input stringclasses 1
value | instruction stringlengths 228 3.39k | output stringlengths 287 3.32k | category stringclasses 1
value | index stringclasses 1
value | fileName null |
|---|---|---|---|---|---|
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハ&アップルッキングカメラ組付け",
"Words": [
"視野A",
"視野A",
"【作業手順】Ⅰ、アップルッキングカメラスタンドをD-PINに当付けて仮止めする。(本体ドッキング工程)Ⅱ、D-PINの隙間を確認し本締めする"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従いアップルッキングカメラスタンドを組付け調整する"
],
"WorkPoints": [
"隙間確認:0.01㎜以下",
... | [
{
"WorkName": "ウエハ&アップルッキングカメラ組付け",
"QualityItem": "隙間確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "シックネスゲージ",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "隙間:0.01㎜以下",
"Method": "シックネスゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames":... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "フリップカメラ組付け",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、フリップカメラのブロックをピックアップユニットベースプレートのD-PINにはめ込み取付ける。(本体ドッキング工程)Ⅱ、ブロック長穴のセンターにD-PINがあることを確認し本締めする"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従いフリップカメラを組付け確認する"
],
"WorkPoints": [
"フリップカメラ取付ボルト",
"ピック... | [
{
"WorkName": "フリップカメラ組付け",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "指示通り取付出来ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハ用バーコードカメラ、LED照明組付け",
"Words": [
"【作業手順】 (オプションですので仕様を確認して下さい)Ⅰ、ウエハ用バーコードカメラブラケットをヘッドY軸プレートに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、バーコードカメラ、カメラ用LED照明の取付角度を確認する"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従いウエハ用バーコードカメラ、LED照明を組付け確認する"
],
"WorkPoints": [
... | [
{
"WorkName": "ウエハ用バーコードカメラ、LED照明組付け",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "指示通り取付出来ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "陽炎防止ブローユニット組付け",
"Words": [
"視野A",
"視野A",
"【作業手順】Ⅰ、陽炎防止ブローユニットをヘッドY軸フレームに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、ボンディングステージカメラの位置を確認し視野の中心を狙い位置調整する"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従い陽炎防止ブローユニットを組付け調整する"
],
"WorkPoints": [
"陽炎防止ブローユニット"... | [
{
"WorkName": "陽炎防止ブローユニット組付け",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "指示通り取付出来ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハ用イオナイザー組付け",
"Words": [
"【作業手順】 (オプションですので仕様を確認して下さい)Ⅰ、ウエハ用イオナイザーをヘッドY軸プレートに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、イオナイザーの吹き出し角度(ピックアップ位置)を確認する"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従いウエハ用イオナイザーを組付け確認する"
],
"WorkPoints": [
"ウエハ用イオナイザー"
],
"... | [
{
"WorkName": "ウエハ用イオナイザー組付け",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "指示通り取付出来ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "機内照明組付け",
"Words": [
"視野A",
"視野A",
"【作業手順】 (オプションですので仕様を確認して下さい)Ⅰ、機内照明をエア配管ブラケットに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、機内照明ケーブル向きを確認する"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従い機内照明を組付け確認する"
],
"WorkPoints": [
"機内照明",
"ケーブル"
],
"Tolks"... | [
{
"WorkName": "機内照明組付け",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "指示通り取付出来ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "電源投入",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 電源ケーブルをメインSWに接続し220Vコンセントに接続する",
"2. 正圧、負圧のエアーを供給する",
"3. マシンのメインSWを【ON】する"
],
"WorkPoints": [
"電源、正圧供給",
"負圧供給",
"電源『ON』",
"正圧供給"
],
"Tolks": [],
"InspectionItems... | [
{
"WorkName": "電源投入",
"QualityItem": "接続確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "指示通り接続出来ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "MMC初期化",
"Words": [
"【MMC初期化インストール手順】 1) 初期化インストール環境2) 初期化インストール手順 ・初期化用SDをSDカードリーダーに差込み、CPU基板のUSB1へ接続し、電源をONします。 ※下記5つの処理を自動的に順番に実行します。 初期化処理には、3分必要です。 電源投入後、3分程度経過の後、設備のシグナルタワー(赤、黄、緑、ブザー)をONして、 処理終了を通知します。3分たってもパトライトが点灯しない場合、初期化処理... | [
{
"WorkName": "MMC初期化",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "MMC初期化SDUSB変換治具",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "BIOS設定",
"Words": [
"【BIOS設定手順】 1) マシンのFAパソコンにキーボードを接続する2) FAパソコンの電源を入れ、初期画面上で左下に【F2・・・】と表示した時にキーボードの【F2】を押す。3) 下記写真を参考に設定を行う。 ・キーボードの【矢印キー】で項目移動 ・キーボードの【ENTERキー】で項目選択",
"English (US)に設定",
"Power Onに設定",
"ENTER",
"EN... | [
{
"WorkName": "BIOS設定",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "システム更新1",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 更新するソフトウエアの入ったSDカードを設備に挿入する",
"2. Toolsから、システム更新を選択し、標準更新の画面を選択する",
"3. 標準バージョンアップの画面が開きます"
],
"WorkPoints": [],
"Tolks": [],
"InspectionItems": [],
"InspectionNos": [],
"Wor... | [
{
"WorkName": "システム更新1",
"QualityItem": "-",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "システム更新SD",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "-",
"Method": "-",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "システム更新2",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 更新元のドライブ選択で、SDカードからを選択する",
"2. SDカードのドライブを選択",
"3. ドライブ内を表示して、SD_Lmageフォルダを選択します"
],
"WorkPoints": [
"通常、SDカードドライブはFドライブですが、設定によっては異なります",
"指示通り選択すると、これから更新するHMI..MMC... | [
{
"WorkName": "システム更新2",
"QualityItem": "-",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "-",
"Method": "-",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "システム更新3",
"Words": [
"以上、更新完了です"
],
"WorkItems": [
"3. 更新が正常に終了しましたと表示されると更新完了です。 シャットダウンを押して、設備を再起動してください。",
"2. 【実行】 ボタンを押すと、確認のダイアログが表示されます。 【はい】 と押す、更新が開始されます",
