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{ "ToolName": "油砥石", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "Yフレーム(3)・カバー取付け", "WorkItems": [ "1. 架台への取付け面に砥石をかけ、㉗で洗浄する" ], "WorkPoints": [ "底面", ":架台への取付け面" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "▲特殊作業", "◆作業者安全作業" ] }
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{ "ToolName": "トルクドライバー", "Size": "2㎜", "ToolOther": "150cN・m", "WorkName": "Yフレーム(3)・カバー取付け", "WorkItems": [ "◆3. 2完成品をピンに嵌め込み、BOLT BOLT で取付ける", "▲2. Y-FRAME(3) にCOVER をBOLT で取付ける" ], "WorkPoints": [ "設備内側", "㉚を塗布する" ], "Tolks": [ "締付トルク 150cN・m" ], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "FRONT", "グリース塗布 米粒:各1", "▲特殊作業", "◆作業者安全作業" ] }
{ "QualityItem": "締付トルク", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "日常点検(1回/日)", "ToolRecord": "トルクチェック台帳", "StdVal": "150cN・m±10%", "Method": "トルクドライバー", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "ロックタイト", "Size": "", "ToolOther": "243", "WorkName": "Yフレーム(3)・カバー取付け", "WorkItems": [ "◆3. 2完成品をピンに嵌め込み、BOLT BOLT で取付ける", "▲2. Y-FRAME(3) にCOVER をBOLT で取付ける" ], "WorkPoints": [ "設備内側", "㉚を塗布する" ], "Tolks": [ "締付トルク 150cN・m" ], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "FRONT", "グリース塗布 米粒:各1", "▲特殊作業", "◆作業者安全作業" ] }
{ "QualityItem": "接着量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示箇所に塗布米粒:各1", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "ロックタイト243", "ProcessNames": [ "特殊工程" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "Yフレーム(3)・カバー取付け", "WorkItems": [ "◆3. 2完成品をピンに嵌め込み、BOLT BOLT で取付ける", "1. 架台への取付け面に砥石をかけ、㉗で洗浄する", "▲2. Y-FRAME(3) にCOVER をBOLT で取付ける" ], "WorkPoints": [ "底面", "設備内側", "設備外側", "㉚を塗布する", ":架台への取付け面" ], "Tolks": [ "締付トルク 150cN・m", "締付トルク 9.8N・m" ], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "FRONT", "グリース塗布 米粒:各1" ] }
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{ "QualityItem": "表面確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "バリ等無い事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "トルクドライバー", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "Yフレーム(2)・カバー取付け", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [] }
{ "QualityItem": "締付トルク", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "日常点検(1回/日)", "ToolRecord": "トルクチェック台帳", "StdVal": "150cN・m±10%", "Method": "トルクドライバー", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "油砥石", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "Yフレーム(1)・カバー取付け", "WorkItems": [ "1. 架台への取付け面に砥石をかけ、㉗で洗浄する" ], "WorkPoints": [ "底面", ":架台への取付け面" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "▲特殊作業", "◆作業者安全作業" ] }
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{ "ToolName": "トルクドライバー", "Size": "2㎜", "ToolOther": "150cN・m", "WorkName": "Yフレーム(1)・カバー取付け", "WorkItems": [ "◆3. 1完成品ををピンに嵌め込み、BOLT BOLT で仮取付けする", "▲2. Y-FRAME(1) にCOVER をBOLT で取付ける" ], "WorkPoints": [ "設備内側", "設備外側", "㉚を塗布する", "SD-EJM2FB1-285にて本締結実施" ], "Tolks": [ "締付トルク 150cN・m" ], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "FRONT", "グリース塗布 米粒:各1", "▲特殊作業", "◆作業者安全作業" ] }
{ "QualityItem": "締付トルク", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "日常点検(1回/日)", "ToolRecord": "トルクチェック台帳", "StdVal": "150cN・m±10%", "Method": "トルクドライバー", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "ロックタイト", "Size": "", "ToolOther": "243", "WorkName": "Yフレーム(1)・カバー取付け", "WorkItems": [ "◆3. 1完成品ををピンに嵌め込み、BOLT BOLT で仮取付けする", "▲2. Y-FRAME(1) にCOVER をBOLT で取付ける" ], "WorkPoints": [ "設備内側", "設備外側", "㉚を塗布する", "SD-EJM2FB1-285にて本締結実施" ], "Tolks": [ "締付トルク 150cN・m" ], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "FRONT", "グリース塗布 米粒:各1", "▲特殊作業", "◆作業者安全作業" ] }
