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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整②", "Words": [ "※再調整方法", "視野A", "視野A", "アップルッキングカメラ" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いアップルッキングカメラの光軸・ピント・θ調整を行う" ], "WorkPoints": [ "例)Y方向を調整した場合の見え方", "X方向調整ボルト", "【X方向傾き】緩めて中央の...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整③", "Words": [ "【ピント調整手順】Ⅰ、光軸調整同様に治具の鏡面がカメラに映るように 軸移動と光量を調整する。Ⅱ、治具鏡面の面にピントが合うようにカメラを調整する。(下図参照)", "【θ調整手順】Ⅰ、ピント調整に引き続き作業すること。Ⅱ、『軸移動』を選択しヘッドY軸を移動させて画像の動きを確認し、X方向へのズレが無いか確認する。 ※ズレる場合は治具の取付けが傾いていると思われますのでヘッドθの調整が必要で...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ光軸・ピント・θ調整③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整①", "Words": [ "次ページへ続く", "【アップルッキングカメラ位置調整手順】Ⅰ、ボンディングヘッドに治具(FM-4812)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』でヘッドY軸を+94.5㎜に移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』⇒『カメラ設定』で『アップルッキングカメラ』を選択する。Ⅳ、『照度』を選択し同軸照明の光量を調整し治具の鏡面を映す。Ⅴ、治...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "Words": [ "【調整手順】Ⅰ、ボンディングヘッド、ピックアップヘッドに治具(FM-4812、打痕治具をP/Uノズル用ジョイントにセットしたもの)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入り『ベーシックマシン』⇒『フリップ動作設定』を選択する。Ⅲ、『ボンディングヘッドフリップ受渡し位置Y』の『ティーチ』に入る。・・・・XY同時ティーチの為、フリッ...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolName": "B/H芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "Words": [ "【調整手順】・・・続きⅠ、軸移動でカメラの中心付近に治具の平面部分が来るように移動させる。Ⅱ、治具に銀シールを貼る。・・・・文字部は避けた方が打痕が確認し易いです。Ⅲ、『次へ』を押し、受渡し動作させて打痕を付ける。・・・・次へを押すと自動で動作します。Ⅳ、画面の矢印キーでY方向だけ打痕の中心に緑十字カーソルを移動させ『確認』を押す。 X方向は移動させないこと!", "次ページへ続く" ], "WorkIte...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "Words": [ "【調整手順】・・・続きⅠ、ティーチがX方向だけ反映されていることを確認し『確定』で保存する。Ⅱ、退避動作を行い保存させて再度打痕を付ける。 ※前回と違う場所に打痕を付けて下さい。 →X方向は打痕に合っていて、Y方向は合っていなければ正しいⅢ、アップルッキングカメラのY方向をメカ調整して打痕中心にカメラ中心を合わせる X方向はずらさないように注意することⅣ、再度打痕をつけてズレ量が【±20μ以下】であれば保存して完了...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:20μm以下Y:20μm以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "Words": [ "次ページへ続く", "【アップルッキングカメラ位置調整手順】Ⅰ、ボンディングヘッドに治具をセットしする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『PositionData』⇒『アップルッキングカメラ位置Y』をティーチする", "①", "②", "③", "④", "⑤Y方向を治具の中心へ合わせる", "⑥", "【アッ...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessN...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "Words": [ "入力して保存する", "入力して保存する" ], "WorkItems": [ "1. 前作業の続き" ], "WorkPoints": [ "『ピックアップヘッドフリップ受渡し位置X』の値を『フリップカメラ位置X』と『ピックアップヘッド位置X』に直接入力する", "『アップルッキングカメラ位置Y』へ移動して㉖治具中心とカメラ中心のずれが20μm以内にな...
[ { "WorkName": "アップルッキングカメラ位置調整②", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "FM-4812", "ToolName": "ボンディングヘッド芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:20μm以下Y:20μm以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "Pr...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整①", "Words": [ "【光軸調整手順】Ⅰ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』のエジェクタ『詳細イメージ』を押す。Ⅱ、『交換位置移動』⇒『1』を押しエジェクタを上昇させて治具(FM-4809)を取付ける。(写真参照)Ⅲ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』でエジェクタを上昇させる。Ⅳ、『キャンセル』で抜けて、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』⇒『カメラ設定』で『ウエハカメラ』を選択する。", "次...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolName": "ウエハカメラ光軸調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整②", "Words": [ "視野A", "視野A", "ウエハカメラ", "【光軸調整手順】Ⅰ、『照度』を選択し同軸照明の光量を【30】にする。 ・・・・LED照明やカメラ倍率等が変更になった場合は別途確認Ⅱ、治具の鏡面が目視できれば調整の必要はありません。Ⅲ、目視確認できない場合は光軸が合っていませんので再調整を行って下さい。 (下図参照)", "※再調整方法" ], "WorkItems": ...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整③", "Words": [ "【ピント調整手順】Ⅰ、エジェクタの治具をFM-3537に変更する。Ⅱ、光軸調整同様に治具の鏡面がカメラに映るように軸移動と光量を調整する。Ⅲ、治具鏡面の面にピントが合うようにカメラを調整する。(下図参照)", "【θ調整手順】Ⅰ、光軸調整手順を参考にエジェクタ治具を交換しカメラに治具が映るようにする。Ⅱ、カメラの十字線に対する治具の傾きを確認し傾きを調整する。", "※目安として両端間で赤十字線1本分のス...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ光軸・ピント・θ調整③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3537", "ToolName": "ダイエジェクタ(小径)用芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ位置調整①", "Words": [ "【ウエハカメラ位置調整手順】Ⅰ、ピックアップヘッドにP/U打痕用治具をエジェクタに治具(FM-4809)をセットする。(写真参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』でウエハXYテーブルをエジェクタが上昇できる位置へ移動させる。Ⅲ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』でエジェクタを上昇させる。Ⅳ、『モーターテスト』に戻り、カメラ設定でウエハカメラに治具上面が映るようにし、銀シールを貼る。 ※シ...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ位置調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4809", "ToolName": "ウエハカメラ光軸調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ位置調整②", "Words": [ "【ウエハカメラ位置調整手順】・・・続きⅠ、『モータテスト』でピックアップヘッド反転θ軸を-90°に移動させる。Ⅱ、ピックアップZ軸を徐々に降ろして打痕を付ける。 ※シム等を使用し銀シール上面の座標をティーチし50μ程度押し込む。 (押し込み過ぎると打痕が大きくなり中心が分りづらくなります。治具にも傷がつきます。)Ⅲ、Z軸・反転θ軸の順で原点復帰させ打痕を画面に映す。Ⅳ、打痕を確認し打痕が中心に来る様にカメラを調整する。(下...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ位置調整②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ位置調整③", "Words": [ "【ウエハカメラ位置調整手順】・・・続きⅠ、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』の『カメラ設定』で『ウエハカメラ』を選択する。Ⅱ、『照度』で光量を調整し、『等倍表示』にチェックを付け等倍表示で打痕を映す。Ⅲ、『計測』⇒『1点計測』で十字カーソルを打痕の中心に移動させ、ずれ量を測る。Ⅳ、X方向Y方向共に±20μ以内に入っていることを確認する。Ⅴ、規格外なら再調整を行う。" ], "WorkItems": [ "1...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ位置調整③", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] }...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "エジェクタ基準位置調整①", "Words": [ "【調整手順】Ⅰ、『生産』⇒『機種切替』⇒『ユニット切替』のエジェクタ『詳細イメージ』を押す。Ⅱ、『交換位置移動』⇒『1』を押しエジェクタを上昇させてエジェクタヘッド(設備で手配されたもの)を取付ける。(写真参照)Ⅲ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』でエジェクタを上昇させる。Ⅳ、『キャンセル』で抜けて、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』⇒『カメラ設定』で『ウエハカメラ』を選択する。", ...