"1. 更新と同時に、現在稼動しているソフトウエアを設備HDD内のバックアップ箇所は3つあり 自動的にもっとも... | [
{
"WorkName": "システム更新3",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ドキュメント更新1",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. ドキュメント更新用のSDカード作成",
"2. 更新するドキュメントの入ったSDカードを設備に挿入します",
"3. Toolsから、システム更新を選択し、カスタム更新の画面を選択します",
"4. DOCのタブを押して、ドキュメント更新画面を開きます"
],
"WorkPoints": [
"ドキュメントの入ったSD-ROMの中身を、そ... | [
{
"WorkName": "ドキュメント更新1",
"QualityItem": "-",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "ドキュメント更新SD",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "-",
"Method": "-",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ドキュメント更新2",
"Words": [
"以上、更新 完了です"
],
"WorkItems": [
"1. SDカードのドライブを選択します。",
"2. 【実行】 ボタンを押すと、確認のダイアログが表示されます。 【はい】 を押すと更新が開始されます。",
"3. 正常に更新されたら、【戻る】 ボタンを押してください。"
],
"WorkPoints": [],
"Tolks": [],
"Inspect... | [
{
"WorkName": "ドキュメント更新2",
"QualityItem": "-",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "-",
"Method": "-",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ファームウエアのアップデート手順",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. ADMINの権限でログインする",
"2. 【Tools】⇒【システム更新】⇒【カスタム更新】を選択",
"3. MMC初期SD挿入",
"4. 【SD⇔MMC】⇒【ファームウエア更新】を選択",
"5. [更新元フォルダ選択]でSDドライブの【F:\\】を選択",
"6. [ファームウエア種類]で6番~10番までにチェックを入れ... | [
{
"WorkName": "ファームウエアのアップデート手順",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "ファームウェア更新SD",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "マシン初期設定",
"Words": [
"【メーカー設定】",
"(参考)搭載指示書",
"【アドミニ設定】",
"(参考)搭載指示書"
],
"WorkItems": [
"1. 搭載指示書に従い【メーカー設定】、【アドミニ設定】を行う"
],
"WorkPoints": [
"【設定】⇒【モード設定】⇒【メーカー設定】を選択する",
"【設定】⇒【モード設定】⇒【アドミニ設定】を選択する ※アドミ... | [
{
"WorkName": "マシン初期設定",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "データSD",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "マシン初期設定②",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. I/O工程にてI/Oチェック表を基にパラメーターの書込みが実施してある事"
],
"WorkPoints": [],
"Tolks": [],
"InspectionItems": [
"検査表①:サーボドライバーパラメータ書込み"
],
"InspectionNos": [
"WDWS-5400-004"
],
"WorkTyp... | [
{
"WorkName": "マシン初期設定②",
"QualityItem": "操作確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "ドライバパラSD",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "外部モニタ設定①",
"Words": [
"※【注意:設定前にメーカー設定「外部モニタ設定」は「無」のままで設定を開始する事】",
"①",
"②",
"③",
"④",
"⑤",
"⑥",
"【作業手順】①画面右上の【Tools】ボタンを押し、メニューの中から【エクスプローラ】を押して、エクスプローラを表示する。②【Control Panel 】の【Display】を起動する。③【Settings】タブを押す。④【2... | [
{
"WorkName": "外部モニタ設定①",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "外部モニタ設定②",
"Words": [
"①",
"キーボードが無い場合に使用",
"②",
"③",
"④",
"⑧",
"【作業手順】①【Tools】メニューから、【エクスプローラー】を起動する。※キーボードが無い場合は【ソフトキー起動】を押して【スクリーンキーボード】を開いておく。②ログオン画面にて、 【終了】ボタンを押して、HMIソフトを終了させる。③エクスプローラーを使用し、以下のフォルダへ移動します。【D:→SIP30... | [
{
"WorkName": "外部モニタ設定②",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "製品検査①",
"Words": [
"1-(1) メインスイッチによる電源ON確認",
"メインブレーカースイッチ",
"1-(2) トリップボタンを押してトリップ確認",
"1-(3) トリップ後のリセットが機能すること",
"電源OFFの位置へ戻れば確認完了",
"2 冷却ファン回転方向確認(外部に吐き出し)",
"トリップボタン"
],
"WorkItems": [
"■1. 電源投入時確認を実... | [
{
"WorkName": "製品検査①",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-001",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "製品検査②",
"Words": [
"T101",
"T103",
"T102",
"T104",
"T105"
],
"WorkItems": [
"■2. ヒーターユニット DC電源調整",
"■1. パワーユニット DC電源調整",
"■3. VCMドライバー用 DC電源調整"
],
"WorkPoints": [
"各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗... | [
{
"WorkName": "製品検査②",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-001",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "製品検査③",
"Words": [
"作業標準書「SD-A008724」 が完了していること",
"ヘッドY軸",
"ピックアップ",
"基板XYテーブル",
"ウエハXYテーブル",
"ウエハーリフター",
"基板搬送ユニット",
"ウエハートランスファー",
"ダイエジェクター"
],
"WorkItems": [
"5. 可動部配線処理確認(干渉、当り、引張り等無い事)",
... | [
{
"WorkName": "製品検査③",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-001",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "製品検査④",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"④",
"⑤",
"⑥",
"⑤で選択される",
"上記同様軸を選択した状態で原点復帰を押す",
"ドロップダウンメニューから移動量を選択する",
"矢印で操作"
],
"WorkItems": [
"1. 全軸原点復帰動作及び移動量確認"
],
"WorkPoints": [
"軸を移動さ... | [
{
"WorkName": "製品検査④",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-001",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "製品検査⑤",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"④",
"⑤",
"カメラを選択",
"⑤",
"⑥",
"光量を調整"
],
"WorkItems": [
"1. 検査表に沿って各LED照明の光量が問題なく変更できるかを確認する"
],
"WorkPoints": [
"設備画面でLEDの光量を調整して実際に照明の光量が変化することを確認する"
... | [
{
"WorkName": "製品検査⑤",
"QualityItem": "動作確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-001",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "製品検査⑥",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"④",
"①",
"②",
"③現在選択中の品種データを選択",
"④",
"②",
"③プリステージ、ボンディングステージの温度を50℃に設定する",
"④",
"①"
],
"WorkItems": [
"2. 温度上昇確認",
"1. 熱電対の動作に問題がないか確認する... | [
{
"WorkName": "製品検査⑥",
"QualityItem": "動作確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-001",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "製品検査⑦",
"Words": [
"①Toolsを押す",
"②パワー制御を押す",
"③カバー開(本体)を押す",
"①",
"②",
"③",
"④対象の出力を探す",
"⑤"
],
"WorkItems": [