{ "QualityItem": "接着量", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示箇所に塗布米粒:各1", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "ロックタイト243", "ProcessNames": [ "特殊工程" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "Yフレーム(1)・カバー取付け", "WorkItems": [ "◆3. 1完成品ををピンに嵌め込み、BOLT BOLT で仮取付けする", "1. 架台への取付け面に砥石をかけ、㉗で洗浄する", "▲2. Y-FRAME(1) にCOVER をBOLT で取付ける" ], "WorkPoints": [ "底面", "設備内側", "設備外側", "㉚を塗布する", ":架台への取付け面", "SD-EJM2FB1-285にて本締結実施" ], "Tolks": [ "締付トルク 150cN・m" ], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "FRONT", "グリース塗布 米粒:各1" ] }
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付け出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "二人作業", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "トルクレンチ", "Size": "6㎜", "ToolOther": "20.5N・m", "WorkName": "ストッパー・Yフレーム(1)本取付け", "WorkItems": [ "1. ストッパーにBOLT を仮入れする", "2. 架台に取付ける4本を締め付ける", "4. Yフレームを本取付けする" ], "WorkPoints": [ "ストッパーを下側に押さえ付けて締結のこと" ], "Tolks": [ "締付トルク 20.5N・m", "締付トルク 9.8N・m" ], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [] }
{ "QualityItem": "締付トルク", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "日常点検(1回/日)", "ToolRecord": "トルクチェック台帳", "StdVal": "20.5N・m±10%", "Method": "トルクレンチ", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "トルクレンチ", "Size": "5㎜", "ToolOther": "9.8N・m", "WorkName": "ストッパー・Yフレーム(1)本取付け", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [] }
{ "QualityItem": "締付トルク", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "日常点検(1回/日)", "ToolRecord": "トルクチェック台帳", "StdVal": "9.8N・m±10%", "Method": "トルクレンチ", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "操作パネルケーブル固定(REAR)", "WorkItems": [ "1. ストッパーにケーブルを固定する" ], "WorkPoints": [ "S203", "REAR", "3A04", "USBA04", "RSW1R", "1A04", "P212P 他", "束線の白インシュロック位置", "フェライトコアは固定しない" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "インシュロック指示", "・ケーブル同士を固定", "・タイマウントに固定 又は板金に固定" ] }
{ "QualityItem": "引き回し確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り引き回し出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [ "作業者安全工程" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "150㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "本体架台レベル出し", "WorkItems": [ "1. アジャストボルトの長さが89㎜の高さでレベル出しを行う" ], "WorkPoints": [ "水準器", "0.04㎜/m以下(通常使用の水準器2目盛り分【0.02/目盛】)" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "89㎜", "検査表①:架台レベル調整" ] }
{ "QualityItem": "水準確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "寸法:89㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "水準器", "Size": "0.02㎜/目盛", "ToolOther": "", "WorkName": "本体架台レベル出し", "WorkItems": [ "1. アジャストボルトの長さが89㎜の高さでレベル出しを行う" ], "WorkPoints": [ "水準器", "0.04㎜/m以下(通常使用の水準器2目盛り分【0.02/目盛】)" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "89㎜", "検査表①:架台レベル調整", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "水準確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "0.04㎜以下(2目盛り以内)", "Method": "水準器", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "D-PIN圧入確認", "WorkItems": [ "1. 本体フレームにD-PINが56本圧入されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "32本", "24本", "赤色のポイントがD-PINです" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "※2階部分", "※1階部分", "検査表①:本体フレームHIPIN圧入確認", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ヘッドY軸組付け", "WorkItems": [ "1. 本体フレームにヘッドY軸を水平に調整する" ], "WorkPoints": [ "10μ/250㎜以下", "ヘッドY軸調整用治具を上下する", "平面度:10μ/250㎜以下", "天板上に載せたブロックゲージをY軸から測定する", "ヘッドY軸", "Y軸フレーム" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ヘッドY軸組付け", "【作業手順】Ⅰ、ヘッドY軸をY軸フレームのD-PIN、調整治具に合わせ仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、ヘッドY軸にダイヤルゲージをセットし、ブロックゲージ面を測定するⅢ、測定値が規格内なら増し締めして、再度ズレがないか測定する", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μ以下/250㎜範囲", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ヘッドY軸調整用治具", "Size": "", "ToolOther": "FM-4819", "WorkName": "ヘッドY軸組付け", "WorkItems": [ "1. 