[ { "WorkName": "エジェクタ基準位置調整①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "エジェクタ基準位置調整②", "Words": [ "【調整手順】・・・・続きⅠ、『照度』を選択し同軸照明の光量を上げてエジェクタヘッドの上面を映す。Ⅱ、エジェクタヘッドの上面に銀シールを貼る。 ※銀シールは文字部を避けて貼るほうが打痕が見やすいです。Ⅲ、『軸移動』⇒『EJZ』を選択し徐々にニードルを上げていき打痕を付ける。Ⅳ、『等倍表示』を押し、画像を等倍表示させる。Ⅴ、打痕がカメラの中心に来るようにエジェクタを調整する。※平面の崩れに注意", "X方向調整手順", ...
[ { "WorkName": "エジェクタ基準位置調整②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り表示の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "エジェクタ基準位置調整③", "Words": [ "【調整手順】・・・続きⅠ、調整後、再度打痕を付ける。Ⅱ、『計測』⇒『1点計測』で十字カーソルを打痕の中心に移動させ、ずれ量を測る。Ⅲ、X方向Y方向共に±20μ以内に入っていることを確認する。Ⅳ、規格外なら再調整を行う。" ], "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "十字カーソルを打痕の中心に移動させる", "ずれ量を確認" ...
[ { "WorkName": "エジェクタ基準位置調整③", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "エジェクタニードルエジェクタヘッド面高さティーチ", "Words": [ "※ピックアップヘッドエジェクタヘッド面高さティーチに引き続き治具が取付いた状態で実施Ⅰ、『メンテナンス』⇒『メカ調整』⇒『ユニット評価』を選択するⅡ、エジェクターヘッド面高さの『測定』を選択しティーチを実施するⅢ、ピックアップに高さティーチ用治具が取付けてある事を確認し『はい』を選択するⅣ、測定結果を確認し規格値内であれば『確定』⇒『はい』で保存する 規格値:1.5±0.5mm以内 ※規格...
[ { "WorkName": "エジェクタニードルエジェクタヘッド面高さティーチ", "QualityItem": "ヘッド面高さ", "ToolManageNo": "FM-2750", "ToolName": "P/U高さ測定治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:1.5±0.5㎜以内", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "P...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整①", "Words": [ "【光軸調整手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ベーシックマシン』⇒『フリップ動作設定』を選択する。Ⅲ、フリップカメラ位置X・反転θに \"0.000\" が入力されていることを確認する。 ※初期の立ち上げ時は\"0\"の位置でカメラをそれに合わせます。Ⅳ、ピックアップヘッドに芯出し治具(FM-4814)を取付ける。Ⅴ、『メンテナンス』⇒『サービ...
[ { "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4814", "ToolName": "フリップカメラ調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整②", "Words": [ "【光軸調整手順】・・・続きⅠ、『メンテナンス』⇒『認識サービス』⇒『光学テスト』の『カメラ設定』で『フリップカメラ』を選択する。Ⅱ、『照度』で光量を【28】にし画面で治具上面を目視可能か確認する。 ※目視可能であれば光軸が合っていると判断し再調整不要。 目視できなければ下記手順を参考に調整する。", "※再調整方法", "視野A", "視野A", "フリップカメラ", ...
[ { "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整③", "Words": [ "【ピント調整手順】Ⅰ、光軸調整に引き続き作業を行う。Ⅱ、治具鏡面の面にピントが合うようにカメラを調整する。(下図参照) ※高倍表示に切り替えて行うとより正確になります。", "視野A", "視野A" ], "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "Y方向固定ボルト", ...
[ { "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整④", "Words": [ "※再調整方法", "【θ調整手順】Ⅰ、ピント調整に引き続き作業を行う。Ⅱ、カメラの十字線に対する治具の傾きを確認する。Ⅲ、傾きに問題なければ終了し、調整が必要な場合は下図を参考に調整する。" ], "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "CCD固定ボルトを緩めてθを傾ける(3箇所中2箇所)", "治具が...
[ { "WorkName": "フリップカメラ光軸・ピント・θ調整④", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "光軸ずれ無き事ピンとずれ無き事θずれ無き事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ位置調整①", "Words": [ "次ページへ続く", "調整方法", "【位置調整手順】Ⅰ、フリップカメラ光軸・ピント・θ調整を参考にピックアップヘッドに治具(FM-4814)を取付け、『モータテスト』で ピックアップX軸、反転θ軸の順で原点復帰させ『光学テスト』で治具を映す。 ※フリップカメラ光軸・ピント・θ調整に引き続き行えばこの状態です。Ⅱ、治具の中心がカメラの中心に来るようにカメラを調整する。" ], "W...