"1. 制御製品検査表に基づき安全テストを実施する"
],
"WorkPoints": [
"◆前面カバーオープンで基板押さえ上下VL(R3500,R3501... | [
{
"WorkName": "製品検査⑦",
"QualityItem": "動作確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-001",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "真空センサ設定",
"Words": [
"※その他のモード(参考)"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従い真空センサ設定を行う",
"2. 上記のその他のモードを参考にキーをロックする"
],
"WorkPoints": [
"オプションもありますので仕様を確認して下さい。",
"工場出荷時から【表示色】を変更",
"設定センサ",
"変更",
"変更"
],
"... | [
{
"WorkName": "真空センサ設定",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ファイバーセンサ設定①",
"Words": [
"※作業手順②を行っても動作出力設定(ティーチングモード)にならない場合はディスプレイが \"ON\" に なっている可能性があります。下記手順で解除してから再度設定を行ってください。",
"を同時に2秒長押しする"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従いファイバーセンサ設定を行う"
],
"WorkPoints": [
"工場出荷時から【出力動作設定(Ligh... | [
{
"WorkName": "ファイバーセンサ設定①",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ファイバーセンサ設定②",
"Words": [
"※⑨ウエハ飛び出し検出センサ用アンプ設定",
"←2秒長押し",
"出力動作設定",
"しきい値設定",
"←+-で設定値に合わせる",
"- +",
"←1回押し、元に戻す"
],
"WorkItems": [
"1. 下記の設定表に従いファイバーセンサの閾値設定を行う",
"2. 設定表の光量以上であることを確認し、光量の足りない場合は調整する"... | [
{
"WorkName": "ファイバーセンサ設定②",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ファイバーセンサ設定③",
"Words": [
"v",
"v",
"①",
"②",
"③",
"④",
"視野A",
"視野A",
"⑤",
"⑥",
"視野B",
"視野A",
"⑦",
"⑧",
"v",
"⑨",
"※各センサとアンプの場所"
],
"WorkItems": [
"1. ファイバーセン... | [
{
"WorkName": "ファイバーセンサ設定③",
"QualityItem": "-",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "-",
"Method": "-",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ファイバーセンサ設定④",
"Words": [
"⑨ウエハ飛び出し検出センサ設定表"
],
"WorkItems": [
"1. 操作説明"
],
"WorkPoints": [],
"Tolks": [],
"InspectionItems": [],
"InspectionNos": [],
"WorkTypes": [],
"ToolPartsModels": [],
"Jigus": []
} | [
{
"WorkName": "ファイバーセンサ設定④",
"QualityItem": "-",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "-",
"Method": "-",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "レギュレータ調整①",
"Words": [
"メインエア圧0.45±0.05MPa",
"サイドクランプ圧0.25±0.05MPa",
"基板クランプ圧0.25±0.05MPa",
"B/Dブロー圧0.15±0.05MPa",
"P/Uブロー圧0.15±0.05MPa",
"USツール冷却エア圧0.1±0.05MPa",
"ウエハチャック クランプ圧0.25±0.05MPa"
],
"WorkItems": [... | [
{
"WorkName": "レギュレータ調整①",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "レギュレータ調整②",
"Words": [
"エアパージ供給圧力 (ウエハ用)0.1±0.05MPa",
"基板冷却エアブロー圧0.25±0.05MPa"
],
"WorkItems": [
"1. オプションがある場合は下記のユニットも調整すること"
],
"WorkPoints": [
"搭載指示書に基づき、作業前にメーカー設定を行うこと"
],
"Tolks": [],
"InspectionItems": ... | [
{
"WorkName": "レギュレータ調整②",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "配線・配管確認表確認",
"Words": [
"ボンディングステージX/Y軸",
"基板搬入/搬出軸",
"アンローダーリフター軸",
"ボンディングヘッドY軸",
"ピックアップヘッドX/反転θ軸",
"ボンディングヘッドZ/θ軸",
"エジェクター上下",
"ウエハフレームトランスファー軸",
"ウエハーカセットリフター",
"ウエハーX/Y/θ軸",
"ウエ... | [
{
"WorkName": "配線・配管確認表確認",
"QualityItem": "動作確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "I/Oチェック",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"入力側",
"出力側",
"「表示切替」ボタンで日本語表記に変更できる",
"入力側",
"出力側"
],
"WorkItems": [
"2. 入出力リスト_MD04-C07に基づき各I/Oの動作に問題がないかを確認する",
"1. I/Oテスト画面を開く"
],
"WorkPoints": [
"... | [
{
"WorkName": "I/Oチェック",
"QualityItem": "動作確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ヒータ昇温確認①",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、『プログラム』⇒『品種データ』⇒『(仮)Glass_4inch』 を選択する",
"【作業手順】Ⅱ、『基板供給』⇒『基板搬送』のプリステージ温度、ボンディングステージ温度を300℃に設定する"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順を参考にボンディングステージ、プリステージの温度を設定する"
],
"WorkPoints": [
"※オプ... | [
{
"WorkName": "ヒータ昇温確認①",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ヒータ昇温確認②",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、『プログラム』⇒『部品データ』⇒『(仮)SQ_1.2㎜』 を選択する",
"【作業手順】Ⅱ、『実装条件』⇒『ボンディング条件』のUSツール温度を100℃に設定する"
],
"WorkItems": [
"2. 下記手順を参考にボンディングヘッドの温度を設定する"
],
"WorkPoints": [
"※オプションによりメーカー設定が異なります。設定を間違えると... | [
{
"WorkName": "ヒータ昇温確認②",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ヒータ昇温確認③",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、『プログラム』⇒『ツールデータ』⇒『(仮)TOOL』 を選択する ※選択中のツールデータに入ってください。",
"【作業手順】Ⅱ、『エジェクタ』⇒『エジェクタヘッド1』のヒータ温度を50℃に設定する"
],
"WorkItems": [
"3. 下記手順を参考にエジェクダの温度を設定する"
],
"WorkPoints": [
"※オプションによりメーカー設定が異... | [
{
"WorkName": "ヒータ昇温確認③",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ヒータ昇温確認④",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『温調テスト』 を選択し設定温度が正しいか確認する",
"【作業手順】Ⅱ、ヒータ名を選択し『Heater Control』を押すと温度表示の背景が緑色に変わり温度上昇を開始する"
],
"WorkItems": [
"4. 下記手順を参考に昇温確認を行う",
"5. 正常な昇温が確認されたら上記と同じようにヒータ名を選択し『Heater Control』を押しヒ... | [
{
"WorkName": "ヒータ昇温確認④",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ヒータステージ温度分布確認①",
"Words": [
"90 mm",
"90 mm",
"P/S測定参考",
"B/S測定参考",
"P/S、B/S測定ポイント"
],
"WorkItems": [
"1. P/S、B/Sのヒータを300℃に昇温させ2時間以上設定温度で放置する",
"2. 下記を参考にP/SとB/Sの温度分布を測定する"
],
"WorkPoints": [
"昇温方法はステーシ... | [
{
"WorkName": "ヒータステージ温度分布確認①",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "キャリブレーションデータ確認",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine_data』の『編集』に入る",
"2. 『キャリブレーション』⇒『認識設定』の編集を可能な状態にし全項目を【しない】に設定する",
"4. 『確定』で保存する",
"3. 『キャリブレーション』⇒『位置ずれ量』の編集を可能な状態にし全項目の設定値を【0.000】にする"
],
"WorkPo... | [
{
