック", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ヒータ昇温確認①", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、『プログラム』⇒『品種データ』⇒『(仮)Glass_4inch』 を選択する", "【作業手順】Ⅱ、『基板供給』⇒『基板搬送』のプリステージ温度、ボンディングステージ温度を300℃に設定する" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考にボンディングステージ、プリステージの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ヒータ昇温確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ヒータ昇温確認①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ヒータ昇温確認②", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、『プログラム』⇒『部品データ』⇒『(仮)SQ_1.2㎜』 を選択する", "【作業手順】Ⅱ、『実装条件』⇒『ボンディング条件』のUSツール温度を100℃に設定する" ], "WorkItems": [ "2. 下記手順を参考にボンディングヘッドの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ヒータ昇温確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ヒータ昇温確認②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ヒータ昇温確認③", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、『プログラム』⇒『ツールデータ』⇒『(仮)TOOL』 を選択する ※選択中のツールデータに入ってください。", "【作業手順】Ⅱ、『エジェクタ』⇒『エジェクタヘッド1』のヒータ温度を50℃に設定する" ], "WorkItems": [ "3. 下記手順を参考にエジェクダの温度を設定する" ], "WorkPoints": [ "※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると表示がされない場合があります。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ヒータ昇温確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ヒータ昇温確認③", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ヒータ昇温確認④", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『温調テスト』 を選択し設定温度が正しいか確認する", "【作業手順】Ⅱ、ヒータ名を選択し『Heater Control』を押すと温度表示の背景が緑色に変わり温度上昇を開始する" ], "WorkItems": [ "4. 下記手順を参考に昇温確認を行う", "5. 正常な昇温が確認されたら上記と同じようにヒータ名を選択し『Heater Control』を押しヒータをOFFさせる" ], "WorkPoints": [ "※パワーがONになっている場合は設定終了時に自動でヒータが昇温開始しします。", "エラーが起きた場合はヒータ、温度ヒューズの配線やコネクタを確認し不具合が見当たらない場合はPFSC設計まで連絡して下さい" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ヒータ昇温確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ヒータ昇温確認④", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ヒータステージ温度分布確認①", "Words": [ "90 mm", "90 mm", "P/S測定参考", "B/S測定参考", "P/S、B/S測定ポイント" ], "WorkItems": [ "1. P/S、B/Sのヒータを300℃に昇温させ2時間以上設定温度で放置する", "2. 下記を参考にP/SとB/Sの温度分布を測定する" ], "WorkPoints": [ "昇温方法はステーション検査書の前項目【ステージ慣らし昇温】を参考にして下さい", "B/Sは①③⑦⑨測定時にジャッキ部分は避けること" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ヒータステージ温度分布確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ヒータステージ温度分布確認①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "キャリブレーションデータ確認", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine_data』の『編集』に入る", "2. 『キャリブレーション』⇒『認識設定』の編集を可能な状態にし全項目を【しない】に設定する", "4. 『確定』で保存する", "3. 『キャリブレーション』⇒『位置ずれ量』の編集を可能な状態にし全項目の設定値を【0.000】にする" ], "WorkPoints": [ "編集終了後のロックを忘れずに", "編集終了後のロックを忘れずに" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:キャリブレーションデータ確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "キャリブレーションデータ確認", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "数値:0設定:OFF", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッドY軸位置設定", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions_ Data』の『編集』に入り『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の編集可能にする", "2. 下記を参考にカメラ位置に合った数値を入力する", "3. 編集をロックし『確定』で保存する" ], "WorkPoints": [ "編集ロック", "カメラ位置100㎜:100カメラ位置120㎜:120", "カメラ位置100㎜:234.5カメラ位置120㎜:254.5" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッドY軸位置設定" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッドY軸位置設定", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従い入力する", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ステージ退避位置入力", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "①", "②", "③" ], "WorkItems": [ "1. ステージ退避位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングステージ」-「USツールメンテナンス時ステージ退避位置XY」:100mm" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ステージ退避位置入力", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:100㎜Y:100㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "USツール基準長さ入力", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "①", "②", "③" ], "WorkItems": [ "1. USツール基準長さが指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングヘッド」-「USツール基準長さ」:実際に使用している治具の寸法を入力する" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "荷重校正用治具", "Size": "-", "Other": "FM-3131" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "USツール基準長さ入力", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "使用するFM-3131の長さを入力", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力", "Words": [ "『フリップ受渡し位置反転θ』に【+90.000°】を、『ダイピックアップ反転θ』に【-90.000°】を入力する" ], "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る", "3. 『フリップ受渡し位置反転θ』に【+90.000°】を、『ダイピックアップ反転θ』に【-90.000°】を入力する", "2. 『ベーシックマシン』⇒『フリップ動作設定』に入る" ], "WorkPoints": [ "通常は数値固定ですが、別の数値入力の際は必ず上向き時のストッパーガイドと下向き時のブレ防止ガイドの位置を再調整が必要になります。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従い入力する", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハ基準位置確認", "Words": [ "【確認手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する。Ⅲ、下図を参考にデフォルト値の確認を行う。 ※基本的には固定値ですが正確な値が必要な場合はティーチして下さい。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ基準位置の確認を行う" ], "WorkPoints": [ "固定値" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ基準位置確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ウエハ基準位置確認", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:120㎜Y:225㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "①", "②", "③" ], "WorkItems": [ "1. ウエハ交換位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ウエハーユニット」-「AWC」-「交換位置XY」:0mm" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "スケール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:0㎜Y:0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "オフセット値入力確認", "Words": [ "Ⅰ、 『プログラム』⇒『品種データ』で品種を選択⇒『編集』に入るⅡ、『基板』⇒『基板寸法』⇒『基板高さオフセット』⇒設定値:0.000mmである事を確認する", "Ⅰ、 『生産』⇒『機種切替』⇒『ティーチング』を選択するⅡ、各ノズルのX/Y/θ/Zのオフセット(現在値)が0.000mmである事を確認する", "Ⅰ、 『生産』⇒『機種切替』⇒『位置補正』に入るⅡ、全品種/品種別共に0.000mmであることを確認する", "《入力例》・・・絶対値Xに【+0.002】が入っている場合①Xの相対値に逆数【-0.002】を入力②『確定』を押し反映" ], "WorkItems": [ "1.