[ { "WorkName": "フリップカメラ位置調整①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "FM-4814", "ToolName": "フリップカメラ調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ位置調整②", "Words": [ "【位置調整手順】・・・続きⅠ、『計測』⇒『1点計測』で十字カーソルを治具の中心に移動させ、ずれ量を測る。Ⅱ、X方向Y方向共に±20μ以内に入っていることを確認する。Ⅲ、規格外なら再調整を行う。" ], "WorkItems": [ "1. 前ページの続き" ], "WorkPoints": [ "ずれ量を確認", "十字カーソルを治具の中心に移動させる" ], "Tolks...
[ { "WorkName": "フリップカメラ位置調整②", "QualityItem": "中心ズレ量", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X方向Y方向:±20μ以下", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド(アップルッキングカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ①", "Words": [ "【ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ベーシックマシン』⇒『ボンディングヘッド』を選択し【ヘッド中心からキャリブレーションマーク中心Y】のティーチへ入る。・・・Xでも可Ⅲ、初期値へ移動しピントを調整する。(下図参照)", "ピント調整" ], "WorkIte...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド(アップルッキングカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "Pro...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド(アップルッキングカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ②", "Words": [ "【ティーチ手順】・・・続きⅠ、X方向の位置を調整する。(下図参照)Ⅱ、Y方向を軸移動させ治具中心をカメラ中心に合わせる。Ⅲ、『次へ』を押し、カーソル移動で治具中心に緑十字カーソルを移動させズレ量を確認する。Ⅳ、ズレ量がXY共に±0.009㎜以下ならカーソルを0.000㎜に戻し『確認』を押し、0.010㎜以上なら『戻す』で再調整を行う。Ⅴ、ティーチの反映を確認し『確定』で...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド(アップルッキングカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "Pro...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッド(ウエハカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ", "Words": [ "【ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ベーシックマシン』⇒『ピックアップヘッド』を選択し【キャリブレーションマーク位置X(ウエハカメラ)】のティーチへ入る。・・・反転θでも可Ⅲ、初期値へ移動させ軸動作で治具中心をカメラ中心へ移動させる。※光量、傾きに調整が必要な場合は下図参照Ⅳ、『確認』で数値が反映されてい...
[ { "WorkName": "ピックアップヘッド(ウエハカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ピックアップヘッド(アップルッキングカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ", "Words": [ "【ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『ベーシックマシン』⇒『ピックアップヘッド』を選択し【キャリブレーションマーク位置反転θ(アップルッキングカメラ)】に 90.000 を入力する。 ※ブレ防止ストッパーへの衝突防止の為(90°より+に移動すると過負荷でドライバーアラームが出ま...
[ { "WorkName": "ピックアップヘッド(アップルッキングカメラ)キャリブレーションマーク位置ティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "Proce...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ画素レート測定①", "Words": [ "【測定手順】Ⅰ、エジェクタに治具をセットする。(ウエハカメラ光軸調整を参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『カメラ設定』⇒『ウエハカメラ』のティーチに入る。Ⅲ、認識位置へ移動させ『照明』で光量を入力しキャリブレーションマークを映す。Ⅳ、『Bar番号』を【3】に設定する。 ※MD-P200US2は全て手動計測モードで行います。", "次ページへ続く" ...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ画素レート測定①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3537", "ToolName": "ダイエジェクタ用芯出し治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames"...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ画素レート測定②", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、『手動計測用テンプレート表示』を押しテンプレートを表示させる。Ⅱ、テンプレートをBar【3】の左上に合わせて『指定倍率手動計測』を押す。Ⅲ、『画素レート』⇒『全選択』し、『はい』を押し更新する。 ※選択されると背景青色で文字が白色になります。", "Bar番号【3】", "Bar番号【2】", "Bar番号【1】", "次ページへ続く" ], "W...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ画素レート測定②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ウエハカメラ画素レート測定③", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、更新された画素レートを確認し『→』で次に進む。Ⅱ、更新したデータを保存して終了。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考に画素レートを測定する(前ページの続き)" ], "WorkPoints": [ "画素レートを確認し『→』で次に進む", "データを保存する" ], "Tolks": [], "Inspect...
[ { "WorkName": "ウエハカメラ画素レート測定③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ画素レート測定①", "Words": [ "【測定手順】Ⅰ、エジェクタに治具をセットする。(ウエハカメラ光軸調整を参照)Ⅱ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『カメラ設定』⇒『フリップカメラ』のティーチに入る。Ⅲ、認識位置へ移動させ『照明』で光量を入力しキャリブレーションマークを映す。Ⅳ、『Bar番号』を【3】に設定する。 ※MD-P200US2は全て手動計測モードで行います。", "次ページへ続く"...
[ { "WorkName": "フリップカメラ画素レート測定①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-2751", "ToolName": "キャリブレーションマーク治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessName...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ画素レート測定②", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、『手動計測用テンプレート表示』を押しテンプレートを表示させる。Ⅱ、テンプレートをBar【3】の左上に合わせて『指定倍率手動計測』を押す。Ⅲ、『画素レート』⇒『全選択』し、『はい』を押し更新する。 ※選択されると背景青色で文字が白色になります。", "Bar番号【3】", "Bar番号【2】", "Bar番号【1】", "次ページへ続く" ], ...
[ { "WorkName": "フリップカメラ画素レート測定②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "フリップカメラ画素レート測定③", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、更新された画素レートを確認し『→』で次に進む。Ⅱ、更新したデータを保存して終了。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考に画素レートを測定する(前ページの続き)" ], "WorkPoints": [ "画素レートを確認し『→』で次に進む", "データを保存する" ], "Tolks": [], "Inspe...