"WorkName": "キャリブレーションデータ確認",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "数値:0設定:OFF",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッドY軸位置設定",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions_ Data』の『編集』に入り『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の編集可能にする",
"2. 下記を参考にカメラ位置に合った数値を入力する",
"3. 編集をロックし『確定』で保存する"
],
"WorkPoints": [
"編集ロック",
"カメラ位置... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッドY軸位置設定",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "検査書に従い入力する",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ステージ退避位置入力",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"④",
"①",
"②",
"③"
],
"WorkItems": [
"1. ステージ退避位置が指示通り設定されていることを確認する"
],
"WorkPoints": [
"ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」",
"「ベーシッ... | [
{
"WorkName": "ステージ退避位置入力",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "X:100㎜Y:100㎜",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "USツール基準長さ入力",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"④",
"①",
"②",
"③"
],
"WorkItems": [
"1. USツール基準長さが指示通り設定されていることを確認する"
],
"WorkPoints": [
"ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」",
"「ベーシッ... | [
{
"WorkName": "USツール基準長さ入力",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "使用するFM-3131の長さを入力",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力",
"Words": [
"『フリップ受渡し位置反転θ』に【+90.000°】を、『ダイピックアップ反転θ』に【-90.000°】を入力する"
],
"WorkItems": [
"1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る",
"3. 『フリップ受渡し位置反転θ』に【+90.000°】を、『ダイピックアップ反転θ』に【-90.000°】を入力す... | [
{
"WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "検査書に従い入力する",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハ基準位置確認",
"Words": [
"【確認手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する。Ⅲ、下図を参考にデフォルト値の確認を行う。 ※基本的には固定値ですが正確な値が必要な場合はティーチして下さい。"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従い、ウエハ基準位置の確認を行う"
],
"WorkPoints": [
"固定値"
... | [
{
"WorkName": "ウエハ基準位置確認",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "X:120㎜Y:225㎜",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"④",
"①",
"②",
"③"
],
"WorkItems": [
"1. ウエハ交換位置が指示通り設定されていることを確認する"
],
"WorkPoints": [
"ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」",
"「ウエハーユニッ... | [
{
"WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "スケール",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "X:0㎜Y:0㎜",
"Method": "スケール",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "オフセット値入力確認",
"Words": [
"Ⅰ、 『プログラム』⇒『品種データ』で品種を選択⇒『編集』に入るⅡ、『基板』⇒『基板寸法』⇒『基板高さオフセット』⇒設定値:0.000mmである事を確認する",
"Ⅰ、 『生産』⇒『機種切替』⇒『ティーチング』を選択するⅡ、各ノズルのX/Y/θ/Zのオフセット(現在値)が0.000mmである事を確認する",
"Ⅰ、 『生産』⇒『機種切替』⇒『位置補正』に入るⅡ、全品種/品種別共に0.000mmであることを確認する",
... | [
{
"WorkName": "オフセット値入力確認",
"QualityItem": "オフセット値",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "オフセット値:0.000の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "全軸原点復帰",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 『Tools』⇒『パワー制御』に入り『全軸原点復帰』を行う"
],
"WorkPoints": [],
"Tolks": [],
"InspectionItems": [
"検査表①:全軸原点復帰"
],
"InspectionNos": [
"WDWS-5400-004"
],
"WorkTypes": [],
"ToolPartsM... | [
{
"WorkName": "全軸原点復帰",
"QualityItem": "原点確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "原点復帰ができること",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "スピコン調整",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』を選択する",
"2. 動作させる軸を選択し『動作回数設定』、『ピッチ時間』を入力して『開始』を押す",
"3. 2往復目以降にON、OFF動作時間を確認し規格外ならスピコンを調整する"
],
"WorkPoints": [
"圧力設定、全軸原点復帰が完了している事",
"動作回数:3~無限ピッチ時... | [
{
"WorkName": "スピコン調整",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "架台レベル出し最終調整",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. ボンディングステージを右奥に移動させ基板XYテーブルのレール上面でレベル出しを行う"
],
"WorkPoints": [
"0.04㎜/m以下(通常使用の水準器2目盛り分【0.02/目盛】)",
"レール上面に水準器をセットしレベル出しを行う"
],
"Tolks": [],
"InspectionItems": [
"検査... | [
{
"WorkName": "架台レベル出し最終調整",
"QualityItem": "水準確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "水準器",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "0.04㎜以下(2目盛り以内)",
"Method": "水準器",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "B/S平面調整",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. B/Dステージの平行度を測定し規格外なら調整する",
"2. B/Dステージの平面度を測定し規格外であれば調整する",
"3. 再度、平行度(作業項目1)を行い数値を検査に記入する。"
],
"WorkPoints": [
"平面調整時に変化する可能性があるのでここでの検査書への数値記入は行いません。",
"ステージ基準D-PINを測定する",
... | [
{
"WorkName": "B/S平面調整",
"QualityItem": "平面度",
"ToolManageNo": "FM-2748",
"ToolName": "平面調整治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessName... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. ツール研磨ユニットのベースを組付け基準ブロックとの高さを調整する"
],
"WorkPoints": [
"基準ブロック上面に㉗を置いてブロックゲージ上面でダイヤルゲージを ”0” にセットする",
"基準ブロック",
"平面調整治具:FM-2748",
"各箇所:±10μ以下平面度:10μ以下",
"B/Dの... | [
{
"WorkName": "ツール研磨ユニット組付け&平面度調整①",
"QualityItem": "平面度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "高さ各箇所:±10μ以下平面度:10μm以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①",
"Words": [
"0'",
"②",
"③",
"④",
"【ツール取付け面 平面度規格】:5μm/20mm以下",
"【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ボンディングステージにテコ式ダイヤルゲージをセットする。Ⅲ、ボンディングヘッドをボンディングカメラの下に移動させる。 ※ヘッドY軸座標:234.5㎜Ⅳ、ボン... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整①",