基板高さオフセット値入力確認", "2. ノズルオフセット値入力確認", "3. ボンディングオフセット値入力確認" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:オフセット値入力確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "オフセット値入力確認", "QualityItem": "オフセット値", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "オフセット値:0.000の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "全軸原点復帰", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『Tools』⇒『パワー制御』に入り『全軸原点復帰』を行う" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:全軸原点復帰" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "全軸原点復帰", "QualityItem": "原点確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "原点復帰ができること", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "スピコン調整", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』を選択する", "2. 動作させる軸を選択し『動作回数設定』、『ピッチ時間』を入力して『開始』を押す", "3. 2往復目以降にON、OFF動作時間を確認し規格外ならスピコンを調整する" ], "WorkPoints": [ "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事", "動作回数:3~無限ピッチ時間:1.00S", "ON、OFF動作時間", "※LD・ULD2連マガジン切替調整時は上向き固定で下側のみで調整", "キット組で4回転固定" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:スピコン調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "スピコン調整", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "架台レベル出し最終調整", "Words": [], "WorkItems": [ "1. ボンディングステージを右奥に移動させ基板XYテーブルのレール上面でレベル出しを行う" ], "WorkPoints": [ "0.04㎜/m以下(通常使用の水準器2目盛り分【0.02/目盛】)", "レール上面に水準器をセットしレベル出しを行う" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:架台レベル出し最終調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "水準器", "Size": "0.02㎜/目盛", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "スパナ", "Size": "56㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27" ] }
[ { "WorkName": "架台レベル出し最終調整", "QualityItem": "水準確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "水準器", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.04㎜以下(2目盛り以内)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "B/S平面調整", "Words": [], "WorkItems": [ "1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する", "2. B/Dステージの平面度を測定し規格外であれば調整する", "3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。" ], "WorkPoints": [ "平面調整時に変化する可能性があるのでここでの検査書への数値記入は行いません。", "ステージ基準D-PINを測定する", "㉘を調整機構の横にセットしその上を測定する", "測定ポイント", "平面調整治具:FM-2748", "規格外の場合は作業項目1~2を再調整し平行度と平面度の両立を行う", "平行度:20μm/60㎜以下", "平面度:10μm以下", "高さ各箇所:±15μ以下", "基準ブロック上に㉗を置きブロックゲージの上面を 0’ としてダイヤルゲージをセットする" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:B/S平行・平面度調整", "検査表①:B/S平行・平面度調整", "検査表①:B/S平行・平面度調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "3.5mm", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "18.5mm", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "平面調整治具", "Size": "-", "Other": "FM-2748" }, { "JiguNo": "使用治工具No.30", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "Tレンチ" }, { "JiguNo": "使用治工具No.31", "ToolName": "スパナ", "Size": "10㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26", "使用治工具No.26,27,28,29,30,31", "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "B/S平面調整", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolName": "平面調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "B/S平面調整", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "B/S平面調整", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "B/S平行度調整", "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/60㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "Words": [], "WorkItems": [ "1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する" ], "WorkPoints": [ "基準ブロック上面に㉗を置いてブロックゲージ上面でダイヤルゲージを ”0” にセットする", "基準ブロック", "平面調整治具:FM-2748", "各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下", "B/Dの位置が Y=0㎜、X=50㎜ の位置で基準ブロックを測定し、①~⑥をB/Sを動かして測定する", "ブロックゲージ19㎜を置いて測定" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ツール研磨ユニット組付け&平面度調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "3.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "19㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "治具", "Size": "-", "Other": "FM-2748" }, { "JiguNo": "使用治工具No.30", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "Tレンチ" }, { "JiguNo": "使用治工具No.31", "ToolName": "スパナ", "Size": "10㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28,29,30,31" ] }
[ { "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-2748", "ToolName": "平面調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "Words": [ "0'", "②", "③", "④", "【ツール取付け面 平面度規格】:5μm/20mm以下", "【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ボンディングステージにテコ式ダイヤルゲージをセットする。Ⅲ、ボンディングヘッドをボンディングカメラの下に移動させる。 ※ヘッドY軸座標:234.5㎜Ⅳ、ボンディングステージのX・Y軸を動作させ左図のポイントを測定する。 ※測定時にノズル位置決PINに干渉しないように注意すること。 PINを取り外して測定してもよい。PINを元に戻すことを忘れずに。Ⅴ、規格ないなら検査書に記入し規格外なら次項目へ進み調整する。", "作業者側", "①X方向調整手順Ⅰ、固定ボルトを緩める。Ⅱ、調整ボルトが押し調整のみに有効の為、【視野A側】が低い場合は 調整ボルトを緩めて【視野A側】を高くして固定ボルトを仮止めする。Ⅲ、調整ボルトを押して平面を調整し固定ボルトを増し締めする。", "視野A", "視野B", "視野C", "視野C", "固定ボルト:4箇所", "調整用押しボルト", "視野A", "視野B" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ツール取付け面の平面度を測定する", "2. 下記手順に従い平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定間隔:20㎜", "ノズル取付け位置決めPIN" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッド平面・平行調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "レンチ", "Size": "1.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "スパナ", "Size": "7㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27", "使用治工具No.26,27,28,29" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ツール取付け面平面度規格】:5μm/20㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整②", "Words": [ "②Y方向調整手順Ⅰ、固定ボルトを緩める。Ⅱ、調整ボルトが押し調整のみに有効の為、【調整用押しボルト側】が低い場合は 調整ボルトを緩めて【調整用押しボルト側】を高くして固定ボルトを仮止めする。Ⅲ、調整ボルトを押して平面を調整し固定ボルトを増し締めする。", "視野C", "視野B", "視野B", "視野C", "固定ボルト:4箇所", "調整用押しボルト", "視野A", "視野A" ], "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整②", "QualityItem": "-", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "-", "Method": "-", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "Words": [ "【ヘッド 平行度規格】:10μm/10mm以下", "【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ヘッドθ軸を原点復帰させる。Ⅲ、ボンディングヘッドに治具を取付け側面にてこ式ダイヤルゲージをセットする。Ⅳ、ボンディングヘッドをボンディングカメラの下に移動させる。 ※ヘッドY軸座標:234.5㎜Ⅴ、ヘッドY軸を動作させ右図のポイントを測定する。(ステージ側を動作可)Ⅵ、規格ないなら検査書に記入し規格外なら次項目へ進み調整する。