[ { "WorkName": "フリップカメラ画素レート測定③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ画素レート測定①", "Words": [ "【測定手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『カメラ設定』⇒『アップルッキングカメラ』のティーチに入る。Ⅲ、認識位置へ移動させ『照明』で光量を入力しキャリブレーションマークを映す。Ⅳ、『Bar番号』を【3】に設定する。 ※MD-P200US2は全て手動計測モードで行います。", "次ページへ続く" ], "WorkItems": ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ画素レート測定②", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、『手動計測用テンプレート表示』を押しテンプレートを表示させる。Ⅱ、テンプレートをBar【3】の左上に合わせて『指定倍率手動計測』を押す。Ⅲ、『画素レート』⇒『全選択』し、『はい』を押し更新する。 ※選択されると背景青色で文字が白色になります。", "Bar番号【3】", "Bar番号【2】", "Bar番号【1】", "次ページへ続く" ]...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アップルッキングカメラ画素レート測定③", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、更新された画素レートを確認し『→』で次に進む。Ⅱ、更新したデータを保存して終了。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考に画素レートを測定する" ], "WorkPoints": [ "画素レートを確認し『→』で次に進む", "データを保存する" ], "Tolks": [], "InspectionI...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ画素レート測定①", "Words": [ "【測定手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『カメラ設定』⇒『ボンディングステージカメラ』のティーチに入る。Ⅲ、認識位置へ移動させ『照明』で光量を入力しキャリブレーションマークを映す。Ⅳ、『Bar番号』を【3】に設定する。 ※MD-P200US2は全て手動計測モードで行います。", "次ページへ続く" ], "Work...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ画素レート測定②", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、『手動計測用テンプレート表示』を押しテンプレートを表示させる。Ⅱ、テンプレートをBar【3】の左上に合わせて『指定倍率手動計測』を押す。Ⅲ、『画素レート』⇒『全選択』し、『はい』を押し更新する。 ※選択されると背景青色で文字が白色になります。", "Bar番号【3】", "Bar番号【2】", "Bar番号【1】", "次ページへ続く" ...
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ画素レート測定②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングステージカメラ画素レート測定③", "Words": [ "【測定手順】・・・・続きⅠ、更新された画素レートを確認し『→』で次に進む。Ⅱ、更新したデータを保存して終了。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考に画素レートを測定する" ], "WorkPoints": [ "画素レートを確認し『→』で次に進む", "データを保存する" ], "Tolks": [], "Inspect...
[ { "WorkName": "ボンディングステージカメラ画素レート測定③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ①", "Words": [ "【認識ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『キャリブレーション』⇒『基準ずれ量』の数値が全て\"0\"であることを確認する。・・・\"0\"でない場合は\"0\"を入力Ⅲ、『認識設定』入りボンディング・アップルッキング認識・ピックアップヘッドピックアップ・ピックアップヘッドアップルッキング認識の位置補正を 【する】に変更しティーチ...
[ { "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ]...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ②", "Words": [ "【認識ティーチ手順】・・・・続きⅠ、『ライブ開始』を押し画面をライブ表示にして光量を調整する。Ⅱ、『→』で次に進み認識結果に問題が無ければ『○』で終了させる。 ※NGの場合は『←』で戻り光量の変更やマークの清掃を行い再度ティーチを行う。Ⅲ、『ボンディング』と同じ手順で『アップルッキング』の『認識ティーチ』に入り認識位置に移動させる。 ※ここからは全て『ボンディング』の認識ティーチ同様の手順で進められます...
[ { "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ]...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ③", "Words": [ "【認識ティーチ手順】・・・・続きⅠ、『ライブ開始』を押し画面をライブ表示にして光量を調整する。Ⅱ、『→』で次に進み認識結果に問題が無ければ『○』で終了させる。 ※NGの場合は『←』で戻り光量の変更やマークの清掃を行い再度ティーチを行う。Ⅲ、『ボンディング』と同じ手順で『ベーシックマシン2』を選択し『アップルッキング(ピックアップノズル)』の『認識ティーチ』に入り認識位置に移動させる。 ※ここからは全て...
[ { "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ]...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ④", "Words": [ "【認識ティーチ手順】・・・・続きⅠ、『ライブ開始』を押し画面をライブ表示にして光量を調整する。Ⅱ、『→』で次に進み認識結果に問題が無ければ『○』で終了させる。 ※NGの場合は『←』で戻り光量の変更やマークの清掃を行い再度ティーチを行う。Ⅲ、『ボンディング』と同じ手順で『ベーシックマシン2』を選択し『ピックアップ(ピックアップノズル)』の『認識ティーチ』に入り認識位置に移動させる。 ※ここからは全て『ホ...
[ { "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ④", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ]...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ⑤", "Words": [ "【認識ティーチ手順】・・・・続きⅠ、『ライブ開始』を押し画面をライブ表示にして光量を調整する。Ⅱ、『→』で次に進み認識結果に問題が無ければ『○』で終了させる。 ※NGの場合は『←』で戻り光量の変更やマークの清掃を行い再度ティーチを行う。Ⅲ、『確定』でティーチしたデータを保存して終了。" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順を参考にキャリブレーション認識のティーチを行う(前ページの...
[ { "WorkName": "キャリブレーション認識ティーチ⑤", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ]...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基準ずれ量ティーチ", "Words": [ "【ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine Data』の『編集』に入る。Ⅱ、『キャリブレーション』⇒『基準ずれ量』のティーチに入る。Ⅲ、『ベーシックマシン』を選択し『自動』を押し自動でティーチを行う。 ※前項で認識ティーチを行った4項目全て自動でティーチされます。Ⅳ、データが反映されていることを確認し『確定』で保存し終了。 ※NGの場合はエラーになった項目の認識ティーチに入り再ティーチを行って下さい。" ...