本体フレームにヘッドY軸を水平に調整する" ], "WorkPoints": [ "10μ/250㎜以下", "ヘッドY軸調整用治具を上下する", "平面度:10μ/250㎜以下", "天板上に載せたブロックゲージをY軸から測定する", "ヘッドY軸", "Y軸フレーム" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ヘッドY軸組付け", "【作業手順】Ⅰ、ヘッドY軸をY軸フレームのD-PIN、調整治具に合わせ仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、ヘッドY軸にダイヤルゲージをセットし、ブロックゲージ面を測定するⅢ、測定値が規格内なら増し締めして、再度ズレがないか測定する", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "FM-4819", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μ以下/250㎜範囲", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "100㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ヘッドY軸組付け", "WorkItems": [ "1. 本体フレームにヘッドY軸を水平に調整する" ], "WorkPoints": [ "10μ/250㎜以下", "ヘッドY軸調整用治具を上下する", "平面度:10μ/250㎜以下", "天板上に載せたブロックゲージをY軸から測定する", "ヘッドY軸", "Y軸フレーム" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ヘッドY軸組付け", "【作業手順】Ⅰ、ヘッドY軸をY軸フレームのD-PIN、調整治具に合わせ仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、ヘッドY軸にダイヤルゲージをセットし、ブロックゲージ面を測定するⅢ、測定値が規格内なら増し締めして、再度ズレがないか測定する", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "平面度:10μ以下/250㎜範囲", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "基板XYテーブル組付け(B/S含む)", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板XYテーブルをY軸に平行に調整する" ], "WorkPoints": [ "規格:20μ/150㎜以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、基板XYテーブルをD-PINに当付けて仮止めする。(本体ドッキング工程)Ⅱ、テーブルにテコ式ダイヤルゲージをセットしヘッドY軸のリニアを測定する。Ⅲ、測定値が規格内なら増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、規格外もしくは増し締め後に規格外になった場合は、 Y方向のどちらかのPIN当てを外して規格内に収める。", "検査表①:基板X゙Yテーブル組付け", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μ/150㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "プリステージ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いプリステージの組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ピンの位置", "隙間確認:0.01mm以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、プリステージをD-PINに当付けて仮止めする。(本体ドッキング工程)Ⅱ、シムで隙間を確認し問題なければ増し締めする。Ⅲ、再度シムで確認し隙間がなければ完了。隙間がある場合は再調整。", "検査表①:プリステージ組付け", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:0.01㎜以下", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハXYテーブル組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハXYテーブルをY軸に平行に調整する" ], "WorkPoints": [ "規格:20μ/200㎜以下", "ウエハXYテーブル用D-PIN" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、ウエハXYテーブルをD-PINに当付けて仮止めする。(本体ドッキング工程)Ⅱ、テーブルにテコ式ダイヤルゲージをセットしヘッドY軸のリニアを測定する。Ⅲ、測定値が規格内なら増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、規格外もしくは増し締め後に規格外になった場合は、 Y方向のどちらかのPIN当てを外して規格内に収める。", "検査表①:ウエハX゙Yテーブル組付け", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:20μ/200㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ダイエジェクタ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いダイエジェクタを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "隙間確認:0.01mm以下", "ダイエジェクタ用D-PIN" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ダイエジェクタ組付け", "【作業手順】Ⅰ、ダイエジェクタをD-PINに当付けて仮止めする。(本体ドッキング工程)Ⅱ、D-PINの隙間を確認し本締めする", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:0.01㎜以下", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハカセットリフタ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハカセットリフターを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "当付け確認:隙間0.01㎜以下", "ウエハカセットリフタ用D-PIN" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ウエハカセットリフタ組付け", "【作業手順】Ⅰ、ウエハカセットリフターをD-PINに当付けて仮止めする。