Ⅶ、20μ/10㎜以内になるように下図調整ボルトで調整する。Ⅷ、10μ/10㎜以内になるようにヘッドθ軸を動作させその数値を 原点オフセットへ入力する。Ⅸ、ヘッドθ軸を原点復帰させ再度測定し規格に収まっていることを確認する。Ⅹ、問題なければ平行度とオフセット量を検査書に記入する。規格外の場合は 再度調整を行う。", "調整用押しボルト" ], "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドθ軸の原点オフセットを\"0\"にする", "2. 下記手順に従い平行度を調整する" ], "WorkPoints": [ "原点オフセットを\"0\"にする", "原点オフセットを入力する", "測定ポイント", "軽く緩めて回転させて調整※緩め過ぎるとアラームが出る場合があります", "治具:FM-4812" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッド平面・平行調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "レンチ", "Size": "1.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "-", "Other": "FM-4812" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28,29" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整④", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、設備カバーを開き、モーターの励磁をオフした状態にするⅡ、『Tools』 - 『軸表示』 で 「ボンディングヘッド(VCM)θ軸」の座標を見ながら 手でイナーシャブロックを回しながらメカストッパーがプラス マイナスそれぞれで 11.5°以上になるように調整する", "【作業手順】Ⅰ、設備カバーを開き、モーターの励磁をオフした状態にするⅡ、『Tools』 - 『軸表示』 で 「ボンディングヘッド(VCM)θ軸」の座標を見ながら 手で軸座標が「+11±0.5°」の範囲でオーバーランセンサを遮光できるようにセンサブラケットの位置を調整する", "イナーシャブロック" ], "WorkItems": [ "2. プラス側オーバーランセンサ位置を調整する", "1. 下記手順にてメカストッパーブラケット位置を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッド平面・平行調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "2.5㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26", "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整④", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "Words": [ "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10mm以下", "キャリブレーション認識用ガラス", "固定ボルト(1/2)", "固定ボルト(2/2)", "【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、ピックアップ反転軸を+90°に移動させる。Ⅲ、ピックアップヘッドに治具(FM-4811)を取付ける。Ⅳ、ピックアップヘッドに平面平行調整治具を取付ける。Ⅴ、ボンディングステージからてこ式ダイヤルゲージを出し治具の側面にセットする。 ※下図参考(治具は正面から見て手前と左側面は精度が出ています。)Ⅵ、ボンディングステージを動作させ測定する。Ⅶ、測定値が規格内であれば検査書に記入し完了。Ⅷ、測定値が規格外であれば、下図の固定ボルトを緩めて調整する。 ※調整する場合は、オイル垂れ防止のシリコンゴムを塗りなおす必要が あります。詳細はページ下のキット組立の資料を参考にして下さい。", "※再調整時注意事項(キット組立手順書より抜粋)", "挿し込む", "シリコンゴム(KE45W)塗布 ゴマ粒:1" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップヘッドの平行度を調整する", "◆2. 再調整時はシリコンゴムを塗布する" ], "WorkPoints": [ "再調整の場合はキャリブレーション認識用ガラスを取外してください", "ダイヤルゲージを側面にセットする", "吸着穴に入らないように注意", "奥(段差)まできちんと押し込み、はみ出たシリコンゴムを拭取る", "治具:FM-4811" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッド平行調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [ "◆作業者安全作業" ], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "-", "Other": "FM-4811" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "シリコンゴム", "Size": "-", "Other": "KE45W" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "レンチ", "Size": "2.5㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,29", "使用治工具No.28,29" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッド平行調整", "QualityItem": "塗布量", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示箇所に塗布ゴマ粒:1", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "Words": [ "①Y方向調整手順Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ピックアップヘッド反転θ軸を(+)方向に90°移動させる。Ⅲ、ピックアップヘッドに治具(FM-4811)を取付ける。Ⅳ、上記測定ポイントのY方向(0'⇔②)を測定する。Ⅴ、10μ以内に入るように軸動作で移動させる。Ⅵ、Ⅳででた軸座標から+90°を引いた値をメモする。 例) (調整後軸座標+91.87°)-(設計値+90°)=+1.87°Ⅶ、Ⅴででた数値を【作業項目1】の原点オフセットに入力する。Ⅷ、『モータテスト』でピックアップヘッド反転θ軸を原点復帰させる。Ⅸ、+90°に軸を移動させⅢを再測定し10μ以内で あることを確認する。 ※ユニット段階での原点調整では±1.5°程度ばらつきます。 2°以上ある場合は原点出しが指示通りできていません。", "0'", "②", "③", "④", "測定間隔10mm", "ノズル取付け位置決めPIN", "X方向", "Y方向" ], "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の『編集』に入り、ピックアップ反転θ軸の原点オフセットが \"0\" であることを確認する", "2. 下記手順に従い、上向き時(+90°)で平面になるように調整する" ], "WorkPoints": [ "てこ式ダイヤルゲージをボンディングステージにセットして測定する", "治具:FM-4811" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "-", "Other": "FM-4811" } ], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "ピックアップヘッド平面調整治具", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "Words": [ "②X方向調整手順Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ピックアップヘッド反転θ軸を(+)方向に90°移動させる。Ⅲ、上記測定ポイントのY方向(0'⇔④)を測定する。Ⅳ、上写真の調整ボルトを緩め10μ以内に入るように調整する。 ボルトの間にあるPINを支点に回転します。 ③最終測定Ⅰ、(0'~④)を測定し規格内であれば検査書に数値を記入する。Ⅱ、規格外であれば再調整。 ※Y方向は必ず+90°で平面になるように 原点オフセット入力すること", "0'", "②", "③", "④", "測定間隔10mm", "ノズル取付け位置決めPIN", "X方向", "Y方向", "調整手順Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ピックアップヘッド反転θ軸を(+)方向に90°移動させる。Ⅲ、上写真の変芯ストッパーとストッパーPINの間に20μのシムを置く。Ⅳ、変芯ストッパーを調整し軽くシムを挟み込んで変芯ストッパーを固定する。 ※20μのシムが不可無く通る程度に調整Ⅴ、40μのシムが通ら無い事を確認する。 ※強引に通さないこと(隙間:20μ~40μ未満)" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、上向き時のストッパーを調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "変芯ストッパー", "ストッパーPIN", "変芯ストッパーを調整し隙間を20μ~40μにする", "治具:FM-4811", "平面度:10μ/10㎜以下" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッド平面調整(上向き)" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "-", "Other": "FM-4811" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "レンチ", "Size": "2.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.02㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.30", "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.04㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28,29,30" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μ/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②", "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "シックネスゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:20μが通り40μが止る", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "Words": [ "下向き時平面度測定手順Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ピックアップヘッド反転θ軸を(-)方向に90°移動させる。Ⅲ、ピックアップヘッドZ軸を-5㎜に移動 ※カムの影響考慮と、後からブレ防止ガイドを効かせる為 ※この段階では右図のブレ防止ガイドに隙間があることⅣ、上記測定ポイントの(0'⇔④)を測定する。 ※インターロックが有効な為、Z軸の高さを-5㎜から0㎜に戻して からXYを移動させて再びZ軸を-5㎜に移動させて測定Ⅴ、Ⅳで測定した値を検査書に記入する。(参考値)Ⅵ、Z軸が-5㎜の状態で下図のようにてこ式ダイヤルゲージをブレ防止 ガイドの後にセットする。Ⅶ、変芯ガイドを5~10μ当付ける ※必ずZ軸を下げてから調整することⅧ、Ⅳ・Ⅴ同様に再測定し検査書に記入する。(参考値) ※Ⅳに比べて20μ以上悪化する場合は当て過ぎ又は測定ミス が考えられます。", "0'", "②", "③", "④", "測定間隔10mm", "ノズル取付け位置決めPIN", "X方向", "Y方向", "正面側(上からの図)" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、下向き時の平面度を測定する" ], "WorkPoints": [ "上向きの調整とセットで引き続き行うこと。