[ { "WorkName": "基準ずれ量ティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認①", "Words": [], "WorkItems": [ "1. ロードセル(100N)を荷重確認用治具プレートにセットしボンディングステージに組付ける", "2. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』 ⇒『編集』に入る", "3. 『ベーシックマシン』⇒『ボンディングステージ』の『荷重測定用ロードセル位置X』の『ティーチ』を選択する", "4. 『OK』...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認①", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3132", "ToolName": "荷重確認用治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認②", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『カメラ設定』を選択しロードセルの中心が確認できるようにライト値を変更する", "2. 『移動レート』を選択しXYテーブルを移動させ、画面中央にロードセルの中心を合わせる", "3. 『確認』を押し、変更後の数値を確認して問題なければ『確定』を押す" ], "WorkPoints": [ "数値を確認する", "中心に移...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認③", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 退避動作を行い、編集をロックして確定を押し保存する" ], "WorkPoints": [ "編集ロック" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels": [], "Jig...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認③", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認④", "Words": [ "感度登録", "設定", "無負荷ゼロ", "設定" ], "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッドに荷重校正治具を組付け、ロードセルとロードセルアンプを接続する", "2. ロードセルアンプに電源を投入し設定を行う" ], "WorkPoints": [ "ロードセルアンプ", "ロード...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認④", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "FM-3131", "ToolName": "荷重校正用治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑤", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『生産』⇒『自動生産』⇒『プロセスモニタ』の『USツール管理』に入り『USツール情報』の『USツール選択』に入る", "2. USツール名の[JIG]を取付ける(選択する)" ], "WorkPoints": [ "取り外し、取付けを行う" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑤", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑥", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Machine_data』の『編集』に入り『荷重校正』⇒『VCM』を編集可能にする", "3. 『OK』を押すと退避動作後、高さをティーチを行うので結果を確認する", "2. 『荷重校正』に入り『荷重校正位置移動』⇒『ロードセルZ位置自動計測』を行う" ], "WorkPoints": [ "編...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑥", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑦", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『荷重測定』を行い測定荷重の値になるように指令荷重を調整する" ], "WorkPoints": [ "固定値【編集不可】", "背景が青の条件で動作します", "指令荷重を変化させロードセルアンプの値が測定荷重と同じになるようにする", "50NヘッドはNo,1~10校正し、100NヘッドはNo,1~20まで校正※5...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑦", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑧", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 『確定』を押し編集をロックする", "2. 『確定』を保存を行う" ], "WorkPoints": [ "編集ロック" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [], "InspectionNos": [], "WorkTypes": [], "ToolPartsModels":...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑧", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑨", "Words": [], "WorkItems": [ "1. ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑥を行う", "2. お客様提出用荷重測定シートに従い荷重精度確認を行う" ], "WorkPoints": [ "指定した荷重で動作します", "測定したい荷重を入力します", "測定値を記録する", "荷重設定【50N仕様】 :±0.3N 【100N仕様】 :...
[ { "WorkName": "ボンディングヘッド荷重校正・荷重確認⑨", "QualityItem": "荷重設定値", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "荷重設定【50N仕様】:±0.3N【100N仕様】:±0.5N", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNam...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定①", "Words": [ "①", "②", "③", "④" ], "WorkItems": [ "2. ㉘㉙をピックアップヘッドへ㉗で取付ける", "1. ボンディングステージに㉖を㉗で取付ける" ], "WorkPoints": [ "下記手順でピックアップヘッドを移動させてノズルを取付ける", "取付方向に注意", "実生産と同じ速度で搬送確認を行うため速度...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4818", "ToolName": "サポートプレート", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定②", "Words": [ "①", "②", "④", "③", "⑤", "① TEGを選択する", "②", "③", "次ページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. USツールを取付けるためツール交換メニューを開く" ], "WorkPoints": [ "下記手順に従って装置画面上で操作をする" ], "Tolks...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定②", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定③", "Words": [ "①", "K022-2 取付け箇所", "K022-2:クランピングスクリュー 2-M4×6-R", "②シリコンチューブを取付ける", "③コネクタを取付ける", "①FM-6472を取付け", "②", "取付けが完了すると緑○が点灯する", "①", "次のページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. ボンデ...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定③", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-6472", "ToolName": "USツール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-"...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定④", "Words": [ "① 自動測定", "②手動ティーチ", "③", "① 画像のノズル中心にカーソルを合わせる", "②", "①", "戻るで終了", "USツール取付完了" ], "WorkItems": [ "1. USツール高さ測定&オフセットティーチングを実施する" ], "WorkPoints": [ "以下の手順で作業を実施する" ...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定④", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑤", "Words": [ "次のページへ続く", "①", "②", "③", "④", "①ピンに当てつけ", "②レバーをロック", "⑤", "ウエハユニットが移動するので注意" ], "WorkItems": [ "1. ウエハを取付ける" ], "WorkPoints": [ "以下の手順で作業を実施する" ], "Tolk...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑤", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ウエハ□1.2㎜", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ]...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑥", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "⑤ カーソル中心へチップを合わせる", "⑦ サーチ方向を決定", "⑥ ウエハの角度を調整する", "⑧" ], "WorkItems": [ "1. ウエハスタートポイントをティーチする" ], "WorkPoints": [ "以下の手順で作業を実施する" ], "Tolks...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑥", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑦", "Words": [ "①", "②", "③", "④PUノズルにチェック", "⑤ティーチを押す", "自動ティーチ" ], "WorkItems": [ "1. ピックアップノズルの高さオフセットティーチを実施する" ], "WorkPoints": [ "以下の手順で作業を実施する" ], "Tolks": [], "InspectionItem...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑦", "QualityItem": "高さ測定", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑧", "Words": [ "約90mm", "■:実装点", "5点実装用", "45点実装用", "実装位置オフセット入力後精度測定用", "実装位置オフセット入力前精度測定用" ], "WorkItems": [ "2. ㉖に㉗を貼付ける", "1. ㉗をカットする" ], "WorkPoints": [ "㉗を適切な長さに切断したのちにさらに縦に半分に切断する", ...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑧", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4815", "ToolName": "ガラス基板", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑨", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "⑤ ステージを初期位置へ移動させる", "⑥ ステージ吸着をONする", "ボンディングステージ上に基板をセット出来たら「基板セット」ボタンを押す", "基板のイラストが表示されれば準備完了", "ボンディングステージ" ], "WorkItems": [ "1. ㉖をステージ上にセット...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑨", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-4815", "ToolName": "ガラス基板", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑩", "Words": [ "①", "②", "③「Glasss_4inch_20mmPitch」を選択", "④", "①", "②", "③「ボンディングステージ基板高さ」を選択", "④", "⑤", "①両面テープが貼ってあるパターンへ移動", "②", "③ 自動ティーチ", "④", "品種データ画面で「✓」を入れて保存" ...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑩", "QualityItem": "高さ測定", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑪", "Words": [ "①", "②", "④", "③", "⑤", "⑥", "⑦", "指示通りがチップをピックアップできることを確認する・チップがフリップカメラの中心に来ているか・チップに傾きがないか・チップに大きな打痕がないか・何度か試して再現性があるか", "◆トラブルシュート" ], "WorkItems": [ "1. チップのピックア...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑪", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑫", "Words": [ "①", "②", "④", "③", "⑤", "指示通りがチップを受け渡しできることを確認する・チップがアップルキングカメラの中心に来ているか・チップに傾きがないか・チップに大きな傷、欠けなどないか・何度か試して再現性があるか", "◆トラブルシュート" ], "WorkItems": [ "1. チップの受け渡し動作確認を行う" ], ...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑫", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "TEG実装精度測定⑬", "Words": [ "①", "②", "④ 実装ユニットを選択", "③", "⑤", "◆実装精度測定の流れ① 5点実装する (実装位置確認用)② NEXIVで実装精度を測定する③ ②の結果のオフセットを設備へ入力④ 45点実装する (出荷データ用)⑤ NEXIVで実装精度を測定する → 完了", "⑥", "①値を入力", "②", "◆実装精度が悪化する要因・基板高さオフ...