(本体ドッキング工程)Ⅱ、D-PINの隙間を確認し本締めする", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "隙間確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "隙間:0.01㎜以下", "Method": "シックネスゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハフレームトランスファー組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハフレームトランスファーをウエハX軸に平行に調整する" ], "WorkPoints": [ "規格:30μ/200㎜以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、ウエハフレームトランスファーをD-PINに当付けて仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、ウエハテーブルにテコ式ダイヤルゲージをセットしウエハフレームトランスファーの リニア側面をX方向に測定する。Ⅲ、測定値が規格内なら増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、規格外もしくは増し締め後に規格外になった場合は、 X方向のどちらかのPIN当てを外して規格内に収める。", "検査表①:ウエハフレームトランスファー組付け", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "平行度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平行度:30μ/200㎜以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハシートブローヒータ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いウエハシートブローヒータを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "ウエハシートブローヒータ吹き出し口" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ウエハシートブローヒータ組付け", "【作業手順】Ⅰ、ウエハシートブローヒータをウエハXYテーブルに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、ウエハシートブローヒーターの吹き出し方向を確認する(吹き出し口が上面を向いている事)", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "取付確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り取付出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "基板搬入レール組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板搬入レールを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "このボルトで再調整する", "スケールでY方向の段差確認", "隙間確認:0.01mm以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、基板搬入レールをD-PINに当付けて仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、シックネスゲージで当付けを確認し本締めする。Ⅲ、プリステージの基準側レールを上昇させ、搬入レールの基準側とY方向に 段差が無いことをスケールを使用し確認する。Ⅳ、段差がある場合は搬入側のレールを緩めて再調整する。", "検査表①:基板搬入レール組付け", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "150㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "基板搬入レール組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板搬入レールを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "このボルトで再調整する", "スケールでY方向の段差確認", "隙間確認:0.01mm以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、基板搬入レールをD-PINに当付けて仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、シックネスゲージで当付けを確認し本締めする。Ⅲ、プリステージの基準側レールを上昇させ、搬入レールの基準側とY方向に 段差が無いことをスケールを使用し確認する。Ⅳ、段差がある場合は搬入側のレールを緩めて再調整する。", "検査表①:基板搬入レール組付け" ] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "基板搬出レール組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板搬出レールを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "スケールでY方向の段差確認", "D-PINに当付けて組付ける", "このボルトで再調整する", "隙間確認:隙間0.01mm以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、基板搬出レールをD-PINに当付けて仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、シックネスゲージで当付けを確認し本締めする。Ⅲ、ボンディングステージの基準側レールのY方向の位置をプリステージの 基準レールと合う位置に移動させる。Ⅳ、ボンディングステージのレールを上昇させ搬出レールを下降させるⅤ、ボンディングステージの基準側レールに搬出レールの基準側のY方向に 段差が無いことをスケールを使用し確認する。Ⅵ、段差がある場合は搬出側のレールを緩めて再調整する。", "検査表①:基板搬出レール組付け", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "シックネスゲージ", "Size": "0.01㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "基板搬送ユニット組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板送ユニットを組付ける" ], "WorkPoints": [ "リニア側面を測定", "隙間確認:隙間0.01mm以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、基板搬送ユニットをD-PINに当付けて仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、基板搬送ユニットとD-PINに隙間が無い事をシックネスゲージで確認し本締めする【参考確認】ボンディングステージにテコ式ダイヤルゲージをセットし基板搬送ユニットの リニア側面をX方向に確認する。(平行度:0.1㎜以下)", "検査表①:基板搬送ユニット組付け", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "150㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "マガジンリフタ_LD組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いマガジンリフタを組付ける" ], "WorkPoints": [ "段差確認:段差無い事" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、マガジンリフタ_LDをD-PINに当付け仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、マガジンホルダーの基準側に9mmのブロックゲージをセットする。