単独では調整しないで下さい", "てこ式ダイヤルゲージをウエハXYテーブルにセットして測定する", "調整機構が無い為、参考値ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "ブレ防止ガイド", "変芯ガイド", "変芯ガイド固定用セットビス" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッド平面調整(下向き)" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "Size": "-", "Other": "FM-4811" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "レンチ", "Size": "1.5㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4811", "ToolName": "ピックアップヘッド平面調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "Words": [ "【平面度規格】:20μm以下", "【①平面度調整作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、ウエハXYテーブルの中心付近をエジェクタヘッドの位置まで移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』でエジェクタヘッドを上昇させる。Ⅳ、エジェクタヘッド高さ・平面度調整治具(FM-4809)をダイエジェクタに取付ける。Ⅴ、治具上面が測定できるようにウエハXYテーブルからてこ式ダイヤルゲージをセットする。Ⅵ、右図の(0'~④)を測定する。Ⅶ、測定値が規格内であれば検査書に記入し完了。Ⅷ、測定値が規格外であれば、下図の固定ボルトを緩めて調整ボルトで調整する。", "0'", "②", "③", "④", "測定間隔15mm", "調整セットビス+ロックナット(4ヵ所)", "固定ボルト(2ヵ所)", "視野A", "視野A", "【②高さ調整作業手順】Ⅰ、平面に引き続き治具を取付けたまま『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、エジェクタヘッドを『シリンダテスト』で上昇させる。Ⅲ、平面測定時のデータで一番高いポイントにてこ式ダイヤルゲージをセットする。(下図参考)Ⅳ、エジェクタヘッドを下降させる。Ⅴ、ウエハXYテーブルを動作させてエキスパンドリング上面の測定ポイントを測定する。(下図参考)Ⅵ、一番高いポイントでダイヤルゲージの針を0'(基準)にセットする。Ⅶ、ウエハXYテーブルをエジェクタヘッドが上昇できる位置まで移動させる。Ⅷ、エジェクタヘッドを上昇させ測定し、規格内であれば検査書に記入。Ⅸ、測定値が規格外であれば、下図のストッパーで調整する。(右図参考) ※調整代が0.5㎜を超える場合はショックアブソーバーも調整すること", "視野B", "視野B", "【高さ規格】:+10μ~ +40μm以内" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エジェクタヘッドの高さと平面度を調整する" ], "WorkPoints": [ "エジェクタヘッド上面の一番高いポイントにダイヤルゲージをセット", "エキスパンドリングを数箇所測定し一番高いポイントでダイヤルゲージを 0' に合わせる", "エジェクタヘッド上面を測定し検査書に記入", "上昇時ストッパー", "上昇時ショックアブソーバー", "治具:FM-4809" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:エジェクタヘッド高さ・平行度調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "スパナ", "Size": "7㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "エジェクターヘッド高さ治具", "Size": "2㎜", "Other": "FM-4809" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28,29,30" ] }
[ { "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolName": "エジェクターヘッド高さ治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:20μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整", "QualityItem": "高さ", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "高さ:+10μ~+40μm", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整", "Words": [ "【平行度規格】:20μm/150㎜以下", "【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、下図を参考にエキスパンド軸の側面にてこ式ダイヤルゲージをセットする。Ⅲ、ウエハY軸を動作させ測定する。Ⅳ、規格内であれば検査書に記入し完了。Ⅴ、規格外の場合はウエハθ軸(AWC)を規格内に収まるように移動させる。Ⅵ、Ⅴで規格内に収まった時のウエハθ軸の値をメモする。Ⅶ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Motor Parameter』の編集に入る。Ⅷ、ウエハθ軸(AWC)の原点オフセットにメモした数値を入力する。Ⅸ、ウエハθ軸を原点復帰させ再度測定し規格内なら検査書に記入し完了。 ※規格外ならⅤ~Ⅸを繰り返し行って下さい。", "視野A", "視野A", "ウエハテーブルを動かす" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハθ軸の調整する" ], "WorkPoints": [ "メモした値入力(平行度が規格内の時の座標)", "測定ポイント" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整", "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "シートブロー確認", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『ユニット操作』⇒『ウエハ』⇒『負荷詳細』を選択する", "2. 『シートブローON』を押しヒータパワーを75%に調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ダイヤル", "デジタル表示を75%±0.5%に調整する", "注意:長時間ONさせると温度しすぎて故障します。", "圧力設定、全軸原点復帰が完了している事" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:シートブロー確認" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "シートブロー確認", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "75%±0.5%", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "Words": [ "【平行度規格】:50μm/150㎜以下【平面度規格】:4目盛り以下(0.02㎜/1m水準器使用時)", "【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、ウエハリフタに水準器をセットする。Ⅲ、ウエハXYテーブルからてこ式ダイヤルゲージを出しウエハマガジンX方向規制面にセットする。 (下図参照)Ⅳ、ウエハY軸を動作させウエハリフタの平行度を測定する。Ⅴ、平面度(水準器)と平行度の規格が両立するように調整ボルトで調整する。 ※平行のみの場合、リフタの大元から振ることができますが、ウエハの受渡し 位置Yが規格外になる可能性があります。Ⅶ、検査書に数値を記入する。", "ウエハテーブルを動かす", "裏面" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセットリフタの平面・平行を調整する" ], "WorkPoints": [ "測定ポイント", "調整ボルト", "ウエハマガジンX方向規制面" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハカセットリフター平面・平行調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "水準器", "Size": "2/100", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "スパナ", "Size": "17㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "スパナ", "Size": "19㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28,29" ] }
[ { "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:50μm/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整", "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "水準器", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.08㎜以下(4目盛り以下)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ①", "Words": [ "次ページに続く" ], "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する", "2. 『ウエハリフタ基準位置Z測定用治具厚み』に【15.000㎜】を入力する", "3. 『ウエハリフタ基準位置Z』を選択し『ティーチ』に入り初期設定位置に移動させる", "4. エキスパンドにウエハリングを入れてリフタにブロックゲージを載せる" ], "WorkPoints": [ "ブロックゲージ15mmがない場合は使用する厚みを入力し次項へ進む", "【15.000】を入力する※使用するブロックゲージ厚み入力", "初期設定位置へ移動", "ウエハリング(Incサイズはエキスパンドに合うものを選択)", "ブロックゲージ:15㎜(治具厚みに入力した厚さのもの)" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "Words": [ "裏面" ], "WorkItems": [ "1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする", "2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する" ], "WorkPoints": [ "移動レート選択", "高さティーチ", "リフタを上下に調整し隙間がなくなる位置をティーチ", "『確認』で変更後数値の確認", "『確定』で反映させる" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハリフタ基準位置Z" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "15㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカセット位置調整", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、下図を参考に左側と奥側のガイドをフリーにする。Ⅱ、ウエハカセット(ウエハマガジン同じ)をウエハリフタに乗せる。Ⅲ、ウエハカセットを右側に押し当てた状態で手前のガイドのバカ穴中央になるように寄せて増し締めする。Ⅳ、ウエハカセットがガタ無くスムーズに出し入れ出来る様に、左側と奥側のガイドを寄せて増し締めする。Ⅴ、最終確認し完了。", "②押し当てる", "③", "①", "①" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハカセット位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "ウエハカセットに面当てした状態で長穴中央で組付け", "左側、奥側のガイドをフリーにする" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハカセット位置調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハカセット位置調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、品種データはTEG実装用のデータで行う。