[ { "WorkName": "TEG実装精度測定⑬", "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板チャック高さ調整(搬送アーム)", "Words": [ "搬入アーム", "基 板", "チャック", "【調整手順】Ⅰ、全軸原点復帰を行い『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モータテスト』の『基板搬入軸』を選択するⅡ、移動距離に190mmを入力し、『移動』を選択し移動させるⅢ、『シリンダテスト』で『プリステージ上下』を『ON』させてプリステージを上昇させるⅣ、基板チャックをレール中心に調整し基板をプリステージにセットするⅤ、『基板搬入チャック』を...
[ { "WorkName": "基板チャック高さ調整(搬送アーム)", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames":...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "PS搬送レール平行度調整", "Words": [ "【調整手順】Ⅰ、、基板を搬送レールに取付ける ※ユーザーワークがある場合はユーザーワークを取付ける事Ⅲ、治具基板にシックネスゲージ(0.5mm)を挟み込み可動側レールを調整する", "【調整手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』に入り『ボンディングステージ上下』と『プリステージ上下』を『ON』させて上昇させるⅡ、基板をセットしプリステージとボンディングステージの基準側レールの...
[ { "WorkName": "PS搬送レール平行度調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "シックネスゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板搬送レール平行度調整", "Words": [ "Ⅰ、、基板を搬送レールに取付ける ※ユーザーワークがある場合はユーザーワークを取付ける事Ⅱ、治具基板にシックネスゲージ(0.5mm)を挟み込み可動側レールを調整する", "【調整手順】Ⅰ、基板搬入アームを移動させる 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『モーターテスト』⇒『基板搬入軸』⇒移動量に『250mm』⇒『移動』Ⅱ、プリステージを上昇させる 『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダーテスト』⇒『プリステー...
[ { "WorkName": "基板搬送レール平行度調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "シックネスゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "搬出レール平行度調整", "Words": [ "【調整手順】Ⅰ、、基板を搬出レールにセットする ※ユーザーワークがある場合はユーザーワークをセットする事Ⅱ、治具基板にシックネスゲージ(0.5mm)を挟み込み可動側レールを調整する", "【調整手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダテスト』にてボンディングステージを上昇、搬出レールを下降させる 『ボンディングステージ上下』⇒『ON』 『基板搬出レール上下』⇒『OFF』Ⅱ、搬出アームを移動さ...
[ { "WorkName": "搬出レール平行度調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "シックネスゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "B/S搬送レール幅調整", "Words": [ "治具", "固定ボルト" ], "WorkItems": [ "2. 治具㉘㉙㉚を使用して㉗でボンディングステージレール幅の調整を行う", "1. 搬送する基板に合わせて㉘㉙㉚の幅を㉖で調整する" ], "WorkPoints": [ "使用治具参考FM-6680:30.5~50.5mmFM-6681:50.5~90.5mmFM-6682:90.5~170.5mm", "...
[ { "WorkName": "B/S搬送レール幅調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-6680", "ToolName": "基板幅合せ治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "P/S搬送レール幅調整", "Words": [ "治具", "固定ボルト" ], "WorkItems": [ "2. 治具㉘㉙㉚を使用して㉗でプリステージレール幅の調整を行う", "1. 搬送する基板に合わせて㉘㉙㉚の幅を㉖で調整する" ], "WorkPoints": [ "使用治具参考FM-6680:30.5~50.5mmFM-6681:50.5~90.5mmFM-6682:90.5~170.5mm", "搬送する...
[ { "WorkName": "P/S搬送レール幅調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-6680", "ToolName": "基板幅合せ治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板搬入レール幅調整", "Words": [ "治具", "固定ボルト" ], "WorkItems": [ "2. 治具㉗㉘㉙を使用して㉖でプリステージレール幅の調整を行う", "1. 搬送する基板に合わせて㉗㉘㉙の幅を㉖で調整する" ], "WorkPoints": [ "使用治具参考FM-6680:30.5~50.5mmFM-6681:50.5~90.5mmFM-6682:90.5~170.5mm", "搬送する基...
[ { "WorkName": "基板搬入レール幅調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-6680", "ToolName": "基板幅合せ治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-"...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板搬出レール幅調整", "Words": [ "治具", "固定ボルト" ], "WorkItems": [ "2. 治具㉘㉙㉚を使用して㉗でプリステージレール幅の調整を行う", "1. 搬送する基板に合わせて㉘㉙㉚の幅を㉖で調整する" ], "WorkPoints": [ "使用治具参考FM-6680:30.5~50.5mmFM-6681:50.5~90.5mmFM-6682:90.5~170.5mm", "レールが平...
[ { "WorkName": "基板搬出レール幅調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-6680", "ToolName": "基板幅合せ治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-"...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "P/S搬送レール搬出レール高さ調整", "Words": [ "【調整手順】Ⅰ、全軸原点復帰を行うⅡ、『メンテナンス』⇒『サービス』⇒『シリンダーテスト』⇒『プリステージ上下』を選択し『ON』で上昇させるⅢ、『ボンディングステージ上下』を選択し『ON』で上昇させるⅣ、『基板搬出レール上下』を選択し『OFF』で下降させるⅤ、基板でプリステージ搬送レールとボンディングステージ搬送レールの乗り継ぎを確認するⅥ、基板でボンディングステージ搬送レールと基板排出レールの乗り...
[ { "WorkName": "P/S搬送レール搬出レール高さ調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ローダ・アンローダ平面調整", "Words": [ "水準器", "ローダ", "アンローダ", "【調整手順】Ⅰ、全軸原点復帰を行うⅡ、アンローダーを『モーターテスト』で+200mmに移動させるⅢ、水準器をセットし治具:FM-4808で平面を調整するⅣ、水準:X=0.04㎜(2目盛り) Y=0.06㎜(3目盛り)", "水準器" ], "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いローダ・アンローダの平面度を調整...