"QualityItem": "平面度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "【ツール取付け面平面度規格】:5μm/20㎜以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整②",
"Words": [
"②Y方向調整手順Ⅰ、固定ボルトを緩める。Ⅱ、調整ボルトが押し調整のみに有効の為、【調整用押しボルト側】が低い場合は 調整ボルトを緩めて【調整用押しボルト側】を高くして固定ボルトを仮止めする。Ⅲ、調整ボルトを押して平面を調整し固定ボルトを増し締めする。",
"視野C",
"視野B",
"視野B",
"視野C",
"固定ボルト:4箇所",
"調整用押... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整②",
"QualityItem": "-",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "-",
"Method": "-",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③",
"Words": [
"【ヘッド 平行度規格】:10μm/10mm以下",
"【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ヘッドθ軸を原点復帰させる。Ⅲ、ボンディングヘッドに治具を取付け側面にてこ式ダイヤルゲージをセットする。Ⅳ、ボンディングヘッドをボンディングカメラの下に移動させる。 ※ヘッドY軸座標:234.5㎜Ⅴ、ヘッドY軸を動作させ右図のポイントを測... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整③",
"QualityItem": "平行度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "【ヘッド平行度規格】:10μm/10㎜以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-"... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整④",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、設備カバーを開き、モーターの励磁をオフした状態にするⅡ、『Tools』 - 『軸表示』 で 「ボンディングヘッド(VCM)θ軸」の座標を見ながら 手でイナーシャブロックを回しながらメカストッパーがプラス マイナスそれぞれで 11.5°以上になるように調整する",
"【作業手順】Ⅰ、設備カバーを開き、モーターの励磁をオフした状態にするⅡ、『Tools』 - 『軸表示』 で 「ボン... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッド平面・平行調整④",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッド平行調整",
"Words": [
"【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10mm以下",
"キャリブレーション認識用ガラス",
"固定ボルト(1/2)",
"固定ボルト(2/2)",
"【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、ピックアップ反転軸を+90°に移動させる。Ⅲ、ピックアップヘッドに治具(FM-4811)を取付ける。Ⅳ、ピックアップヘッドに平面平... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッド平行調整",
"QualityItem": "平行度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "【P/Uヘッドツール平行度規格】:10μm/10㎜以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①",
"Words": [
"①Y方向調整手順Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ピックアップヘッド反転θ軸を(+)方向に90°移動させる。Ⅲ、ピックアップヘッドに治具(FM-4811)を取付ける。Ⅳ、上記測定ポイントのY方向(0'⇔②)を測定する。Ⅴ、10μ以内に入るように軸動作で移動させる。Ⅵ、Ⅳででた軸座標から+90°を引いた値をメモする。 例) (調整後軸座標+91.87°)-(設計値+90... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)①",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②",
"Words": [
"②X方向調整手順Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ピックアップヘッド反転θ軸を(+)方向に90°移動させる。Ⅲ、上記測定ポイントのY方向(0'⇔④)を測定する。Ⅳ、上写真の調整ボルトを緩め10μ以内に入るように調整する。 ボルトの間にあるPINを支点に回転します。 ③最終測定Ⅰ、(0'~④)を測定し規格内であれば検査書に数値を記入する。Ⅱ、規格外であれば再調整。 ※Y方... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(上向き)②",
"QualityItem": "平面度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "平面度:10μ/10㎜以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)",
"Words": [
"下向き時平面度測定手順Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』にて作業する。Ⅱ、ピックアップヘッド反転θ軸を(-)方向に90°移動させる。Ⅲ、ピックアップヘッドZ軸を-5㎜に移動 ※カムの影響考慮と、後からブレ防止ガイドを効かせる為 ※この段階では右図のブレ防止ガイドに隙間があることⅣ、上記測定ポイントの(0'⇔④)を測定する。 ※インターロックが有効な為、Z軸の高さを-5... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッド平面調整(下向き)",
"QualityItem": "平面度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "ブレ防止無時:40μm/10㎜以下ブレ防止有時:60μm/10㎜以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整",
"Words": [
"【平面度規格】:20μm以下",
"【①平面度調整作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、ウエハXYテーブルの中心付近をエジェクタヘッドの位置まで移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』でエジェクタヘッドを上昇させる。Ⅳ、エジェクタヘッド高さ・平面度調整治具(FM-4809)をダイエジェクタに取付ける。Ⅴ、治具上面が測定できるように... | [
{
"WorkName": "エジェクタヘッド高さ・平面度調整",
"QualityItem": "平面度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "平面度:20μ以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessN... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整",
"Words": [
"【平行度規格】:20μm/150㎜以下",
"【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、下図を参考にエキスパンド軸の側面にてこ式ダイヤルゲージをセットする。Ⅲ、ウエハY軸を動作させ測定する。Ⅳ、規格内であれば検査書に記入し完了。Ⅴ、規格外の場合はウエハθ軸(AWC)を規格内に収まるように移動させる。Ⅵ、Ⅴで規格内に収まった時のウエハθ軸の値をメモする。Ⅶ、『メンテ... | [
{
"WorkName": "ウエハθ軸(AWC)原点復帰オフセット調整",
"QualityItem": "平行度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "平行度:20μm/150㎜以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "シートブロー確認",
"Words": [],
"WorkItems": [
"1. 『生産』⇒『ユニット操作』⇒『ウエハ』⇒『負荷詳細』を選択する",
"2. 『シートブローON』を押しヒータパワーを75%に調整する"
],
"WorkPoints": [
"調整ダイヤル",
"デジタル表示を75%±0.5%に調整する",
"注意:長時間ONさせると温度しすぎて故障します。",
"圧力設定、全軸原点復帰が完了している... | [
{
"WorkName": "シートブロー確認",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "75%±0.5%",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整",
"Words": [
"【平行度規格】:50μm/150㎜以下【平面度規格】:4目盛り以下(0.02㎜/1m水準器使用時)",
"【作業手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』にて作業を行う。Ⅱ、ウエハリフタに水準器をセットする。Ⅲ、ウエハXYテーブルからてこ式ダイヤルゲージを出しウエハマガジンX方向規制面にセットする。 (下図参照)Ⅳ、ウエハY軸を動作させウエハリフタの平行度を測定する。Ⅴ、平面度(水準器)と... | [
{
"WorkName": "ウエハカセットリフター平面・平行調整",
"QualityItem": "平行度",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "平行度:50μm/150㎜以下",
"Method": "てこ式ダイヤルゲージ",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"Pr... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ①",
"Words": [
"次ページに続く"
],
"WorkItems": [
"1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する",
"2. 『ウエハリフタ基準位置Z測定用治具厚み』に【15.000㎜】を入力する",
"3. 『ウエハリフタ基準位置Z』を選択し『ティーチ』に入り初期設定位置に移動させる",