Ⅲ、ブロックゲージと搬入レールの基準レールの段差を確認し段差が なければ増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、段差がある場合もしくは増し締め後に段差が生じた場合は、 Ⅰのボルトもしくはマガジンホルダーのボルトを緩めて再調整する。", "検査表①:マガジンリフタ_LD組付け", "【作業手順】Ⅰ、マガジンリフタ_LDをD-PINに当付け仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、マガジンホルダーの基準側に9mmのブロックゲージをセットする。Ⅲ、ブロックゲージと搬入レールの基準レールの段差を確認し段差が なければ増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、段差がある場合もしくは増し締め後に段差が生じた場合は、 ショックアブソーバー(ストッパー兼用)で再調整する。 ※前後ストッカー調整", "2連マガジン切替仕様", "切替無し仕様" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "150㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "マガジンリフタ_ULD組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いマガジンリフタを組付ける" ], "WorkPoints": [ "段差確認:段差無い事" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:マガジンリフタ_ULD組付け", "【作業手順】Ⅰ、マガジンリフタ_LDをD-PINに当付け仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、マガジンホルダーの基準側に9mmのブロックゲージをセットする。Ⅲ、ブロックゲージと搬入レールの基準レールの段差を確認し段差が なければ増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、段差がある場合もしくは増し締め後に段差が生じた場合は、 Ⅰのボルトもしくはマガジンホルダーのボルトを緩めて再調整する。", "切替無し仕様", "【作業手順】Ⅰ、マガジンリフタ_LDをD-PINに当付け仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、マガジンホルダーの基準側に9mmのブロックゲージをセットする。Ⅲ、ブロックゲージと搬入レールの基準レールの段差を確認し段差が なければ増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、段差がある場合もしくは増し締め後に段差が生じた場合は、 ショックアブソーバー(ストッパー兼用)で再調整する。 ※前後ストッカー調整", "2連マガジン切替仕様" ] }
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{ "ToolName": "ブロックゲージ", "Size": "9㎜", "ToolOther": "", "WorkName": "マガジンリフタ_ULD組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いマガジンリフタを組付ける" ], "WorkPoints": [ "段差確認:段差無い事" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:マガジンリフタ_ULD組付け", "【作業手順】Ⅰ、マガジンリフタ_LDをD-PINに当付け仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、マガジンホルダーの基準側に9mmのブロックゲージをセットする。Ⅲ、ブロックゲージと搬入レールの基準レールの段差を確認し段差が なければ増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、段差がある場合もしくは増し締め後に段差が生じた場合は、 Ⅰのボルトもしくはマガジンホルダーのボルトを緩めて再調整する。", "切替無し仕様", "【作業手順】Ⅰ、マガジンリフタ_LDをD-PINに当付け仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、マガジンホルダーの基準側に9mmのブロックゲージをセットする。Ⅲ、ブロックゲージと搬入レールの基準レールの段差を確認し段差が なければ増し締めして、再度ズレがないか測定する。Ⅳ、段差がある場合もしくは増し締め後に段差が生じた場合は、 ショックアブソーバー(ストッパー兼用)で再調整する。 ※前後ストッカー調整", "2連マガジン切替仕様", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "基板搬入側基板飛び出し検出センサ組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い基板搬入側基板飛び出し検出センサーの組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "基板搬入側基板飛び出し検出センサ組付け位置", "基板搬入側基板飛出し検出センサーアンプ", "P=投光側D=受光側", "アッタチメントが止まるところまで挿入しロックする" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:基板搬入側基板飛び出し検出センサ組付け" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、飛出し検出センサーをブラケットに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、飛出し検出センサーファイバーのセンサー挿し込み位置の確認(投光側Pに接続する)", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "てこ式ダイヤルゲージ", "Size": "2/1000", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド(VCM)組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングヘッドを組付け調整する" ], "WorkPoints": [ "調整ボルト", "底面のPINを外すと測定が容易になります", "規格:5μm/20㎜以下" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "【作業手順】Ⅰ、ボンディングヘッドをヘッドY軸に仮止めする(本体ドッキング工程)Ⅱ、ボンディングステージにてこ式ダイヤルゲージをヘッドの底面にセットする。Ⅲ、ステージのY軸を動作させ測定し規格外なら調整ボルトで調整する。Ⅳ、増し締めし再度測定する。Ⅴ、規格外なら再調整し規格内に収める", "検査表①:ボンディングヘット組付け", "50Nヘッド", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッド用カメラアライメントユニット組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従いボンディングヘッド用カメラアライメントユニットを組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "カメラアライメントユニット組付け位置" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:ボンディングヘッド用カメラアライメントユニット組付け", "50Nヘッド", "【作業手順】Ⅰ、ヘッドY軸プレートにカメラアライメントユニットを取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、カメラアライメントユニットの取付に傾き無い事を確認する", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ用イオナイザー組付け", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "機内照明組付け", "WorkItems": [ "1. 