Ⅱ、ウエハリフタにウエハカセットをセットする。(ウエハリング無し)Ⅲ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する。Ⅳ、『交換位置Y』のティーチに入る。Ⅴ、初期値に移動させ移動レートを選択する。Ⅵ、300㎜スケールをエキスパンド手前に当付けウエハカセットの手前側と一致する所に移動させる。(下図参照)Ⅶ、『確認』を押し数値が反映されていることを確認し、『確定』で保存する。Ⅷ、退避させ終了。", "押し当てる" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハ交換位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "レート選択", "初期値へ移動", "ティーチに入る", "300㎜スケール", "手前側の位置を合わせる", "ティーチ反映", "ティーチ確認", "ティーチ確定", "退避させる" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハ交換位置ティーチ" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "スケール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整①", "Words": [ "【①フレーム取り出し位置ティーチ作業手順】Ⅰ、Ⅲ、リングを収納したウエハカセットをセットする。Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する。Ⅲ、『フレーム搬送 フレーム取り出し位置』を選択しティーチに入る。Ⅳ、初期値へ移動させ移動レートを選択する。Ⅴ、ウエハカセットの左側にリングを当てつけた状態で、チャックとのすき間が1mmになる座標でティーチを行う", "トランスファーを動かす", "次ページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、エハフレームトランスファー基準位置を調整する" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "レート選択", "初期値へ移動", "隙間1mm", "ウエハカセット", "ティーチ確認", "ティーチ反映", "ティーチ確定" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハフレームトランスファー基準位置調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "スケール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整②", "Words": [ "【②フレーム受取/収納位置ティーチ作業手順】Ⅰ、『フレーム搬送 フレーム受取/収納位置』を選択しティーチに入る。 ※以降の操作は前項『フレーム搬送 フレーム取り出し位置』同様の手順で行う。Ⅱ、マガジンX方向規制面とトランスファー爪の先端が一致する位置にトランスファーを移動させる。Ⅲ、移動レートを【0.6㎜】にしてリフタ側に4回動作させる。 ※面取りも考慮し2.4㎜リフタ側に押し込んだ位置をティーチ(最終はユーザーマガジンに最適な状態にティーチ)Ⅳ、『確認』⇒『確定』を押し保存する。", "トランスファーを動かす", "次ページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "マガジンX方向規制面(300㎜スケール)", "爪先端とマガジンX方向規制面が一致した値から2.4㎜押し込む(面取り分も考慮)" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "スケール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整③", "Words": [ "【③6インチフレーム着脱位置ティーチ作業手順】・・・・※仕様が8インチの場合は8インチフレーム着脱位置をティーチⅠ、『フレーム搬送 6インチフレーム着脱位置』を選択しティーチに入る。 ※以降の操作は前項『フレーム搬送 フレーム取り出し位置』同様の手順で行う。Ⅱ、初期値移動後、ウエハリングをエキスパンドに挿入する。Ⅲ、ウエハリングをエキスパンドの奥に当てた状態でトランスファー爪の先端側の引っ掛かり部が ウエハリングに当たる位置に移動させる。Ⅳ、移動レートを【0.6㎜】にして原点側(正面からみて左)に2回動作させる。 ※収納時の掴み損ねを考慮し1.2㎜の隙間を持たせてティーチ(最終はユーザーマガジンに最適な状態にティーチ)Ⅳ、『確認』⇒『確定』を押し保存する。", "トランスファーを動かす", "【④その他】Ⅰ、『フレーム搬送 フレーム押し込み退避位置』に【-304.000】を入力する。・・・・固定値Ⅱ、『フレーム搬送 リフター移動退避位置』に【-304.000】を入力する。・・・・固定値Ⅲ、『カセット サイズ』に6インチ(仕様により8インチ有り)を選択する。 ※仕様により選択" ], "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "ウエハリング(6インチ)を奥まで挿入 ※爪に当たるのに注意", "爪の引っ掛かりとウエハリングの隙間:1.2㎜" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハフレームトランスファー基準位置調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "1.2㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整③", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハリング検出センサ位置調整", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、品種データはTEG実装用のデータで行う。Ⅱ、ウエハカセットの1段目、最上段と中間にウエハリングを入れリフタにセットする。(手順書では1・13・25段目)Ⅲ、『生産』⇒『ユニット』⇒『ウエハ』⇒『フレーム交換』に入り『NO,1』を選択し『リフター移動』を押して1段目に移動させる。Ⅳ、1段目のウエハリングを検出するようにセンサを調整する。(下図参照)Ⅴ、『フレーム有無確認』を押し全段のウエハリングの有無検出をさせる。Ⅵ、画面でウエハリングを検出した段を確認し、Ⅱでセットした段と一致していることを確認する。Ⅶ、一致していない場合はセンサの調整が悪い為、再度調整を行う。 ※ツールデータ、品種データの設定が誤っている可能性もあるので注意が必要です。", "※検出していない段はグレーにマスクがかかります" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハリング検出センサ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ティーチに入る", "No,1を選択し移動させる", "ウエハリングを1段目、最上段、中間にセットする", "リング検出センサ", "上下調整(※6インチ、8インチ、特殊によって取付け位置が左右に変わります)", "フレーム有無確認", "1段目:有り", "上下移動させて確認", "13段目:有り", "25段目:有り" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハリング検出センサ位置調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ウエハリング検出センサ位置調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハフレームセット確認センサ調整", "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、品種データはTEG実装用のデータで行う。Ⅱ、『生産』⇒『ユニット』⇒『ウエハ』⇒『フレーム交換』の『負荷詳細』に入る。Ⅲ、『交換位置』を押し交換位置に移動させ『エキスパンド開』を押しエキスパンドを開く。Ⅳ、ウエハリング(ブルーシート付き)を手で奥まで挿入する。Ⅴ、ウエハフレームセット確認センサを確認し、右側(L_ON)、左側(D_ON)共にON状態になっていること。(下図参照)Ⅵ、ウエハリングを1.5~2㎜左にずらした所で左右のセンサがOFF状態になっていること。(下図参照・・・左側のみOFFの例) ※左右同時にOFFさせることは困難なので早くOFFする方が上記の規格に入っていること。Ⅶ、Ⅴ・Ⅵを両方満たすように再度確認し満たしていない場合は調整する。Ⅷ、ウエハリングを取り除き、『戻る』で退避させて終了。", "例)ウエハリングを1.5~2mm左にずらした時(異常状態) 上段(左側センサ)がOFFしている状態", "視野A", "視野A", "ウエハリングを左に1.5~2㎜ずらす。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ウエハフレームセット確認センサの調整を行う" ], "WorkPoints": [ "エキスパンドを開く", "交換位置移動", "負荷詳細に入る", "ウエハリングを奥まで挿入", "ウエハフレームセット確認センサ", "【リング無し正常状態】上段:D_ON(右側)ランプ消灯下段:L_ON(左側)ランプ点灯", "両方もしくは片方のセンサがOFFすること", "『戻る』を押し退避して終了" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ウエハフレームセット確認センサ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ウエハフレームセット確認センサ調整", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "正常な事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハ飛び出し検出センサ調整", "Words": [ "①", "②", "③", "ウエハフレーム飛び出し検出B0404" ], "WorkItems": [ "3. ウエハ飛び出し検出センサが指示通り動作することを確認する", "2. ウエハ飛び出し検出センサのしきい値を設定する", "1. 全段にウエハを詰めた状態でウエハマガジンをマガジンリフタへセットする" ], "WorkPoints": [ "ウエハ飛び出し検出センサが全投光した状態のアンプの値+1000をしきい値に設定する例) 全投光状態で「9999」の場合 → (9999/2)+1000 = 「6000」に設定", "同様にセンサ光がウエハシート部分を透過しても飛び出し検出できることを確認する", "ウエハリングを手でマガジン内から飛び出させて指示通りセンサが検出できることを確認する", "リフタに指示通りセットできていることを確認する 傾きなどないこと", "DISCO製マガジンを使用する場合、25段中1段飛ばしで12段にセットすること" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ウエハ飛び出し検出センサ調整", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "Words": [ "②", "①", "③", "④", "ウエハフレームトランスファー軸の中速速度を「300」に変更する", "①", "②", "③", "⑤", "④", "④でマガジン段を選択して⑤で取り出し、収納を実施" ], "WorkItems": [ "4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す", "2. ウエハカセットにウエハフラットリングをセットしウエハリフタに搭載する(サイズは仕様に従う)", "1. ウエハトランスファーX軸の軸速度を変更する", "3. ユニット操作画面でウエハーフレームの搬送動作確認を行う" ], "WorkPoints": [ "全段で搬送動作に問題がないことを確認する", "100mm/sへ変更する", "忘れずに作業すること!", "仕様によって6inchと8inchを選択して使用する", "実生産と同じ速度で搬送確認を行うため速度を変更する 100→300mm/s" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:製品検査" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ウエハカセット", "Size": "6inch", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ウエハカセット", "Size": "8inch", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "ウエハフラットリング", "Size": "6inch", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "ウエハフラットリング", "Size": "8inch", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28,29" ] }