"4. エキスハ... | [
{
"WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ①",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "ブロックゲージ",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②",
"Words": [
"裏面"
],
"WorkItems": [
"1. 『移動レート』を選択しウエハリング下面とブロックゲージ上面の一致する高さをティーチする",
"2. 『確認』を押し数値が変わっていることを確認し『確定』を押し『ウエハリフタ基準位置Z』に反映させて保存する"
],
"WorkPoints": [
"移動レート選択",
"高さティーチ",
"リフタを上下に調... | [
{
"WorkName": "ウエハリフタ基準位置Zティーチ②",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "ブロックゲージ",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハカセット位置調整",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、下図を参考に左側と奥側のガイドをフリーにする。Ⅱ、ウエハカセット(ウエハマガジン同じ)をウエハリフタに乗せる。Ⅲ、ウエハカセットを右側に押し当てた状態で手前のガイドのバカ穴中央になるように寄せて増し締めする。Ⅳ、ウエハカセットがガタ無くスムーズに出し入れ出来る様に、左側と奥側のガイドを寄せて増し締めする。Ⅴ、最終確認し完了。",
"②押し当てる",
"③",
"①",
... | [
{
"WorkName": "ウエハカセット位置調整",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、品種データはTEG実装用のデータで行う。Ⅱ、ウエハリフタにウエハカセットをセットする。(ウエハリング無し)Ⅲ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する。Ⅳ、『交換位置Y』のティーチに入る。Ⅴ、初期値に移動させ移動レートを選択する。Ⅵ、300㎜スケールをエキスパンド手前に当付けウエハカセットの手前側と一致する所に移動させる。(下図参照)Ⅶ... | [
{
"WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "スケール",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "スケール",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整①",
"Words": [
"【①フレーム取り出し位置ティーチ作業手順】Ⅰ、Ⅲ、リングを収納したウエハカセットをセットする。Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ウエハユニット』⇒『AWC』を選択する。Ⅲ、『フレーム搬送 フレーム取り出し位置』を選択しティーチに入る。Ⅳ、初期値へ移動させ移動レートを選択する。Ⅴ、ウエハカセットの左側にリングを当てつけた状態で、チャックとのすき間が1mmになる座標でテ... | [
{
"WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整①",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "スケール",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "スケール",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整②",
"Words": [
"【②フレーム受取/収納位置ティーチ作業手順】Ⅰ、『フレーム搬送 フレーム受取/収納位置』を選択しティーチに入る。 ※以降の操作は前項『フレーム搬送 フレーム取り出し位置』同様の手順で行う。Ⅱ、マガジンX方向規制面とトランスファー爪の先端が一致する位置にトランスファーを移動させる。Ⅲ、移動レートを【0.6㎜】にしてリフタ側に4回動作させる。 ※面取りも考慮し2.4㎜リフタ側に押し込んだ位置をティーチ(最終はユーザーマカ... | [
{
"WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整②",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "スケール",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "スケール",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整③",
"Words": [
"【③6インチフレーム着脱位置ティーチ作業手順】・・・・※仕様が8インチの場合は8インチフレーム着脱位置をティーチⅠ、『フレーム搬送 6インチフレーム着脱位置』を選択しティーチに入る。 ※以降の操作は前項『フレーム搬送 フレーム取り出し位置』同様の手順で行う。Ⅱ、初期値移動後、ウエハリングをエキスパンドに挿入する。Ⅲ、ウエハリングをエキスパンドの奥に当てた状態でトランスファー爪の先端側の引っ掛かり部が ウエハリン... | [
{
"WorkName": "ウエハフレームトランスファー基準位置調整③",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "ブロックゲージ",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハリング検出センサ位置調整",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、品種データはTEG実装用のデータで行う。Ⅱ、ウエハカセットの1段目、最上段と中間にウエハリングを入れリフタにセットする。(手順書では1・13・25段目)Ⅲ、『生産』⇒『ユニット』⇒『ウエハ』⇒『フレーム交換』に入り『NO,1』を選択し『リフター移動』を押して1段目に移動させる。Ⅳ、1段目のウエハリングを検出するようにセンサを調整する。(下図参照)Ⅴ、『フレーム有無確認』を押し全段のウエハリングの有無検出をさせる... | [
{
"WorkName": "ウエハリング検出センサ位置調整",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハフレームセット確認センサ調整",
"Words": [
"【作業手順】Ⅰ、品種データはTEG実装用のデータで行う。Ⅱ、『生産』⇒『ユニット』⇒『ウエハ』⇒『フレーム交換』の『負荷詳細』に入る。Ⅲ、『交換位置』を押し交換位置に移動させ『エキスパンド開』を押しエキスパンドを開く。Ⅳ、ウエハリング(ブルーシート付き)を手で奥まで挿入する。Ⅴ、ウエハフレームセット確認センサを確認し、右側(L_ON)、左側(D_ON)共にON状態になっていること。(下図参照)Ⅵ、ウエハリングを1.5... | [
{
"WorkName": "ウエハフレームセット確認センサ調整",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "正常な事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハ飛び出し検出センサ調整",
"Words": [
"①",
"②",
"③",
"ウエハフレーム飛び出し検出B0404"
],
"WorkItems": [
"3. ウエハ飛び出し検出センサが指示通り動作することを確認する",
"2. ウエハ飛び出し検出センサのしきい値を設定する",
"1. 全段にウエハを詰めた状態でウエハマガジンをマガジンリフタへセットする"
],
"WorkPoints": [
... | [
{
"WorkName": "ウエハ飛び出し検出センサ調整",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "検査書に従う",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認",
"Words": [
"②",
"①",
"③",
"④",
"ウエハフレームトランスファー軸の中速速度を「300」に変更する",
"①",
"②",
"③",
"⑤",
"④",
"④でマガジン段を選択して⑤で取り出し、収納を実施"
],
"WorkItems": [
"4. ウエハトランスファーX軸の速度を元に戻す",
"2. ... | [
{
"WorkName": "ウエハフレーム搬送動作確認",
"QualityItem": "動作確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "ウエハカセット6inch",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "検査書に従う",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整①",
"Words": [
"【基準ブロック高さ規格】:8㎜±0.1㎜以下"
],
"WorkItems": [
"1. 『生産』⇒『自動生産』⇒『プロセスモニター』⇒『USツール管理』に入り治具ツールを装着する",
"2. 『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』の『ボンディングノズル基準ブロックZ測定』を実行する"
],
"WorkPoints": [
"【治具】が選択... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整①",
"QualityItem": "高さ",
"ToolManageNo": "FM-3131",
"ToolName": "荷重校正用ツール",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "【基準ブロック高さ規格】:8㎜±0.1㎜以下",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"Pr... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整②",
"Words": [],
"WorkItems": [
"2. 『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の【基準ブロックステージオフセットX】の位置にステージを移動させる(モーターテストにて)",
"1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る",
"3. カバーを開けてサーボOFFの状態にし治具ツールの中心が基準ブロックの上に来るようにヘッ... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整②",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整③",