下記手順に従い機内照明を組付け確認する" ], "WorkPoints": [ "機内照明", "ケーブル" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "WDWS-5400-004", "InspectionItems": [ "検査表①:機内照明組付け" ], "WorkTypes": [], "Words": [ "視野A", "視野A", "【作業手順】 (オプションですので仕様を確認して下さい)Ⅰ、機内照明をエア配管ブラケットに取付ける(本体ドッキング工程)Ⅱ、機内照明ケーブル向きを確認する", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "QualityItem": "接続確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "指示通り接続出来ている事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "MMC初期化SDUSB変換治具", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "MMC初期化", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り設定の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "BIOS設定", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "システム更新SD", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "システム更新1", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査①", "WorkItems": [ "1-(1) メインスイッチによる電源ON確認", "メインブレーカースイッチ", "1-(2) トリップボタンを押してトリップ確認", "1-(3) トリップ後のリセットが機能すること", "電源OFFの位置へ戻れば確認完了", "2 冷却ファン回転方向確認(外部に吐き出し)", "トリップボタン", "■1. 電源投入時確認を実施する" ], "WorkPoints": [ "トリップ後ブレーカースイッチが斜めの位置になるので電源OFFの位置へ手でひねる", "図に示した4か所についてファンの風が設備外側に吹き出していることを確認する", "メインブレーカースイッチをONして装置が立ち上がることを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-001" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査②", "WorkItems": [ "T101", "T103", "T102", "T104", "T105", "■2. ヒーターユニット DC電源調整", "■1. パワーユニット DC電源調整", "■3. VCMドライバー用 DC電源調整" ], "WorkPoints": [ "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する", "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する", "各DC電源の出力端子にテスターを当てて設定値になるように可変抵抗を調整する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-001" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査③", "WorkItems": [ "作業標準書「SD-A008724」 が完了していること", "5. 可動部配線処理確認(干渉、当り、引張り等無い事)", "2. システム立ち上げ確認", "1. M/C本体システムインストール", "3. ACサーボドライバパラメータインストール", "4. ヘッドY軸 原点調整" ], "WorkPoints": [ "ヘッドY軸", "ピックアップ", "基板XYテーブル", "ウエハXYテーブル", "ウエハーリフター", "基板搬送ユニット", "ウエハートランスファー", "ダイエジェクター", "ソフト搭載指示書と本体のバージョンを確認する", "ソフト搭載指示書と本体のバージョンを確認する", "ード搭載指示書と本体にインストールされているパラメータを確認する", "検査書の項目に沿って対象の軸のカップリングを指で回しXYフルストロークで干渉や配線の引張りがないことを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-001" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査④", "WorkItems": [ "1. 全軸原点復帰動作及び移動量確認" ], "WorkPoints": [ "⑤で選択される", "上記同様軸を選択した状態で原点復帰を押す", "軸を移動させるときは干渉物がないかを十分に確認する", "ドロップダウンメニューから移動量を選択する", "矢印で操作", "◆移動量軸の移動レートを選択して軸を動作して設定値と実際の移動量に差がないかを確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」", "◆原点復帰単軸で原点復帰動作に問題がないか確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」", "◆軸方向モーターテスト画面で単軸でモータを動作させて、操作方向と移動方向が正しいことを確認する「メンテナンス」-「サービス」-「モーターテスト」- 各軸を選択", "制御製品検査表の確認項目に沿って各軸の確認を実施する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-001" ] }
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑤", "WorkItems": [ "1. 検査表に沿って各LED照明の光量が問題なく変更できるかを確認する" ], "WorkPoints": [ "カメラを選択", "光量を調整", "設備画面でLEDの光量を調整して実際に照明の光量が変化することを確認する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-001" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑥", "WorkItems": [ "2. 温度上昇確認", "1. 熱電対の動作に問題がないか確認する" ], "WorkPoints": [ "◆常温時温度 : 外気温度とほぼ一致していること", "◆熱電対オープン時 : 800度以上パワーオフの状態で各熱電対コネクタを抜いたときの温度表示を記録する", "各ヒーターを50℃に設定して温度が上昇することを確認する", "③現在選択中の品種データを選択", "③プリステージ、ボンディングステージの温度を50℃に設定する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-001" ] }