[ { "WorkName": "ローダ・アンローダ平面調整", "QualityItem": "平面調整", "ToolManageNo": "FM-4808", "ToolName": "ローダー、アンローダー平面調整治具", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:X=0.04㎜(2目盛り)Y=0.06㎜(3目盛り)", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-"...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "マガジンガイド幅調整", "Words": [ "固定ボルト", "固定ボルト" ], "WorkItems": [ "1. 使用するマガジン㉗㉘に合わせてガイド幅の調整を㉖で行う ローダー側", "2. 使用するマガジン㉗㉘に合わせてガイド幅の調整を㉖で行う アンローダー側" ], "WorkPoints": [ "マガジンをセットしたときにガタがなくスムーズにマガジンを抜き差しできること", "マ...
[ { "WorkName": "マガジンガイド幅調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "FM-6685", "ToolName": "基板マガジン", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ローダーリフタ基準位置Z(手前)高さティーチ", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』⇒『基板搬送ユニット』⇒『マガジン』⇒『ローダーリフター基板位置Z手前』を選択する ※『№5 治具厚み 15mm』を確認し作業を行う事Ⅱ、退避動作を行い、初期位置へ移動させるⅢ、ローダーリフターのBASEの上面にブロックゲージ(15mm)をセットするⅣ、搬出レールとブロックゲージの高さが合う位置にローダーリフタの高さ...
[ { "WorkName": "ローダーリフタ基準位置Z(手前)高さティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:10.1±1.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ローダーリフタ基準位置Z(奥)高さティーチ", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』⇒『基板搬送ユニット』⇒『マガジン』⇒『ローダーリフター基板位置Z奥』を選択する ※『№5 治具厚み 15mm』を確認し作業を行う事Ⅱ、退避動作を行い、初期位置へ移動させるⅢ、ローダーリフターのBASEの上面にブロックゲージ(15mm)をセットするⅣ、搬出レールとブロックゲージの高さが合う位置にローダーリフタの高さをテ...
[ { "WorkName": "ローダーリフタ基準位置Z(奥)高さティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:10.1±1.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アンローダーリフタ基準位置Z(手前)高さティーチ", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』⇒『基板搬送ユニット』⇒『マガジン』⇒『アンローダーリフター基板位置Z手前』を選択するⅡ、退避動作を行い、初期位置へ移動させるⅢ、アンローダーリフターのBASEの上面にブロックゲージ(15mm)をセットするⅣ、搬出レールとブロックゲージの高さが合う位置にアンローダーリフタの高さをティーチする(高さ:210.1±1....
[ { "WorkName": "アンローダーリフタ基準位置Z(手前)高さティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:210.1±1.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アンローダーリフタ基準位置Z(奥)高さティーチ", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』⇒『基板搬送ユニット』 ⇒『マガジン』⇒『アンローダーリフター基板位置Z奥』を選択するⅡ、退避動作を行い、初期位置へ移動させるⅢ、アンローダーリフターのBASEの上面にブロックゲージ(15mm)をセットするⅣ、搬出レールとブロックゲージの高さが合う位置に アンローダーリフタの高さをティーチする(高さ:210...
[ { "WorkName": "アンローダーリフタ基準位置Z(奥)高さティーチ", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:210.1±1.5㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames"...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ローダーマガジンリフター搬送位置調整①", "Words": [ "Ⅰ、『生産』⇒『材料供給』⇒『ローダーアンローダー』⇒『ローダー操作』⇒『マガジン切替(後)』を選択するⅡ、ローダーに15mmと6mmのブロックゲージをセットしスケールでズレを確認するⅢ、『マガジン切替(前)』を選択しマガジンを切替えるⅣ、ローダー後方のショックアブソーバーで確認したズレを調整するⅤ、『マガジン切替(後)』を選択しマガジンを切替えるⅥ、再度ローダーに15mmと6m...
[ { "WorkName": "ローダーマガジンリフター搬送位置調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ローダーマガジンリフター搬送位置調整②", "Words": [ "Ⅰ、『生産』⇒『材料供給』⇒『ローダーアンローダー』⇒『ローダー操作』⇒『マガジン切替(後)』を選択するⅡ、ローダーに15mmと6mmのブロックゲージをセットしスケールでズレを確認するⅢ、『マガジン切替(前)』を選択しマガジンを切替えるⅣ、ローダー後方のショックアブソーバーで確認したズレを調整するⅤ、『マガジン切替(後)』を選択しマガジンを切替えるⅥ、再度ローダーに15mmと6m...
[ { "WorkName": "ローダーマガジンリフター搬送位置調整②", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アンローダーマガジンリフター搬送位置調整①", "Words": [ "Ⅰ、『生産』⇒『材料供給』⇒『ローダーアンローダー』⇒『アンローダー操作』⇒『マガジン切替(前)』を選択するⅡ、ローダーに15mmと6mmのブロックゲージをセットしスケールでズレを確認するⅢ、『マガジン切替(後)』を選択しマガジンを切替えるⅣ、ローダー後方のショックアブソーバーで確認したズレを調整するⅤ、『マガジン切替(前)』を選択しマガジンを切替えるⅥ、再度ローダーに15m...
[ { "WorkName": "アンローダーマガジンリフター搬送位置調整①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アンローダーマガジンリフター搬送位置調整②", "Words": [ "Ⅰ、『生産』⇒『材料供給』⇒『ローダーアンローダー』⇒『アンローダー操作』⇒『マガジン切替(後)』を選択するⅡ、ローダーに15mmと6mmのブロックゲージをセットしスケールでズレを確認するⅢ、『マガジン切替(前)』を選択しマガジンを切替えるⅣ、ローダー後方のショックアブソーバーで確認したズレを調整するⅤ、『マガジン切替(後)』を選択しマガジンを切替えるⅥ、再度ローダーに15m...
[ { "WorkName": "アンローダーマガジンリフター搬送位置調整②", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "プッシャーY方向位置調整", "Words": [ "固定ボルト" ], "WorkItems": [ "1. マガジン(基板)の中心へプッシャー位置を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:プッシャーY方向位置調整" ], "InspectionNos": [ "WDWS-5400-004" ], "W...