"Words": [
"【-7.900mm以上】・・・・・・・・・・軸情報を確認しながらリニアセンサ取付けを差分下げる【-7.9mm ~ -8.1mm】・・・調整完了、検査書に数値記入【-8.100mm以下】・・・・・・・・・・軸情報を確認しながらリニアセンサ取付けを差分上げる",
"【作業手順】Ⅰ、調整ボルトを緩める。Ⅱ、前項の測定結果(表示)を元に差分をリニアセンサをスライドさせて調整する。Ⅲ、増し締め後、再度確認し規格内で... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッド基準ブロック高さ調整③",
"QualityItem": "設定確認",
"ToolManageNo": "FM-3177",
"ToolName": "ギャップ調整治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"Process... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①",
"Words": [
"Ⅰ、ピックアップヘッドに治具(FM-2750)を取付ける 『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』 ⇒『ノズル交換位置』を選択し治具を取付ける",
"ピックアップヘッド",
"Ⅰ、軸移動 『ベーシックマシン』⇒『ピックアップヘッド』⇒『ピックアップヘッドタッチ検出オフセット』⇒『レ』⇒『ティーチ』を選択し初期位置へ移動する",
"ダイヤルゲージ... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整①",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整②",
"Words": [
"Ⅰ、ピックアップヘッドからダイヤルゲージを取り外すⅡ、『自動計測』を選択し計測を実施するⅢ、『確認』を選択し変更後の値が0.5±0.1mm以内である事を確認する ※規格外の場合はドグを調整し再測定を行う(センサ調整機構はありません)Ⅳ、『確定』を選択し保存する",
"再調整方法"
],
"WorkItems": [
"1.タッチ検出オフセット自動計測"
... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(下側)調整②",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①",
"Words": [
"【調整手順】※タッチ検出センサ(下側)の調整に引き続き行うことⅠ、ボンディングヘッドに治具(FM-3131)を取付けるⅡ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』⇒『USツール選択』を押すⅢ、【JIG】が選択されていることを確認し『全長の寸法』が31㎜であることを確認する ※治具が選択されてない場合は『取外し』、『取付け』作業を行ってください"
],
"WorkItems": [
... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整①",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整②",
"Words": [
"ダイヤルゲージ",
"ピックアップノズル先端がJIGホーンに接地する値を見つける",
"【確認手順】・・・・続きⅠ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ベーシックマシン』⇒『ピックアップヘッド』を選択し『ピックアップヘッドタッチ検出(上側)オフセット』の『ティーチ』に入る。Ⅲ、『退避動作』⇒『初期値へ移動』を... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整②",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り表示の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整③",
"Words": [
"【調整手順】・・・・続きⅠ、ダイヤルゲージを取外す。Ⅱ、『自動計測』を選択し計測を実施する。Ⅲ、『確認』を選択し変更後の値が0.2mm~0.5mm以内である事を確認する。 ※規格外の場合はセンサを調整し再度測定を行う。(下記参照)Ⅳ、『確定』を選択し保存する。",
"再調整方法"
],
"WorkItems": [
"1. 前作業の続き"
],
"WorkP... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッドタッチ検出オフセット(上側)調整③",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "表示値:0.2㎜~0.5㎜",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①",
"Words": [
"ピックアップヘッド",
"Ⅰ、『生産⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』を選択するⅡ、『交換位置移動』を選択しボンディングヘッドに治具(FM-3131)を取付ける",
"Ⅰ、『生産⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』を選択するⅡ、『ノズル交換位置』を選択しピックアップヘッドに治具(FM-2750)を取付ける"
],
"WorkItems": [
"1.ボ... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ①",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "FM-2750",
"ToolName": "P/U高さ測定治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ②",
"Words": [
"Ⅰ、『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』⇒『ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Z』を選択しティーチするⅡ、ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ 結果の値を確認し規格内であれば『確定』し保存する 規格値:-8±1.0mm以内",
"ボンディングヘッド",
"ピックアップヘッド",
"計測中",
"規格値:-8±1.... | [
{
"WorkName": "ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Zティーチ②",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "'入力範囲:-8.00±1.0㎜以内",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ①",
"Words": [
"Ⅰ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』⇒『ノズル交換位置』を選択しノズルを取付ける",
"ピックアップヘッド",
"Ⅰ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』⇒『詳細イメージ』を選択するⅡ、『交換位置移動』⇒『1』を選択しエジェクタヘッド(設備手配分)を取付けるⅢ、交換完了に『レ』⇒『確定』する",
"エジェクタヘッド"
],
"WorkI... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ①",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "FM-2750",
"ToolName": "ノズル高さ基準出し治具(先端φ1.5)",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"Proces... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ②",
"Words": [
"Ⅰ、『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』を選択するⅡ、ピックアップヘッドエジェクターヘッド面高さの『測定』を選択しティーチを実施するⅢ、測定結果を確認し『確定』で保存する 規格値:-5.00±0.5mm以内 ※規格外の場合はエジェクタが奥まで挿入されていない可能性があります"
],
"WorkItems": [
"1.ピックアップヘッドエジェクターヘッ... | [
{
"WorkName": "ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチ②",
"QualityItem": "ヘッド面高さ",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "入力範囲:-5.00±0.5㎜以内",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": ... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ピックアップZ軸待機位置ティーチ",
"Words": [
"【ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』でに入りピックアップ反転θ軸を-90°に移動させる。Ⅱ、ピックアップZ軸を降ろしてカムとカムフロアが接触するまで移動させる。(少し押し込むまで降ろす)Ⅲ、ダイヤルゲージをピックアップヘッドにセットしピックアップZ軸を上昇させながらカムとカムフロアの接触する位置を探す。Ⅳ、接触する位置から画面の数値上で30μ上に上昇させてZ軸の値を『コピー... | [
{
"WorkName": "ピックアップZ軸待機位置ティーチ",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ",
"ToolCycle": "1回/半年",
"ToolRecord": "校正成績書",
"StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames"... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整①",
"Words": [
"【光軸調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入るⅢ、『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の『ボンディングヘッドY軸実装位置』を選択し『ティーチ』に入り初期値へ移動させる。Ⅳ、治具の鏡面がカメラに映るように軸移動と光量を調整する。Ⅴ、鏡面が映った状態... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整①",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "FM-4813",