[ { "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ウエハカセット6inch", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ウエハカセット8inch", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ウエハフレーム6inch", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ウエハフレーム8inch", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "検査書に従う", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整①", "Words": [ "【基準ブロック高さ規格】:8㎜±0.1㎜以下" ], "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『自動生産』⇒『プロセスモニター』⇒『USツール管理』に入り治具ツールを装着する", "2. 『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』の『ボンディングノズル基準ブロックZ測定』を実行する" ], "WorkPoints": [ "【治具】が選択されていなければ『USツール選択』に入る", "治具を選択し取付ける", "規格内なら検査書に数値を記入し、規格外なら次項にて再調整", "規格内なら確定で保存する", "治具:FM-3131", "治具:FCX用(こちらでも可)" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "2.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "荷重校正用ツール", "Size": "-", "Other": "FM-3131" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整①", "QualityItem": "高さ", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolName": "荷重校正用ツール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "【基準ブロック高さ規格】:8㎜±0.1㎜以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整②", "Words": [], "WorkItems": [ "2. 『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の【基準ブロックステージオフセットX】の位置にステージを移動させる(モーターテストにて)", "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る", "3. カバーを開けてサーボOFFの状態にし治具ツールの中心が基準ブロックの上に来るようにヘッドY軸を手で移動させる", "4. 『Tools』⇒『軸表示』を開き、ヘッドZ軸を上から手で軽く基準ブロックに押し当て【ボンディングヘッドZ軸(VCM)】の値を確認する" ], "WorkPoints": [ "スプラインシャフトを軽く押す" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整②", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整③", "Words": [ "【-7.900mm以上】・・・・・・・・・・軸情報を確認しながらリニアセンサ取付けを差分下げる【-7.9mm ~ -8.1mm】・・・調整完了、検査書に数値記入【-8.100mm以下】・・・・・・・・・・軸情報を確認しながらリニアセンサ取付けを差分上げる", "【作業手順】Ⅰ、調整ボルトを緩める。Ⅱ、前項の測定結果(表示)を元に差分をリニアセンサをスライドさせて調整する。Ⅲ、増し締め後、再度確認し規格内であることを確認する。Ⅳ、【ボンディングノズル基準ブロックZ測定】を行い、検査書に数値を記入、 『確定』で保存する。" ], "WorkItems": [ "1. 規格外の場合は下記を参考に調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "当付けままでスライドさせて隙間確保", "-8.1㎜以下の場合", "-7.9㎜以上の場合", "㉗を使用して隙間確保" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "2.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ギャップ調整治具", "Size": "-", "Other": "FM-3177" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整③", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "FM-3177", "ToolName": "ギャップ調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①", "Words": [ "Ⅰ、ピックアップヘッドに治具(FM-2750)を取付ける 『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』 ⇒『ノズル交換位置』を選択し治具を取付ける", "ピックアップヘッド", "Ⅰ、軸移動 『ベーシックマシン』⇒『ピックアップヘッド』⇒『ピックアップヘッドタッチ検出オフセット』⇒『レ』⇒『ティーチ』を選択し初期位置へ移動する", "ダイヤルゲージ", "エジェクター", "Ⅱ、ダイヤルゲージをピックアップノズルのツバにセットするⅢ、ピックアップノズル先端がエジェクターに接地する高さを見つける 『移動レート』⇒レートを選択する⇒『↑』⇒『↓』で接地する値を見つけるⅣ、『次へ』を押して次へ進む" ], "WorkItems": [ "1.JIG ノズル取付", "2. エジェクター接地位置確認" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具のツバにダイヤルゲージをセットしエジェクタに接地する高さに移動させる", "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "Size": "-", "Other": "FM-2750" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26.27" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整②", "Words": [ "Ⅰ、ピックアップヘッドからダイヤルゲージを取り外すⅡ、『自動計測』を選択し計測を実施するⅢ、『確認』を選択し変更後の値が0.5±0.1mm以内である事を確認する ※規格外の場合はドグを調整し再測定を行う(センサ調整機構はありません)Ⅳ、『確定』を選択し保存する", "再調整方法" ], "WorkItems": [ "1.タッチ検出オフセット自動計測" ], "WorkPoints": [ "ドグ", "ドグが変形している可能性があります。オフセットが規格値の範囲外の場合は少し下向きに調整して下さい。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッドタッチ検出オフセット調整(下側)" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "1.5㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "Words": [ "【調整手順】※タッチ検出センサ(下側)の調整に引き続き行うことⅠ、ボンディングヘッドに治具(FM-3131)を取付けるⅡ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』⇒『USツール選択』を押すⅢ、【JIG】が選択されていることを確認し『全長の寸法』が31㎜であることを確認する ※治具が選択されてない場合は『取外し』、『取付け』作業を行ってください" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いタッチ検出センサ(上側)の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "『USツール選択』を押す", "『JIG』の編集に入る", "治具:FM-3131", "『A 全長』が31㎜であることを確認する", "【JIG】以外が取付いている場合は『取外し』、『取付け』作業を行って下さい" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "Size": "-", "Other": "FM-2750" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ノズル高さ基準出し荷重測定治具", "Size": "-", "Other": "FM-3131" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1001", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolName": "ノズル高さ基準出し荷重測定治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整②", "Words": [ "ダイヤルゲージ", "ピックアップノズル先端がJIGホーンに接地する値を見つける", "【確認手順】・・・・続きⅠ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ベーシックマシン』⇒『ピックアップヘッド』を選択し『ピックアップヘッドタッチ検出(上側)オフセット』の『ティーチ』に入る。Ⅲ、『退避動作』⇒『初期値へ移動』をさせる。Ⅳ、『移動レート』でレート変更を行い、ピックアップに取付けた治具とボンディングに取付けた治具が接触する位置に移動させる。Ⅴ、ダイヤルゲージをピックアップヘッドに着けた治具のツバにセットし、治具同士が接地する高さに移動させて『次へ』を押す。" ], "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-3131", "治具:FM-2750", "先に0.3㎜押し込みセンサ位置を調整し0.3㎜戻すと簡単です" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整③", "Words": [ "【調整手順】・・・・続きⅠ、ダイヤルゲージを取外す。Ⅱ、『自動計測』を選択し計測を実施する。Ⅲ、『確認』を選択し変更後の値が0.2mm~0.5mm以内である事を確認する。 ※規格外の場合はセンサを調整し再度測定を行う。(下記参照)Ⅳ、『確定』を選択し保存する。", "再調整方法" ], "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "ボルトを緩めて上下に調整。オフセットが0.5㎜以上の場合は上向きに調整して下さい。" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッドタッチ検出オフセット調整(上側)" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "2.5㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①", "Words": [ "ピックアップヘッド", "Ⅰ、『生産⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』を選択するⅡ、『交換位置移動』を選択しボンディングヘッドに治具(FM-3131)を取付ける", "Ⅰ、『生産⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』を選択するⅡ、『ノズル交換位置』を選択しピックアップヘッドに治具(FM-2750)を取付ける" ], "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッド高さ測定治具取付", "2. ピックアップヘッド高さ測定治具取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750", "治具:FM-3131" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具(先端φ1.5)", "Size": "-", "Other": "FM-2750" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "荷重測定用ツール2", "Size": "-", "Other": "FM-3131" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26", "使用治工具No.27" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolName": "P/U高さ測定治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolName": "高さ測定用治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ②", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』⇒『ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Z』を選択しティーチするⅡ、ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ 結果の値を確認し規格内であれば『確定』し保存する 規格値:-8±1.0mm以内", "ボンディングヘッド", "ピックアップヘッド", "計測中", "規格値:-8±1.0mm" ], "WorkItems": [ "1.ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "'入力範囲:-8.00±1.0㎜以内", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ①", "Words": [ "Ⅰ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』⇒『ノズル交換位置』を選択しノズルを取付ける", "ピックアップヘッド", "Ⅰ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』⇒『詳細イメージ』を選択するⅡ、『交換位置移動』⇒『1』を選択しエジェクタヘッド(設備手配分)を取付けるⅢ、交換完了に『レ』⇒『確定』する", "エジェクタヘッド" ], "WorkItems": [ "1. ピックアップヘッド高さ測定用治具取付", "2. エジェクタヘッド取付" ], "WorkPoints": [ "治具:FM-2750" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具(先端φ1.5)", "Size": "-", "Other": "FM-2750" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolName": "ノズル高さ基準出し治具(先端φ1.5)", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ②", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』を選択するⅡ、ピックアップヘッドエジェクターヘッド面高さの『測定』を選択しティーチを実施するⅢ、測定結果を確認し『確定』で保存する 規格値:-5.00±0.5mm以内 ※規格外の場合はエジェクタが奥まで挿入されていない可能性があります" ], "WorkItems": [ "1.ピックアップヘッドエジェクターヘッド面高さティーチ実施" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ②", "QualityItem": "ヘッド面高さ", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:-5.00±0.5㎜以内", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップZ軸待機位置ティーチ", "Words": [ "【ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』でに入りピックアップ反転θ軸を-90°に移動させる。Ⅱ、ピックアップZ軸を降ろしてカムとカムフロアが接触するまで移動させる。(少し押し込むまで降ろす)Ⅲ、ダイヤルゲージをピックアップヘッドにセットしピックアップZ軸を上昇させながらカムとカムフロアの接触する位置を探す。Ⅳ、接触する位置から画面の数値上で30μ上に上昇させてZ軸の値を『コピー』する。(メモでも可)Ⅴ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅵ、『ベーシックマシン』⇒『ピックアップヘッド』の『ピックアップZ軸待機位置』に『ペースト』で貼付ける。(メモした値を入力してもよい)Ⅶ、保存して終了。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ピックアップZ軸待機位置をティーチする" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータの『編集』に入る", "『モータテスト』でピックアップヘッドZ軸を-90°へ移動", "ピックアップZ軸を降ろしてティーチ", "コピー機能を使用するかメモをする", "コピーした値をペーストする", "ピックアップθ軸を-90°に移動", "Z軸を降ろして接触位置を見つける" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ピックアップZ軸待機位置ティーチ" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ピックアップZ軸待機位置ティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整①", "Words": [ "【光軸調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入るⅢ、『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の『ボンディングヘッドY軸実装位置』を選択し『ティーチ』に入り初期値へ移動させる。Ⅳ、治具の鏡面がカメラに映るように軸移動と光量を調整する。Ⅴ、鏡面が映った状態で同軸照明の光量を【28】にする。・・・・LED照明やカメラ倍率等が変更になった場合は別途確認Ⅵ、治具の鏡面が目視できれば調整の必要はありません。Ⅶ、目視できない場合は光軸が合っていませんので再調整を行って下さい。(次ページ参照)", "鏡面", "次ページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ヒータがOFFの時に調整します", "初期値へ移動させる", "ティーチに入る", "ポジションデータの編集に入る", "同軸照明の光量を上げて治具が確認できるようにする", "ボンディングステージを移動", "同軸照明の光量【28】で目視確認", "目視OKなら『キャンセル』で抜けて終了", "目視NGの場合", "治具:FM-4813" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "スケール", "Size": "300㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "B/S芯出し治具", "Size": "-", "Other": "FM-4813" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26.27" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolName": "B/S芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整②", "Words": [ "※再調整方法", "視野A", "視野A", "視野B", "視野B" ], "WorkItems": [ "1. 調整方法の説明" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Y方向傾き:緩めて中央のピン基準でθを振る", "X方向傾き:割り部を緩めてθを振る", "例)Y方向を調整した場合の見え方" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "レンチ", "Size": "4㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "スパナ", "Size": "7㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.29", "ToolName": "スパナ", "Size": "8㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28,29" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整③", "Words": [ "【ピント調整手順】Ⅰ、光軸調整同様に治具の鏡面がカメラに映るように軸移動と光量を調整する。Ⅱ、治具鏡面の面にピントが合うようにカメラを調整する。(下図参照)", "【θ調整手順】Ⅰ、ピント調整に引き続き作業すること。Ⅱ、画面の十字線と治具の基準線の傾きが一致するように調整する(下図参照)", "NGの場合", "視野A", "視野A" ], "WorkItems": [ "1. 調整方法の説明" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Z方向固定ボルト", "ピント目視確認", "画面の十字線", "治具の基準線", "CCD固定ボルトを緩めてθを傾ける(3箇所中2箇所)" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "1.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "スパナ", "Size": "7㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①", "Words": [ "【カメラ位置調整手順】Ⅰ、ボンディングヘッドとボンディングステージに治具(FM-3125、FM-4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』に入りボンディングステージにセットした治具が映るように軸移動し、光量を調整する。 ※軸移動は打痕が正確に打てるように治具溝を避けることⅢ、治具上面の画面に映っている範囲に銀シールを貼付ける。・・・・シールの文字部は避けたほうが打痕が見やすいです。 ※打痕が治具に付かないようにシールを2枚重ねにするのが望ましい。Ⅳ、ボンディングヘッドをヘッドを234.5㎜(ポジションデータのボンディングヘッドY軸実装位置)に移動させる。 ※カメラ取付位置が120㎜(ボンディングヘッド定点実装基準位置)の場合は254.5㎜なので注意が必要", "銀シール", "次ページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "平面の場所に移動", "中央付近に文字を避けてシールを貼る", "Y軸を移動させる", "※カメラ位置によってヘッドY軸の動かす位置が変わります。メンテナンス⇒マシンデータ⇒ポジションデータのベーシックマシン⇒ボンディングステージを確認", "治具:FM-3125", "治具:FM-4813" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "ヘッド・光学系芯出し治具", "Size": "3㎜", "Other": "FM-3125" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "7㎜", "Other": "FM-4813" } ], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-3125", "ToolName": "ヘッド・光学系芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整②", "Words": [ "【カメラ位置調整手順】・・・続きⅠ、『モーターテスト』に戻り、ボンディングヘッドZ軸(VCM)を徐々に降ろし銀シールに打痕を付ける。 ※シム等を使用し銀シール上面の座標をティーチし50μ程度押し込む。 (押し込み過ぎると打痕が大きくなり中心が分りづらくなります。治具にも傷がつきます。)Ⅱ、Z軸を原点に、ヘッドY軸を銀シールがカメラに移るまで手前側に移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』の『カメラ設定』で『ボンディングステージカメラ』を選択する。Ⅳ、『照度』で光量を調整し、『等倍表示』にチェックを付け等倍表示で打痕を映す。Ⅴ、打痕を確認し、打痕がカメラの中心に来る様にカメラを調整する。(下図参照)", "Y方向調整", "次ページへ続く", "視野A", "視野A" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "打痕が中心に来るように調整", "ボンディングカメラを選択", "照度を選択し光量をあげる", "等倍表示で拡大させる", "固定ボルト", "ジャッキボルト(押し調整のみ)" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整②", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整③", "Words": [ "【カメラ位置調整手順】・・・続きⅠ、『計測』⇒『1点計測』で十字カーソルを打痕の中心に移動させ、ずれ量を測る。Ⅱ、X方向Y方向共に±20μ以内に入っていることを確認する。Ⅲ、規格外なら再調整を行う。", "X方向調整", "視野A", "視野A", "視野B", "視野B", "視野C", "視野C" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いカメラ位置の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "固定ボルト", "固定ボルト", "ジャッキ(押し調整のみ)", "固定ボルト", "十字カーソルを打痕の中心に移動させる", "ずれ量を確認" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングステージカメラ位置調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "レンチ", "Size": "1.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "レンチ", "Size": "3㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.28", "ToolName": "スパナ", "Size": "7㎜", "Other": "-" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27,28" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整③", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "BS搬送レール平行度調整", "Words": [ "【調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM-3123)を取付ける ※バックアップステージも可Ⅱ、治具と固定側レールの隙間を0.5mmをシックネスゲージで確認する ※基本的にはユニット段階で調整済Ⅲ、OK時:調整BOLTを増し締めし終了 / NG時:調整BOLTにて隙間を0.5mmに調整する事 ※ダイヤルゲージ等で正確に測定する場合は部品精度も考慮すること(平面・平行度:それぞれ50μ)Ⅳ、NGの場合はボンディングステージ基準位置Yを再ティーチしてください。", "バックアップステージ", "固定側レール", "隙間:0.5mm", "治具:FM-3123", "調整BOLT", "調整BOLT", "【調整手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダーテスト』⇒『ボンディングステージサイドクランプ』⇒『OFF』の事を確認するⅡ、治具基板を搬送レールに取付ける ※ユーザーワークがある場合はユーザーワークを取付ける事Ⅲ、治具基板にシックネスゲージ(0.5mm)を挟み込み可動側レールを調整するⅣ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダーテスト』⇒『ボンディングステージサイドクランプ』⇒『ON』で治具基板をクランプするⅤ、治具基板がクランプされている事を確認する", "固定側レール", "治具基板", "ユーザーワーク", "シックネスゲージ" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングステージ搬送レール平行度調整(固定側)を実施する", "2. 下記手順に従いボンディングステージ搬送レール平行度調整(可動側)を実施する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:BS搬送レール平行度調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.5㎜", "Other": "-" }, { "JiguNo": "使用治工具No.27", "ToolName": "B/S芯出し用治具", "Size": "-", "Other": "FM-4813" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26,27" ] }
[ { "WorkName": "BS搬送レール平行度調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "シックネスゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }, { "WorkName": "BS搬送レール平行度調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ①", "Words": [ "【光軸調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM-4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入るⅢ、『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の『ボンディングステージ基準位置X』を選択し『ティーチ』に入り初期値へ移動させる。・・・Yでも可。Ⅳ、治具の鏡面がカメラに映るように軸移動と光量を調整する。Ⅴ、X方向は治具の中心とカメラの中心をティーチする。", "鏡面" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ボンディングステージ基準位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "初期値へ移動させる", "ティーチに入る", "ポジションデータの編集に入る", "治具:FW-4813", "同軸照明の光量を上げて治具が確認できるようにする", "ボンディングステージを移動", "X方向:治具中心をカメラ中心に移動させる" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングステージ基準位置ティーチ" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "7㎜", "Other": "FM-4813" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ②", "Words": [ "【光軸調整手順】Ⅰ、Y方向はX軸はそのままでY軸のみ搬送レール基準面(手前側のレール)の端面をティーチする。 ※レールの基準面にスケールを当てると端面が分りやすいです。Ⅱ、『確認』を押し数値が反映されていることを確認し『確定』で保存する。", "Y" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ボンディングステージ基準位置のティーチを行う" ], "WorkPoints": [ "Y方向:レール端面をカメラ中心に移動させる", "Y軸のみ移動させレール端面(Y方向搬送基準)をティーチ", "スケールやブロックを当付けると確認が容易", "確認でティーチを反映させる", "確定で保存する", "ティーチの反映を確認する", "ボンディングステージ基準位置X:ステージ中心Y:手前側レール基板当付け面", "カメラ中心までの距離" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングステージ基準位置ティーチ" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ斜方照明位置調整(OP)", "Words": [ "【調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM-4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』に入りボンディングステージにセットした治具の中心が映るように軸移動し、 同軸照明の光量を調整する。Ⅲ、同軸照明を切り(光量\"0\")斜方照明の光量を上げて光軸スポット部が目視確認できるようにする。Ⅳ、光軸スポットの中心が治具の中心に来るように照明位置を調整する。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い、ボンディングカメラ斜方照明の調整を行う" ], "WorkPoints": [ "斜方照明を点灯させ光軸を確認", "オプションですので搭載指示書を確認して下さい。", "同軸照明をつけ軸動作でカメラの中心に治具の中心を移動させる", "ボルトを緩めて調整(Y方向のみ調整機構有り)", "光軸スポットの中心が治具の中心になていることを確認", "モータテストにて作業", "治具:FM-4813" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ボンディングカメラ斜方照明位置調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "Size": "7㎜", "Other": "FM-4813" } ], "Jigus": [ "使用治工具No.26" ] }
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ斜方照明位置調整(OP)", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4813", "ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整①", "Words": [ "【光軸調整手順】Ⅰ、ボンディングヘッドに治具(FM-4812)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』でヘッドY軸を+94.5㎜に移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』⇒『カメラ設定』で『アップルッキングカメラ』を選択する。Ⅳ、『照度』を選択し同軸照明の光量を【30】にする。・・・・LED照明やカメラ倍率等が変更になった場合は別途確認Ⅴ、治具の鏡面が目視できれば調整の必要はありません。Ⅵ、目視確認できない場合は光軸が合っていませんので再調整を行って下さい。(次ページ参照)", "次ページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いアップルッキングカメラの光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "ボンディングヘッドY軸を+94.5㎜に移動", "光学テストでアップルッキングカメラを選択", "同軸照明を【30】にする", "目視確認可能なら光軸調整の必要はありません。目視確認できない場合は次ページを参考に調整する。", "画像を確認し治具鏡面が目視可能か確認", "治具:FM-4812" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [ { "JiguNo": "使用治工具No.-1", "ToolName": "名称", "Size": "size", "Other": "仕様・備考" }, { "JiguNo": "使用治工具No.26", "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "Size": "7㎜", "Other": "FM-4812" } ], "Jigus": [] }
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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