[ { "WorkName": "プッシャーY方向位置調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板受取位置Xティーチ", "Words": [ "Ⅰ、『生産』⇒『ユニット操作』⇒『ローダーアンローダー』⇒『ローダー操作』⇒『マガジン切替』で前側にマガジンを切替えるⅡ、基板を入れたマガジンをローダーにセットするⅢ、『モータテスト』で基板搬入アームを1.0㎜に移動させるⅣ、ローダリフタを基板が入っている段に移動させ『シリンダーテスト』でプッシャーを『ON』させるⅤ、基板とチャックとの隙間が1㎜になるようにプッシャーの位置を調整する", "Ⅰ、『メンテナンス...
[ { "WorkName": "基板受取位置Xティーチ", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:15±3.0㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板搬送爪Y方向調整", "Words": [ "搬送アーム爪位置を調整する", "固定ボルト", "固定ボルト" ], "WorkItems": [ "1. 基板(レール)の中心へ搬送アーム爪を調整する", "2. 基板(レール)の中心へ搬出アーム爪を調整する" ], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:基板搬送爪前後調整" ...
[ { "WorkName": "基板搬送爪Y方向調整", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "過負荷検出確認①", "Words": [ "プッシュプルゲージ", "突き出た状態で測定" ], "WorkItems": [ "1. 基板プッシャーの過負荷検出負荷を確認する" ], "WorkPoints": [ "調整はできないので確認のみ実施", "プッシャーを突き出した状態で確認する", "プッシャー:225±25N" ], "Tolks": [], "InspectionItem...
[ { "WorkName": "過負荷検出確認①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "プッシュプルゲージ", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "過負荷検出確認②", "Words": [ "固定ボルト", "プッシュプルゲージ", "固定ボルト", "プッシュプルゲージ" ], "WorkItems": [ "1. 基板搬送アームの過負荷検出負荷調整ばねの引っ張りを調整して過負荷を検出する負荷を調整する", "2. 基板搬出アームの過負荷検出負荷調整ばねの引っ張りを調整して過負荷を検出する負荷を調整する" ], "WorkPoints": [ ...
[ { "WorkName": "過負荷検出確認②", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "プッシュプルゲージ", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ステージ吸着力確認①", "Words": [ "①", "②", "③", "④", "⑤ 基板吸着ON", "次に続く", "グリース塗布 ゴマ粒:各3" ], "WorkItems": [ "▲1. 顧客用サポートプレートをプリステージとボンディングステージに取付ける", "2. 基板をステージ上に搬入しない状態で基板吸着をONして圧力が下がらないことを確認する" ], ...
[ { "WorkName": "ステージ吸着力確認①", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "ステージ吸着力確認②", "Words": [], "WorkItems": [ "1. 基板をステージ上に搬入して基板吸着をONして圧力が下がることを確認する" ], "WorkPoints": [ "圧力SW場所", "基板あり:-65.0kPa以下であること", "顧客基板が支給されている場合はそちらを使用すること" ], "Tolks": [], "InspectionItems": [ "検査表①:ステージ...
[ { "WorkName": "ステージ吸着力確認②", "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り取付ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "PS搬送基準位置ティーチ(搬送アーム)", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』を選択するⅡ、『基板搬送ユニット』⇒『搬送アーム』⇒『プリステージ搬送基準位置』を選択しティーチするⅢ、初期位置へ移動させるⅣ、搬送アームをプリステージの中央にティーチする(入力範囲:145±3.0㎜)Ⅴ、『確認』⇒『確定』を選択し保存する", "搬送アームチャック面をステージ中央にティーチする", "ステージ中央"...
[ { "WorkName": "PS搬送基準位置ティーチ(搬送アーム)", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "ブロックゲージ", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:145±3.0㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "BS搬送基準位置ティーチ(搬送アーム)", "Words": [ "【ティーチ手順】Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』を選択するⅡ、『基板搬送ユニット』⇒『搬送アーム』⇒『ボンディングステージ搬送基準測定治具』にティーチに使用する基板寸法を入力する ※基板がない場合はスケールで測定する値でも可Ⅲ、『ボンディングステージ搬送基準位置』を選択し『ティーチ』に入るⅢ、初期位置へ移動させるⅣ、搬送アーム+基板(スケール寸法可)がボンデ...
[ { "WorkName": "BS搬送基準位置ティーチ(搬送アーム)", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "スケール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:348±3.0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "BS搬送基準位置ティーチ(搬出アーム)", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』を選択するⅡ、『基板搬送ユニット』⇒『搬出アーム』⇒『ボンディングステージ搬送基準位置』を選択しティーチするⅢ、初期位置へ移動させるⅣ、搬出アームをボンディングステージの中央にティーチする(入力範囲:-270±3.0㎜)Ⅴ、『確認』⇒『確定』を選択し保存する", "搬出アーム", "1㎜", "ステーシ...
[ { "WorkName": "BS搬送基準位置ティーチ(搬出アーム)", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "スケール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:-270±3.0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "アンローダー基板収納位置ティーチ(搬出アーム)", "Words": [ "Ⅰ、『メンテナンス』⇒『マシンデータ』⇒『Positions Data』⇒『編集』に入り 『基板搬送ユニット』⇒『搬出アーム』⇒『基板搬出位置』を選択するⅡ、初期位置(デフォルト値:255mm)へ移動させる(入力範囲:257±3.0㎜)Ⅲ、搬出アームがアンローダーリフターBASEの側面より2mm程度押し込まれている事を確認するⅣ、NG時:搬出アームがアンローダーリフターBASEの側面より2mm押し込む位置にティ...
[ { "WorkName": "アンローダー基板収納位置ティーチ(搬出アーム)", "QualityItem": "表示確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "スケール", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "入力範囲:257±3.0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ...
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板搬送確認①", "Words": [ "③「Substrate_93.81」を選択・編集する", "①", "②", "④", "①", "②", "次のページへ続く" ], "WorkItems": [ "1. 各種設定が指示通りされていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "品種データ設定 『Substtate_93.81』を使用すること", "「基板...
[ { "WorkName": "基板搬送確認①", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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{ "UnitName": "MD-P200US2: 本体カバ-(ドッキング)", "WorkName": "基板搬送確認②", "Words": [ "③", "①", "②", "④", "①", "②", "次のページへ続く", "③", "④" ], "WorkItems": [ "1. 各種設定が指示通りされていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Machine Data」", "基板搬送速度 高...
[ { "WorkName": "基板搬送確認②", "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolName": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Others": "-", "ProcessNames": [ "-" ] } ]
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