"ToolName": "B/S芯出し治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整②",
"Words": [
"※再調整方法",
"視野A",
"視野A",
"視野B",
"視野B"
],
"WorkItems": [
"1. 調整方法の説明"
],
"WorkPoints": [
"調整ボルト",
"Y方向傾き:緩めて中央のピン基準でθを振る",
"X方向傾き:割り部を緩めてθを振る",
"例)Y方向を... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整②",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames":... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整③",
"Words": [
"【ピント調整手順】Ⅰ、光軸調整同様に治具の鏡面がカメラに映るように軸移動と光量を調整する。Ⅱ、治具鏡面の面にピントが合うようにカメラを調整する。(下図参照)",
"【θ調整手順】Ⅰ、ピント調整に引き続き作業すること。Ⅱ、画面の十字線と治具の基準線の傾きが一致するように調整する(下図参照)",
"NGの場合",
"視野A",
"視野A"
],
"WorkI... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージカメラ光軸・ピント・θ調整③",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames":... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①",
"Words": [
"【カメラ位置調整手順】Ⅰ、ボンディングヘッドとボンディングステージに治具(FM-3125、FM-4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』に入りボンディングステージにセットした治具が映るように軸移動し、光量を調整する。 ※軸移動は打痕が正確に打てるように治具溝を避けることⅢ、治具上面の画面に映っている範囲に銀シールを貼付ける。・・・・シールの文字部... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整①",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "FM-3125",
"ToolName": "ヘッド・光学系芯出し治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整②",
"Words": [
"【カメラ位置調整手順】・・・続きⅠ、『モーターテスト』に戻り、ボンディングヘッドZ軸(VCM)を徐々に降ろし銀シールに打痕を付ける。 ※シム等を使用し銀シール上面の座標をティーチし50μ程度押し込む。 (押し込み過ぎると打痕が大きくなり中心が分りづらくなります。治具にも傷がつきます。)Ⅱ、Z軸を原点に、ヘッドY軸を銀シールがカメラに移るまで手前側に移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整②",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "-",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
]
}
] | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整③",
"Words": [
"【カメラ位置調整手順】・・・続きⅠ、『計測』⇒『1点計測』で十字カーソルを打痕の中心に移動させ、ずれ量を測る。Ⅱ、X方向Y方向共に±20μ以内に入っていることを確認する。Ⅲ、規格外なら再調整を行う。",
"X方向調整",
"視野A",
"視野A",
"視野B",
"視野B",
"視野C",
"視野C"
],
"WorkItems": [
... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージカメラ位置調整③",
"QualityItem": "中心ズレ量",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "BS搬送レール平行度調整",
"Words": [
"【調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM-3123)を取付ける ※バックアップステージも可Ⅱ、治具と固定側レールの隙間を0.5mmをシックネスゲージで確認する ※基本的にはユニット段階で調整済Ⅲ、OK時:調整BOLTを増し締めし終了 / NG時:調整BOLTにて隙間を0.5mmに調整する事 ※ダイヤルゲージ等で正確に測定する場合は部品精度も考慮すること(平面・平行度:それぞれ50μ)Ⅳ、NGの場合はボンテ... | [
{
"WorkName": "BS搬送レール平行度調整",
"QualityItem": "取付確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "シックネスゲージ",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り取付ている事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ①",
"Words": [
"【光軸調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM-4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入るⅢ、『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の『ボンディングステージ基準位置X』を選択し『ティーチ』に入り初期値へ移動させる。・・・Yでも可。Ⅳ、治具の鏡面がカメラに映るように軸移動と光量を調整する。Ⅴ、X方向は治... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ①",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "FM-4813",
"ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り表示の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"Pro... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ②",
"Words": [
"【光軸調整手順】Ⅰ、Y方向はX軸はそのままでY軸のみ搬送レール基準面(手前側のレール)の端面をティーチする。 ※レールの基準面にスケールを当てると端面が分りやすいです。Ⅱ、『確認』を押し数値が反映されていることを確認し『確定』で保存する。",
"Y"
],
"WorkItems": [
"1. 下記手順に従い、ボンディングステージ基準位置のティーチを行う"
],
"Wo... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージ基準位置ティーチ②",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "-",
"ToolName": "-",
"ToolCycle": "-",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り表示の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
"ProcessNames": [
"-"
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "ボンディングステージカメラ斜方照明位置調整(OP)",
"Words": [
"【調整手順】Ⅰ、ボンディングステージに治具(FM-4813)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』に入りボンディングステージにセットした治具の中心が映るように軸移動し、 同軸照明の光量を調整する。Ⅲ、同軸照明を切り(光量\"0\")斜方照明の光量を上げて光軸スポット部が目視確認できるようにする。Ⅳ、光軸スポットの中心が治具の中心に来るように照明位... | [
{
"WorkName": "ボンディングステージカメラ斜方照明位置調整(OP)",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "FM-4813",
"ToolName": "ボンディングステージ芯出し用治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "作業指示通り表示の事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-",
... | information_extraction | 0 | null | |
{
"UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)",
"WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整①",
"Words": [
"【光軸調整手順】Ⅰ、ボンディングヘッドに治具(FM-4812)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』でヘッドY軸を+94.5㎜に移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』⇒『カメラ設定』で『アップルッキングカメラ』を選択する。Ⅳ、『照度』を選択し同軸照明の光量を【30】にする。・・・・LED照明やカメラ倍率等が変更になった場合は別途確認Ⅴ... | [
{
"WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整①",
"QualityItem": "表示確認",
"ToolManageNo": "FM-4812",
"ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具",
"ToolCycle": "校正対象外",
"ToolRecord": "-",
"StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事",
"Method": "目視",
"RecordMethod": "WDWS-5400-004",
"Others": "-... | information_extraction | 0 | null |
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