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "製品検査⑦", "WorkItems": [ "1. 制御製品検査表に基づき安全テストを実施する" ], "WorkPoints": [ "①Toolsを押す", "②パワー制御を押す", "③カバー開(本体)を押す", "④対象の出力を探す", "◆前面カバーオープンで基板押さえ上下VL(R3500,R3501,R3503,R3504)プリステージ上下VL(R3534,R3535)が動作しないこと。・パワーオン状態から前面カバーを開けて、I/O画面でそれぞれの信号を出力して動作しないことを確認", "◆背面メンテナンスカバーオープンで本体ユニットサーボドライバーパワーOFF(セグメントLED\"--\"表示)・パワーオンの状態で背面カバーを開けて、サーボモータードライバーの表示を確認する", "◆前面カバーオープンで本体ユニットサーボドライバーパワーOFF(セグメントLED\"--\"表示)・パワーオン状態で前面カバーを開けて、サーボモータードライバーの表示を確認する", "◆本体ユニット非常停止スイッチONで全サーボドライバーパワーOFF(セグメントLED\"--\"表示)・パワーオン状態で非常停止ボタンを押し、サーボモータードライバーの表示を確認する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表②:制御製品検査表", "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-001" ] }
{ "QualityItem": "動作確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "作業指示通り指示通り作業の事", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-001", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "配線・配管確認表確認", "WorkItems": [ "1. 配線・配管確認表に基づき確認を行う" ], "WorkPoints": [ "ボンディングステージX/Y軸", "基板搬入/搬出軸", "アンローダーリフター軸", "ボンディングヘッドY軸", "ピックアップヘッドX/反転θ軸", "ボンディングヘッドZ/θ軸", "エジェクター上下", "ウエハフレームトランスファー軸", "ウエハーカセットリフター", "ウエハーX/Y/θ軸", "ウエハーエキスパンド軸", "サイドクランプ", "ローダーリフター軸", "基板プッシャー", "マガジン切替シリンダー", "プリステージレール上昇", "レール上昇", "マガジン切替シリンダー", "エジェクターY軸", "エジェクターニードルZ軸", "各軸・シリンダの動作時において、配線・配管の干渉・こすれ・つっぱり・引掛かり及び、メカ的な干渉がないかを実動作を行い目視にて確認を行う◆確認方法 モーター :カップリングを手で回して軸を動かす シリンダー:エアーダウンした状態で手で動かす" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "I/Oチェック", "WorkItems": [ "2. 入出力リスト_MD04-C07に基づき各I/Oの動作に問題がないかを確認する", "1. I/Oテスト画面を開く" ], "WorkPoints": [ "入力側", "出力側", "「表示切替」ボタンで日本語表記に変更できる", "入力側", "出力側", "下記手順でI/Oテスト画面を開く", "仕様によって確認する項目が変わるため、仕様書と現物と入出力リストを比較すること" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ボンディングヘッドY軸位置設定", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ステージ退避位置入力", "WorkItems": [ "1. ステージ退避位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングステージ」-「USツールメンテナンス時ステージ退避位置XY」:100mm" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:100㎜Y:100㎜", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "USツール基準長さ入力", "WorkItems": [ "1. USツール基準長さが指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ベーシックマシン」-「ボンディングヘッド」-「USツール基準長さ」:実際に使用している治具の寸法を入力する" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:製品検査", "WDWS-5400-004" ] }
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "-", "ToolRecord": "-", "StdVal": "使用するFM-3131の長さを入力", "Method": "目視", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "マシンデータ_ピックアップヘッド反転θ位置入力", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ基準位置確認", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "スケール", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "ウエハ交換位置ティーチ", "WorkItems": [ "1. ウエハ交換位置が指示通り設定されていることを確認する" ], "WorkPoints": [ "ポジションデータ編集画面へ入る 「メンテナンス」-「マシンデータ」-「Position Data」", "「ウエハーユニット」-「AWC」-「交換位置XY」:0mm" ], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "検査表①:製品検査" ] }
{ "QualityItem": "設定確認", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "校正対象外", "ToolRecord": "-", "StdVal": "X:0㎜Y:0㎜", "Method": "スケール", "RecordMethod": "-", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "オフセット値入力確認", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
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{ "ToolName": "-", "Size": "", "ToolOther": "", "WorkName": "全軸原点復帰", "WorkItems": [], "WorkPoints": [], "Tolks": [], "InspectionNo": "", "InspectionItems": [], "WorkTypes": [], "Words": [ "WDWS-5400-004" ] }
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{ "QualityItem": "平面度", "ToolManageNo": "-", "ToolCycle": "1回/半年", "ToolRecord": "校正成績書", "StdVal": "平面度:10μm以下高さ各箇所:±15μ以下", "Method": "てこ式ダイヤルゲージ", "RecordMethod": "WDWS-5400-004", "Other": "-", "ProcessNames": [] }
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